หินแกรนิตที่ใช้ในอุปกรณ์แปรรูปเวเฟอร์คืออะไร?

หินแกรนิตเป็นวัสดุยอดนิยมในอุตสาหกรรมแปรรูปแผ่นเวเฟอร์เนื่องจากมีคุณสมบัติทางกลและความทนทานที่โดดเด่นเป็นหินธรรมชาติที่ขุดได้จากเหมืองหินทั่วโลก และถูกนำมาใช้มานานหลายศตวรรษเพื่อวัตถุประสงค์ในการก่อสร้างต่างๆ รวมถึงการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ในบทความนี้ เราจะพูดถึงคุณสมบัติของหินแกรนิตและการใช้งานต่างๆ ในอุปกรณ์แปรรูปแผ่นเวเฟอร์

คุณสมบัติของหินแกรนิต

หินแกรนิตเป็นหินอัคนีที่ประกอบด้วยไมกา เฟลด์สปาร์ และควอตซ์เป็นที่รู้จักในด้านความแข็งแกร่ง ความแข็ง และความทนทานเป็นพิเศษ ทำให้เป็นวัสดุที่เหมาะสำหรับการใช้งานที่ต้องการความแม่นยำและความแม่นยำสูงหินแกรนิตมีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวจากความร้อนต่ำ ซึ่งหมายความว่าหินแกรนิตจะไม่ขยายตัวหรือหดตัวเนื่องจากการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิ ทำให้มีความเสถียรสูงนอกจากนี้ หินแกรนิตยังทนทานต่อการกัดกร่อนและสารเคมี ซึ่งทำให้เป็นวัสดุที่เหมาะสำหรับใช้ในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง

การใช้หินแกรนิตในอุปกรณ์แปรรูปเวเฟอร์

หินแกรนิตเป็นวัสดุที่ใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมแปรรูปแผ่นเวเฟอร์ เนื่องจากมีการผสมผสานคุณสมบัติที่เป็นเอกลักษณ์ต่อไปนี้คือการใช้งานหินแกรนิตในอุปกรณ์แปรรูปเวเฟอร์:

1. เครื่องมือมาตรวิทยา

โดยทั่วไปหินแกรนิตจะใช้ในการผลิตเครื่องมือมาตรวิทยา เช่น เครื่องวัดพิกัด (CMM) และระบบการวัดด้วยแสงเครื่องมือเหล่านี้ต้องการพื้นผิวที่มั่นคงซึ่งสามารถต้านทานการสั่นสะเทือนและความร้อนได้หินแกรนิตมีความแข็งสูงและการขยายตัวทางความร้อนต่ำทำให้เป็นวัสดุที่เหมาะสำหรับการใช้งานดังกล่าว

2. เวเฟอร์ชัคส์

หัวจับเวเฟอร์ใช้เพื่อจับเวเฟอร์ในระหว่างกระบวนการผลิตหัวจับเหล่านี้ต้องการพื้นผิวที่เรียบและมั่นคงเพื่อป้องกันไม่ให้แผ่นเวเฟอร์บิดเบี้ยวหรือโค้งงอหินแกรนิตมีพื้นผิวเรียบที่มีความเสถียรสูงและทนทานต่อการบิดเบี้ยว ทำให้เป็นวัสดุที่ดีเยี่ยมสำหรับหัวจับเวเฟอร์

3. เครื่องมือขัดเงาด้วยเคมีกล (CMP)

เครื่องมือ CMP ใช้ในการขัดเวเฟอร์ในระหว่างกระบวนการผลิตเครื่องมือเหล่านี้ต้องการแพลตฟอร์มที่มั่นคงซึ่งสามารถต้านทานการสั่นสะเทือนและความร้อนได้หินแกรนิตมีความแข็งดีเยี่ยมและการขยายตัวทางความร้อนต่ำ ทำให้เป็นวัสดุที่เหมาะสำหรับเครื่องมือ CMP

4. อุปกรณ์ตรวจสอบเวเฟอร์

อุปกรณ์ตรวจสอบเวเฟอร์ใช้เพื่อตรวจสอบข้อบกพร่องและข้อบกพร่องของเวเฟอร์เครื่องมือเหล่านี้ต้องการพื้นผิวเรียบและมั่นคงเพื่อให้แน่ใจว่าการวัดมีความแม่นยำหินแกรนิตมีพื้นผิวเรียบและมั่นคงซึ่งทนทานต่อการบิดเบี้ยว ทำให้เป็นวัสดุที่เหมาะสำหรับอุปกรณ์ตรวจสอบแผ่นเวเฟอร์

บทสรุป

โดยสรุป หินแกรนิตเป็นวัสดุที่ใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมแปรรูปแผ่นเวเฟอร์ เนื่องจากมีคุณสมบัติทางกลและความทนทานที่โดดเด่นโดยทั่วไปจะใช้ในการผลิตเครื่องมือมาตรวิทยา หัวจับเวเฟอร์ เครื่องมือ CMP และอุปกรณ์ตรวจสอบเวเฟอร์การผสมผสานคุณสมบัติที่เป็นเอกลักษณ์ทำให้เป็นวัสดุที่เหมาะสำหรับการใช้งานที่ต้องการความแม่นยำและความแม่นยำสูงด้วยคุณประโยชน์มากมาย หินแกรนิตยังคงเป็นตัวเลือกยอดนิยมสำหรับอุปกรณ์แปรรูปเวเฟอร์ และการใช้งานมีแนวโน้มที่จะเติบโตต่อไปในอนาคต