วัสดุ – เซรามิก

♦อลูมินา(อัล2O3)

ชิ้นส่วนเซรามิกที่มีความแม่นยำที่ผลิตโดย ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) สามารถทำจากวัตถุดิบเซรามิกที่มีความบริสุทธิ์สูง, อลูมินา 92~97%, อลูมินา 99.5%, อลูมินา >99.9% และการอัดไอโซสแตติกแบบเย็น CIPการเผาผนึกที่อุณหภูมิสูงและการตัดเฉือนที่มีความแม่นยำ ความแม่นยำของมิติ ± 0.001 มม. ความเรียบสูงถึง Ra0.1 ใช้อุณหภูมิสูงถึง 1600 องศาเซรามิกสีต่างๆ สามารถผลิตได้ตามความต้องการของลูกค้า เช่น สีดำ สีขาว สีเบจ สีแดงเข้ม ฯลฯ ชิ้นส่วนเซรามิกที่มีความแม่นยำที่ผลิตโดยบริษัทของเรานั้นทนทานต่ออุณหภูมิสูง การกัดกร่อน การสึกหรอ และฉนวนกันความร้อน และสามารถ ใช้เป็นเวลานานในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง สุญญากาศ และก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อน

ใช้กันอย่างแพร่หลายในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่หลากหลาย: เฟรม (ตัวยึดเซรามิก), พื้นผิว (ฐาน), แขน / สะพาน (หุ่นยนต์), ส่วนประกอบทางกลและแบริ่งอากาศเซรามิก

AL2O3

ชื่อผลิตภัณฑ์ ความบริสุทธิ์สูง 99 อลูมินาเซรามิกท่อสี่เหลี่ยม / ท่อ / ก้าน
ดัชนี หน่วย อัล2O3 85 % อัล2โอ3 95 % อัล2O3 99 % อัล2O3 99.5 %
ความหนาแน่น กรัม/ซม3 3.3 3.65 3.8 3.9
ดูดซึมน้ำ % <0.1 <0.1 0 0
อุณหภูมิเผาผนึก 1620 1650 1800 1800
ความแข็ง โมห์ส 7 9 9 9
กำลังดัด (20 ℃)) เมปา 200 300 340 360
แรงอัด กิโลกรัมเอฟ/ซม.2 10,000 25,000 30000 30000
อุณหภูมิในการทำงานเป็นเวลานาน 1350 1400 1600 1650
สูงสุดอุณหภูมิในการทำงาน 1450 1600 1800 1800
ความต้านทานต่อปริมาตร 20 ℃ โอห์มซม.3 >1013 >1013 >1013 >1013
100 ℃ 1012-1013 1012-1013 1012-1013 1012-1013
300 ℃ >109 >1010 >1012 >1012

การใช้เซรามิกอลูมินาที่มีความบริสุทธิ์สูง:
1. ใช้กับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์: หัวจับสูญญากาศเซรามิก, แผ่นตัด, แผ่นทำความสะอาด, หัวจับเซรามิก
2. ชิ้นส่วนถ่ายโอนเวเฟอร์: หัวจับเวเฟอร์, แผ่นตัดเวเฟอร์, แผ่นทำความสะอาดเวเฟอร์, ถ้วยดูดตรวจสอบแสงเวเฟอร์
3. อุตสาหกรรมจอแบน LED / LCD: หัวฉีดเซรามิก, แผ่นเจียรเซรามิก, LIFT PIN, ราง PIN
4. การสื่อสารด้วยแสง อุตสาหกรรมพลังงานแสงอาทิตย์: หลอดเซรามิก แท่งเซรามิก การพิมพ์สกรีนแผงวงจร เครื่องขูดเซรามิก
5. ชิ้นส่วนทนความร้อนและเป็นฉนวนไฟฟ้า: แบริ่งเซรามิก
ปัจจุบันเซรามิกอลูมิเนียมออกไซด์สามารถแบ่งออกเป็นเซรามิกที่มีความบริสุทธิ์สูงและเซรามิกทั่วไปซีรีส์เซรามิกอะลูมิเนียมออกไซด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงหมายถึงวัสดุเซรามิกที่มีAl₂O₃มากกว่า 99.9%เนื่องจากอุณหภูมิการเผาผนึกสูงถึง 1,650 - 1,990°C และความยาวคลื่นในการส่งผ่าน 1 ~ 6μm จึงมักจะถูกแปรรูปเป็นแก้วหลอมแทนเบ้าหลอมแพลตตินัม ซึ่งสามารถใช้เป็นหลอดโซเดียมได้เนื่องจากการส่องผ่านแสงและความต้านทานการกัดกร่อน โลหะอัลคาไลในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ สามารถใช้เป็นวัสดุฉนวนความถี่สูงสำหรับซับสเตรต IC ได้ตามเนื้อหาที่แตกต่างกันของอลูมิเนียมออกไซด์ ชุดเซรามิกอลูมิเนียมออกไซด์ทั่วไปสามารถแบ่งออกเป็นเซรามิก 99 ชิ้น เซรามิก 95 ชิ้น เซรามิก 90 ชิ้น และเซรามิก 85 ชิ้นบางครั้งเซรามิกที่มีอลูมิเนียมออกไซด์ 80% หรือ 75% ก็จัดเป็นซีรีย์เซรามิกอลูมิเนียมออกไซด์ทั่วไปเช่นกันในจำนวนนี้ วัสดุเซรามิกอลูมิเนียมออกไซด์ 99 ชนิดถูกใช้เพื่อผลิตเบ้าหลอมอุณหภูมิสูง ท่อเตากันไฟ และวัสดุพิเศษที่ทนทานต่อการสึกหรอ เช่น แบริ่งเซรามิก ซีลเซรามิก และแผ่นวาล์วเซรามิกอลูมิเนียม 95 ส่วนใหญ่จะใช้เป็นชิ้นส่วนต้านทานการสึกหรอที่ทนต่อการกัดกร่อนเซรามิก 85 มักถูกผสมในคุณสมบัติบางอย่าง ซึ่งจะช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพทางไฟฟ้าและความแข็งแรงทางกลสามารถใช้โมลิบดีนัม ไนโอเบียม แทนทาลัม และซีลโลหะอื่นๆ และบางชนิดใช้เป็นอุปกรณ์สูญญากาศไฟฟ้า

 

รายการคุณภาพ (มูลค่าตัวแทน) ชื่อผลิตภัณฑ์ เออีเอส-12 เออีเอส-11 AES-11C AES-11F AES-22S เออีเอส-23 อัล-31-03
องค์ประกอบทางเคมีผลิตภัณฑ์เผาผนึกง่ายโซเดียมต่ำ เอช₂โอ % 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
ฮ่าๆ % 0.1 0.2 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
เฟ₂0₃ % 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01
SiO₂ % 0.03 0.03 0.03 0.03 0.02 0.04 0.04
นา₂O % 0.04 0.04 0.04 0.04 0.02 0.04 0.03
มก.* % - 0.11 0.05 0.05 - - -
อัล₂0₃ % 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9
เส้นผ่านศูนย์กลางอนุภาคปานกลาง (MT-3300 วิธีวิเคราะห์ด้วยเลเซอร์) ไมโครเมตร 0.44 0.43 0.39 0.47 1.1 2.2 3
α ขนาดคริสตัล ไมโครเมตร 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 ~ 1.0 0.3 ~ 4 0.3 ~ 4
ความหนาแน่นของการขึ้นรูป** กรัม/ซม.³ 2.22 2.22 2.2 2.17 2.35 2.57 2.56
ความหนาแน่นของการเผาผนึก** กรัม/ซม.³ 3.88 3.93 3.94 3.93 3.88 3.77 3.22
อัตราการหดตัวของเส้นเผาผนึก** % 17 17 18 18 15 12 7

* MgO ไม่รวมอยู่ในการคำนวณความบริสุทธิ์ของ Al₂O₃
* ไม่มีผงตะกรัน 29.4MPa (300 กก./ซม.²) อุณหภูมิการเผาผนึกอยู่ที่ 1600°C
AES-11 / 11C / 11F: เพิ่ม 0.05 ~ 0.1% MgO ซึ่งมีความสามารถในการเผาผนึกได้ดีเยี่ยม ดังนั้นจึงใช้ได้กับเซรามิกอะลูมิเนียมออกไซด์ที่มีความบริสุทธิ์มากกว่า 99%
AES-22S: มีคุณลักษณะเด่นคือมีความหนาแน่นในการขึ้นรูปสูงและอัตราการหดตัวต่ำของสายการเผาผนึก สามารถใช้ได้กับการหล่อแบบสลิปฟอร์มและผลิตภัณฑ์ขนาดใหญ่อื่นๆ ที่มีความแม่นยำด้านขนาดที่ต้องการ
AES-23 / AES-31-03: มีความหนาแน่นในการขึ้นรูปสูงกว่า thixotropy และมีความหนืดต่ำกว่า AES-22Sแบบแรกใช้กับเซรามิก ส่วนแบบหลังใช้เป็นสารลดน้ำสำหรับวัสดุกันไฟ ซึ่งกำลังได้รับความนิยม

♦ลักษณะเฉพาะของซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC)

ลักษณะทั่วไป ความบริสุทธิ์ของส่วนประกอบหลัก (wt%) 97
สี สีดำ
ความหนาแน่น (ก./ซม.) 3.1
ดูดซึมน้ำ (%) 0
ลักษณะทางกล กำลังรับแรงดัดงอ (MPa) 400
โมดูลัสรุ่นเยาว์ (GPa) 400
ความแข็งวิกเกอร์ส (GPa) 20
ลักษณะทางความร้อน อุณหภูมิการทำงานสูงสุด (°C) 1600
ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อน RT~500°ซ 3.9
(1/°ซ x 10-6) RT~800°ซ 4.3
การนำความร้อน (W/m x K) 130 110
ความต้านทานแรงกระแทกจากความร้อน ∆T (°C) 300
ลักษณะไฟฟ้า ความต้านทานต่อปริมาตร 25°ซ 3x106
300°ซ -
500°ซ -
800°ซ -
ค่าคงที่ไดอิเล็กทริก 10GHz -
การสูญเสียอิเล็กทริก (x 10-4) -
ปัจจัยคิว (x 104) -
แรงดันพังทลายของฉนวน (KV/mm) -

20200507170353_55726

♦ซิลิคอนไนไตรด์เซรามิก

วัสดุ หน่วย ศรี₃N₄
วิธีการเผาผนึก - แรงดันแก๊สเผาผนึก
ความหนาแน่น กรัม/ซม.³ 3.22
สี - เทาเข้ม
อัตราการดูดซึมน้ำ % 0
โมดูลัสรุ่นเยาว์ เกรดเฉลี่ย 290
ความแข็งของวิคเกอร์ เกรดเฉลี่ย 18 - 20
แรงอัด เมปา 2200
แรงดัดงอ เมปา 650
การนำความร้อน W/mK 25
ความต้านทานการกระแทกด้วยความร้อน Δ (°ซ) 450 - 650
อุณหภูมิในการทำงานสูงสุด องศาเซลเซียส 1200
ความต้านทานต่อปริมาตร Ω·ซม > 10 ^ 14
ค่าคงที่ไดอิเล็กทริก - 8.2
ความเป็นฉนวน กิโลโวลต์/มม 16