หินแกรนิตใช้ในอุปกรณ์ประมวลผลเวเฟอร์อะไร?

Granite เป็นวัสดุยอดนิยมในอุตสาหกรรมการประมวลผลเวเฟอร์เนื่องจากคุณสมบัติเชิงกลและความทนทานที่ยอดเยี่ยม มันเป็นหินธรรมชาติที่ขุดจากเหมืองทั่วโลกและใช้มานานหลายศตวรรษเพื่อการก่อสร้างที่หลากหลายรวมถึงการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ในบทความนี้เราจะหารือเกี่ยวกับคุณสมบัติของหินแกรนิตและแอพพลิเคชั่นต่าง ๆ ในอุปกรณ์ประมวลผลเวเฟอร์

คุณสมบัติของหินแกรนิต

หินแกรนิตเป็นหินอัคนีที่ประกอบด้วยไมกาเฟลด์สปาร์และควอตซ์ เป็นที่รู้จักกันดีในเรื่องความแข็งแรงความแข็งและความทนทานที่ยอดเยี่ยมทำให้เป็นวัสดุที่เหมาะสำหรับการใช้งานที่ต้องการความแม่นยำและความแม่นยำสูง หินแกรนิตมีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำซึ่งหมายความว่าไม่ขยายหรือหดตัวเนื่องจากการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิทำให้มีความเสถียรสูง นอกจากนี้หินแกรนิตยังทนต่อการกัดกร่อนและสารเคมีซึ่งทำให้เป็นวัสดุที่เหมาะสำหรับใช้ในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง

แอปพลิเคชันของหินแกรนิตในอุปกรณ์ประมวลผลเวเฟอร์

Granite เป็นวัสดุที่ใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมการประมวลผลเวเฟอร์เนื่องจากการผสมผสานที่เป็นเอกลักษณ์ของคุณสมบัติ ต่อไปนี้เป็นแอปพลิเคชั่นของหินแกรนิตในอุปกรณ์ประมวลผลเวเฟอร์:

1. เครื่องมือมาตรวิทยา

หินแกรนิตมักใช้ในการผลิตเครื่องมือมาตรวิทยาเช่นเครื่องวัดพิกัด (CMMS) และระบบการวัดแสง เครื่องมือเหล่านี้ต้องการพื้นผิวที่เสถียรซึ่งสามารถต้านทานการสั่นสะเทือนและความร้อน ความแข็งสูงและการขยายตัวทางความร้อนต่ำของหินแกรนิตทำให้เป็นวัสดุที่เหมาะสำหรับการใช้งานดังกล่าว

2. เวเฟอร์ chucks

เวเฟอร์ chucks ใช้เพื่อถือเวเฟอร์ในระหว่างกระบวนการผลิต chucks เหล่านี้ต้องการพื้นผิวที่แบนและมีเสถียรภาพเพื่อป้องกันไม่ให้เวเฟอร์จากการแปรปรวนหรือดัด หินแกรนิตให้พื้นผิวเรียบที่มีความเสถียรสูงและทนต่อการแปรปรวนทำให้เป็นวัสดุที่ยอดเยี่ยมสำหรับเวเฟอร์ Chucks

3. เครื่องมือการขัดกลไกเคมี (CMP)

เครื่องมือ CMP ใช้ในการขัดเวเฟอร์ในระหว่างกระบวนการผลิต เครื่องมือเหล่านี้ต้องการแพลตฟอร์มที่มั่นคงที่สามารถต้านทานการสั่นสะเทือนและความร้อน ความแข็งที่ยอดเยี่ยมและการขยายตัวทางความร้อนต่ำของหินแกรนิตทำให้เป็นวัสดุที่เหมาะสำหรับเครื่องมือ CMP

4. อุปกรณ์ตรวจสอบเวเฟอร์

อุปกรณ์ตรวจสอบเวเฟอร์ใช้เพื่อตรวจสอบเวเฟอร์สำหรับข้อบกพร่องและข้อบกพร่อง เครื่องมือเหล่านี้ต้องการพื้นผิวที่มั่นคงและเรียบเพื่อให้แน่ใจว่าการวัดที่แม่นยำ หินแกรนิตให้พื้นผิวที่มั่นคงและเรียบซึ่งทนต่อการแปรปรวนทำให้เป็นวัสดุที่เหมาะสำหรับอุปกรณ์ตรวจสอบเวเฟอร์

บทสรุป

โดยสรุปหินแกรนิตเป็นวัสดุที่ใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมการประมวลผลเวเฟอร์เนื่องจากคุณสมบัติเชิงกลและความทนทานที่ยอดเยี่ยม มันมักจะใช้ในการผลิตเครื่องมือมาตรวิทยา, เวเฟอร์ chucks, เครื่องมือ CMP และอุปกรณ์ตรวจสอบเวเฟอร์ การรวมกันของคุณสมบัติที่เป็นเอกลักษณ์ทำให้เป็นวัสดุที่เหมาะสำหรับการใช้งานที่ต้องการความแม่นยำและความแม่นยำสูง ด้วยประโยชน์มากมาย Granite ยังคงเป็นตัวเลือกยอดนิยมสำหรับอุปกรณ์ประมวลผลเวเฟอร์และการใช้งานของมันมีแนวโน้มที่จะเติบโตต่อไปในอนาคต