พื้นที่ใช้งานของการประกอบหินแกรนิตสำหรับผลิตภัณฑ์อุปกรณ์ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

หินแกรนิตเป็นฮาร์ดร็อคชนิดหนึ่งที่กลายเป็นวัสดุที่ขาดไม่ได้ในอุตสาหกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์คุณสมบัติช่วยให้ทนต่ออุณหภูมิสูง ซึ่งทำให้เหมาะสำหรับใช้ในขั้นตอนต่างๆ ของกระบวนการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์เป็นผลให้การประกอบหินแกรนิตพบพื้นที่การใช้งานที่กว้างขวางในผลิตภัณฑ์อุปกรณ์กระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

การใช้งานชิ้นหินแกรนิตที่ใช้มากที่สุดอย่างหนึ่งคือการสร้างโครงสร้างเครื่องมือกลที่มีความแม่นยำสูงความแข็งแกร่งและเสถียรภาพของหินแกรนิตทำให้สามารถผลิตเครื่องมือที่แม่นยำและแม่นยำโดยมีการเสียรูปเพียงเล็กน้อยหรือไม่มีเลยความแม่นยำระดับนี้จำเป็นในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เช่น การฝังไอออน ซึ่งจะต้องส่งลำแสงไปยังแผ่นเวเฟอร์อย่างแม่นยำ

การประยุกต์ใช้การประกอบหินแกรนิตอีกประการหนึ่งในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์คือการสร้างอุปกรณ์มาตรวิทยาอุปกรณ์มาตรวิทยามีความสำคัญในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เนื่องจากอุปกรณ์จะตรวจวัดและตรวจสอบความถูกต้องแม่นยำของอุปกรณ์ที่ผลิตความเสถียรของมิติของหินแกรนิต การขยายตัวทางความร้อนต่ำ และคุณสมบัติการลดแรงสั่นสะเทือนที่ดีเยี่ยม ทำให้เป็นวัสดุที่เลือกใช้ในการสร้างอุปกรณ์มาตรวิทยาซึ่งรวมถึงพื้นผิวหินแกรนิตขนาดใหญ่ที่ใช้ในการจัดเตรียมและการตรวจสอบแผ่นเวเฟอร์

โต๊ะปรับแสงเป็นอีกพื้นที่หนึ่งของการประยุกต์ใช้หินแกรนิตในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์อย่างกว้างขวางตารางเชิงแสงใช้ในการทดสอบอุปกรณ์เชิงแสง เช่น ท่อนำคลื่นเพื่อการสื่อสารข้อมูลความเรียบของหินแกรนิต การขยายตัวทางความร้อนต่ำ ความแข็งแกร่งสูง และความเสถียรทางกล ทำให้สามารถให้พื้นผิวที่มีความเสถียรสูงสำหรับการติดตั้งและการวางตำแหน่งของเลนส์โต๊ะหินแกรนิตออปติคอลสามารถให้ความเสถียรและความแข็งแกร่งที่จำเป็นในการทดสอบอุปกรณ์ออพติคอลที่แม่นยำและแม่นยำ

หินแกรนิตยังพบการใช้งานในการสร้างหัวจับและขั้นเวเฟอร์อีกด้วยในระหว่างกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การจัดตำแหน่งที่แม่นยำ และการควบคุมตำแหน่งถือเป็นสิ่งสำคัญหัวจับเวเฟอร์ซึ่งยึดเวเฟอร์ไว้ระหว่างการประมวลผล จะต้องรักษาความแม่นยำของตำแหน่งในขณะที่ทนต่ออุณหภูมิและสภาวะสุญญากาศที่สูงหินแกรนิตมีความคงตัวของขนาดที่ดีเยี่ยมในช่วงอุณหภูมิที่หลากหลาย และสามารถทนต่อสภาวะสุญญากาศได้ ทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการสร้างหัวจับเวเฟอร์ขั้นตอนที่ใช้ในการเคลื่อนที่ของเวเฟอร์จากตำแหน่งหนึ่งไปอีกตำแหน่งหนึ่งจะต้องผ่านลำดับการเคลื่อนที่แบบวนในระหว่างกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์การประกอบหินแกรนิตให้ความมั่นคงและความทนทานที่จำเป็นต่อการรองรับวงจรการเคลื่อนไหวที่ต่อเนื่องและซ้ำๆ

โดยสรุป การประยุกต์ใช้การประกอบหินแกรนิตในอุตสาหกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์นั้นมีมากมายคุณสมบัติต่างๆ เช่น ความเสถียรของมิติ การขยายตัวทางความร้อนต่ำ ความแข็งแกร่งสูง และการหน่วงการสั่นสะเทือน ทำให้เป็นวัสดุที่เหมาะสำหรับใช้ในขั้นตอนต่างๆ ของกระบวนการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ตั้งแต่การสร้างเครื่องมือกลและอุปกรณ์มาตรวิทยาที่มีความแม่นยำสูง ไปจนถึงโต๊ะแบบออปติคัล แท่นเวเฟอร์และหัวจับ คุณลักษณะของหินแกรนิตมีบทบาทสำคัญในการให้ความเสถียร ความแม่นยำ และความสามารถในการทำซ้ำที่จำเป็นเพื่อให้ได้การผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์คุณภาพสูง