พื้นที่การใช้งานของการประกอบหินแกรนิตสำหรับผลิตภัณฑ์อุปกรณ์กระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

หินแกรนิตเป็นหินแข็งชนิดหนึ่งที่กลายเป็นวัสดุที่ขาดไม่ได้ในอุตสาหกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ คุณสมบัติของหินแกรนิตทำให้สามารถทนต่ออุณหภูมิสูงได้ จึงเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานในขั้นตอนต่างๆ ของกระบวนการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ด้วยเหตุนี้ การประกอบหินแกรนิตจึงถูกนำไปใช้อย่างกว้างขวางในผลิตภัณฑ์อุปกรณ์กระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

หนึ่งในการประยุกต์ใช้งานประกอบหินแกรนิตที่ได้รับความนิยมมากที่สุดคือการสร้างโครงสร้างเครื่องมือกลที่มีความแม่นยำสูง ความแข็งแกร่งและเสถียรภาพของหินแกรนิตทำให้สามารถผลิตเครื่องมือที่มีความแม่นยำและเที่ยงตรงโดยแทบไม่มีการเสียรูป ความแม่นยำระดับนี้จำเป็นสำหรับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เช่น การฝังไอออน ซึ่งลำแสงจะต้องถูกเล็งไปยังแผ่นเวเฟอร์อย่างแม่นยำ

การประยุกต์ใช้งานประกอบหินแกรนิตในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์อีกประการหนึ่งคือการสร้างอุปกรณ์มาตรวิทยา อุปกรณ์มาตรวิทยามีความสำคัญอย่างยิ่งในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เนื่องจากทำหน้าที่วัดและตรวจสอบความถูกต้องแม่นยำของอุปกรณ์ที่ผลิต หินแกรนิตมีความเสถียรทางมิติ การขยายตัวทางความร้อนต่ำ และคุณสมบัติการดูดซับแรงสั่นสะเทือนที่ดีเยี่ยม ทำให้หินแกรนิตเป็นวัสดุที่เลือกใช้ในการผลิตอุปกรณ์มาตรวิทยา ซึ่งรวมถึงพื้นผิวหินแกรนิตขนาดใหญ่ที่ใช้ในการจัดเตรียมและตรวจสอบแผ่นเวเฟอร์

โต๊ะออปติคัลเป็นอีกหนึ่งสาขาที่มีการนำหินแกรนิตมาประยุกต์ใช้อย่างกว้างขวางในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ โต๊ะออปติคัลถูกนำมาใช้ในการทดสอบอุปกรณ์ออปติคัล เช่น ท่อนำคลื่นสำหรับการสื่อสารข้อมูล ความเรียบของหินแกรนิต การขยายตัวทางความร้อนต่ำ ความแข็งแกร่งสูง และเสถียรภาพเชิงกล ทำให้มีพื้นผิวที่มั่นคงสูงสำหรับการติดตั้งและการจัดวางออปติคัล โต๊ะออปติคัลหินแกรนิตให้ความมั่นคงและความแข็งแกร่งที่จำเป็นสำหรับการทดสอบอุปกรณ์ออปติคัลที่แม่นยำและแม่นยำ

หินแกรนิตยังถูกนำไปใช้ในการสร้างหัวจับเวเฟอร์และขั้นตอนการผลิต ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การจัดตำแหน่งที่แม่นยำและการควบคุมตำแหน่งเป็นสิ่งสำคัญอย่างยิ่ง หัวจับเวเฟอร์ซึ่งยึดเวเฟอร์ให้อยู่กับที่ในระหว่างกระบวนการ จะต้องรักษาความแม่นยำของตำแหน่งในขณะที่ทนต่ออุณหภูมิสูงและสภาวะสุญญากาศ หินแกรนิตมีเสถียรภาพเชิงมิติที่ยอดเยี่ยมในช่วงอุณหภูมิที่กว้างและสามารถทนต่อสภาวะสุญญากาศได้ จึงเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการสร้างหัวจับเวเฟอร์ ขั้นตอนที่ใช้ในการเคลื่อนย้ายเวเฟอร์จากตำแหน่งหนึ่งไปยังอีกตำแหน่งหนึ่งจะผ่านลำดับการเคลื่อนที่แบบวนซ้ำในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การประกอบหินแกรนิตให้ความมั่นคงและความทนทานที่จำเป็นต่อการรองรับวัฏจักรการเคลื่อนที่ที่ต่อเนื่องและซ้ำซาก

โดยสรุป การนำหินแกรนิตมาประกอบเป็นส่วนประกอบในอุตสาหกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์นั้นมีมากมาย คุณสมบัติต่างๆ เช่น เสถียรภาพเชิงมิติ การขยายตัวทางความร้อนต่ำ ความแข็งแกร่งสูง และคุณสมบัติลดแรงสั่นสะเทือน ทำให้หินแกรนิตเป็นวัสดุที่เหมาะอย่างยิ่งสำหรับใช้ในขั้นตอนต่างๆ ของกระบวนการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ตั้งแต่การสร้างเครื่องมือกลและอุปกรณ์วัดความแม่นยำสูง ไปจนถึงโต๊ะออปติคัล เวเฟอร์สเตจ และหัวจับ คุณสมบัติของหินแกรนิตมีบทบาทสำคัญในการสร้างเสถียรภาพ ความแม่นยำ และความสามารถในการทำซ้ำ ซึ่งจำเป็นต่อการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์คุณภาพสูง