พื้นที่การใช้งานของการประกอบหินแกรนิตสำหรับผลิตภัณฑ์อุปกรณ์กระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

หินแกรนิตเป็นหินแข็งชนิดหนึ่งที่กลายมาเป็นวัสดุที่ขาดไม่ได้ในอุตสาหกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ คุณสมบัติของหินแกรนิตทำให้หินแกรนิตสามารถทนต่ออุณหภูมิสูงได้ จึงเหมาะอย่างยิ่งสำหรับใช้ในขั้นตอนต่างๆ ของกระบวนการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ด้วยเหตุนี้ หินแกรนิตจึงถูกนำไปใช้ในผลิตภัณฑ์อุปกรณ์กระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์อย่างกว้างขวาง

การประยุกต์ใช้งานการประกอบหินแกรนิตที่ได้รับความนิยมมากที่สุดอย่างหนึ่งคือการสร้างโครงสร้างเครื่องมือเครื่องจักรที่มีความแม่นยำสูง ความแข็งแกร่งและความเสถียรของหินแกรนิตทำให้สามารถผลิตเครื่องมือที่แม่นยำและแม่นยำโดยมีการเสียรูปเพียงเล็กน้อยหรือไม่มีเลย ความแม่นยำในระดับนี้จำเป็นสำหรับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เช่น การฝังไอออน ซึ่งจะต้องกำหนดทิศทางลำแสงไปยังแผ่นเวเฟอร์อย่างแม่นยำ

การประยุกต์ใช้หินแกรนิตในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์อีกประการหนึ่งคือการสร้างอุปกรณ์การวัด อุปกรณ์การวัดมีความสำคัญในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เนื่องจากทำหน้าที่วัดและตรวจสอบความถูกต้องของอุปกรณ์ที่ผลิต เสถียรภาพเชิงขนาดของหินแกรนิต การขยายตัวเนื่องจากความร้อนต่ำ และคุณสมบัติในการลดการสั่นสะเทือนที่ยอดเยี่ยม ทำให้หินแกรนิตเป็นวัสดุที่เลือกใช้ในการสร้างอุปกรณ์การวัด ซึ่งรวมถึงพื้นผิวหินแกรนิตขนาดใหญ่ที่ใช้ในการจัดเตรียมและตรวจสอบเวเฟอร์

โต๊ะออปติกเป็นอีกพื้นที่หนึ่งที่มีการนำหินแกรนิตมาประยุกต์ใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์อย่างกว้างขวาง โต๊ะออปติกใช้ในการทดสอบอุปกรณ์ออปติก เช่น ท่อนำคลื่นสำหรับการสื่อสารข้อมูล ความเรียบของหินแกรนิต การขยายตัวเนื่องจากความร้อนต่ำ ความแข็งแกร่งสูง และความเสถียรเชิงกล ทำให้หินแกรนิตมีพื้นผิวที่มั่นคงสูงสำหรับการติดตั้งและการวางตำแหน่งของออปติก โต๊ะออปติกจากหินแกรนิตสามารถให้ความเสถียรและความแข็งแกร่งที่จำเป็นในการทดสอบอุปกรณ์ออปติกอย่างแม่นยำและแม่นยำ

หินแกรนิตยังถูกนำไปใช้ในการสร้างหัวจับและขั้นตอนการผลิตเวเฟอร์ ในระหว่างกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การจัดตำแหน่งที่แม่นยำและการควบคุมตำแหน่งถือเป็นสิ่งสำคัญ หัวจับเวเฟอร์ซึ่งยึดเวเฟอร์ไว้ในตำแหน่งระหว่างการประมวลผลจะต้องรักษาความแม่นยำของตำแหน่งในขณะที่ทนต่ออุณหภูมิสูงและสภาวะสุญญากาศ หินแกรนิตมีเสถียรภาพของมิติที่ยอดเยี่ยมในช่วงอุณหภูมิที่กว้างและสามารถทนต่อสภาวะสุญญากาศได้ ทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการสร้างหัวจับเวเฟอร์ ขั้นตอนที่ใช้ในการเคลื่อนย้ายเวเฟอร์จากตำแหน่งหนึ่งไปยังอีกตำแหน่งหนึ่งจะผ่านลำดับการเคลื่อนไหวแบบวนซ้ำระหว่างกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การประกอบหินแกรนิตให้ความเสถียรและความทนทานที่จำเป็นในการรองรับรอบการเคลื่อนไหวที่ต่อเนื่องและซ้ำซาก

โดยสรุป การนำหินแกรนิตมาประยุกต์ใช้ในอุตสาหกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์นั้นมีมากมาย คุณสมบัติ เช่น ความเสถียรของมิติ การขยายตัวเนื่องจากความร้อนต่ำ ความแข็งแกร่งสูง และการลดการสั่นสะเทือน ทำให้หินแกรนิตเป็นวัสดุที่เหมาะสำหรับใช้ในขั้นตอนต่างๆ ของกระบวนการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ตั้งแต่การสร้างเครื่องมือเครื่องจักรที่มีความแม่นยำสูงและอุปกรณ์การวัดไปจนถึงโต๊ะออปติคอล เวทีเวเฟอร์ และหัวจับ คุณสมบัติของหินแกรนิตมีบทบาทสำคัญในการให้ความเสถียร ความแม่นยำ และความสามารถในการทำซ้ำ ซึ่งจำเป็นต่อการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์คุณภาพสูง