ระบบแบริ่งลมหินแกรนิตมีการใช้งานอย่างแพร่หลายในความแม่นยำสูงมากแท่นเคลื่อนที่สำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การจัดแนวแสง และการวัดระดับนาโนเมตร
ระบบเหล่านี้ขจัดปัญหาการสัมผัสทางกลโดยใช้ฟิล์มอากาศอัดบาง ๆ ทำให้เกิดการเคลื่อนที่โดยแทบไม่มีแรงเสียดทาน
หลักการทำงานของแบริ่งอากาศ
แบริ่งลมทำงานโดยการอัดอากาศเข้าไประหว่างสองพื้นผิว ทำให้เกิดฟิล์มอากาศหนา 2–20 ไมโครเมตร
ซึ่งจะช่วยขจัดสิ่งต่อไปนี้:
- แรงเสียดทานเชิงกล
- สวมใส่
- พฤติกรรมการลื่นไถลแบบติดๆ ขัดๆ
ระบบนี้อาศัยพลศาสตร์ของฟิล์มของเหลวและการไหลแบบลามินาร์ที่เสถียร
บทบาทของหินแกรนิต
หินแกรนิตมีคุณสมบัติดังนี้:
- ความเสถียรของโครงสร้าง
- การระงับการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ
- การลดแรงสั่นสะเทือน
ทำหน้าที่เป็นฐานอ้างอิงเชิงกลสำหรับระบบการเคลื่อนที่
ส่วนประกอบของระบบ
- ฐานหินแกรนิต
- แผ่นรองแบริ่งลม
- ระบบจ่ายอากาศ
- ตัวเข้ารหัสความแม่นยำสูง
- ระบบควบคุมการเคลื่อนที่
คุณลักษณะด้านประสิทธิภาพ
โดยทั่วไปแล้ว การบริการจะประกอบด้วย:
- ความแม่นยำในการกำหนดตำแหน่งระดับซับไมครอน
- มีความตรงสูงตลอดระยะการเคลื่อนที่ยาว
- ไม่มีการคลายตัวทางกลเลย
แหล่งที่มาของข้อผิดพลาดที่สำคัญ ได้แก่ ความไม่เสถียรของความดันอากาศ การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ และข้อผิดพลาดของตัวเข้ารหัส
แอปพลิเคชัน
- การตรวจสอบแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์
- ระบบการพิมพ์หิน
- แท่นจัดแนวแสง
- เครื่องวัดคุณภาพสูง
คำถามที่พบบ่อย
ตลับลูกปืนลมสึกหรอได้หรือไม่?
การไม่มีการสัมผัสทางกลไกช่วยขจัดปัญหาการสึกหรอ
ทำไมต้องใช้หินแกรนิต?
เพื่อเพิ่มความเสถียรและลดแรงสั่นสะเทือน
อะไรคือปัจจัยที่จำกัดความแม่นยำ?
เสถียรภาพของอากาศและผลกระทบทางความร้อน
พวกเขาสามารถแบกของหนักได้ไหม?
ใช่ ขึ้นอยู่กับการออกแบบ
วันที่โพสต์: 3 กรกฎาคม 2569