วัสดุ – เซรามิก

♦อะลูมินา(Al2โอ3)

ชิ้นส่วนเซรามิกที่มีความแม่นยำที่ผลิตโดย ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) สามารถผลิตได้จากวัตถุดิบเซรามิกที่มีความบริสุทธิ์สูง อะลูมินา 92~97% อะลูมินา 99.5% อะลูมินามากกว่า 99.9% และการกดไอโซสแตติกแบบเย็น CIP การเผาที่อุณหภูมิสูงและการกลึงที่แม่นยำ ความแม่นยำของขนาด ± 0.001 มม. ความเรียบเนียนถึง Ra0.1 อุณหภูมิการใช้งานสูงถึง 1,600 องศา เซรามิกสีต่างๆ สามารถผลิตได้ตามความต้องการของลูกค้า เช่น สีดำ สีขาว สีเบจ สีแดงเข้ม เป็นต้น ชิ้นส่วนเซรามิกที่มีความแม่นยำที่ผลิตโดยบริษัทของเรามีความทนทานต่ออุณหภูมิสูง การกัดกร่อน การสึกหรอ และฉนวน และสามารถใช้งานได้เป็นเวลานานในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง สูญญากาศ และก๊าซกัดกร่อน

ใช้กันอย่างแพร่หลายในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ เช่น เฟรม (ขายึดเซรามิก), ซับสเตรต (ฐาน), แขน/สะพาน (แมนิพิวเลเตอร์), ส่วนประกอบเครื่องกล และตลับลูกปืนอากาศเซรามิก

อัล2โอ3

ชื่อสินค้า ท่อสี่เหลี่ยมเซรามิกอะลูมินา 99 ที่มีความบริสุทธิ์สูง / ท่อ / แท่ง
ดัชนี หน่วย 85% Al2O3 แป้ง 95% Al2O3 ปรอท 99% Al2O3 ปรอท 99.5% อัล2โอ3
ความหนาแน่น กรัม/ซม3 3.3 3.65 3.8 3.9
การดูดซึมน้ำ % <0.1 <0.1 0 0
อุณหภูมิการเผา 1620 1650 1800 1800
ความแข็ง โมห์ส 7 9 9 9
ความแข็งแรงการดัด (20℃)) เมกะปาสคาล 200 300 340 360
ความแข็งแรงในการบีบอัด กก./ซม.2 10,000 25000 30000 30000
อุณหภูมิการทำงานที่ยาวนาน 1350 1400 1600 1650
อุณหภูมิการทำงานสูงสุด 1450 1600 1800 1800
ความต้านทานปริมาตร 20℃ Ω. ซม3 >1013 >1013 >1013 >1013
100℃ 1012-1013 1012-1013 1012-1013 1012-1013
300℃ >109 >1010 >1012 >1012

การประยุกต์ใช้เซรามิกอะลูมินาที่มีความบริสุทธิ์สูง:
1. นำไปใช้กับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์: หัวจับสูญญากาศเซรามิก แผ่นตัด แผ่นทำความสะอาด หัวจับเซรามิก
2. ชิ้นส่วนการถ่ายโอนเวเฟอร์: หัวจับเวเฟอร์, จานตัดเวเฟอร์, จานทำความสะอาดเวเฟอร์, ถ้วยดูดตรวจสอบเวเฟอร์แบบออปติคอล
3. อุตสาหกรรมจอภาพแบบแผงแบน LED / LCD: หัวฉีดเซรามิก, แผ่นเจียรเซรามิก, LIFT PIN, ราง PIN
4. การสื่อสารด้วยแสง อุตสาหกรรมพลังงานแสงอาทิตย์: หลอดเซรามิก แท่งเซรามิก เครื่องขูดเซรามิกสำหรับพิมพ์สกรีนแผงวงจร
5. ชิ้นส่วนทนความร้อนและเป็นฉนวนไฟฟ้า: ตลับลูกปืนเซรามิก
ปัจจุบัน เซรามิกอะลูมิเนียมออกไซด์สามารถแบ่งได้เป็นเซรามิกที่มีความบริสุทธิ์สูงและเซรามิกทั่วไป เซรามิกอะลูมิเนียมออกไซด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงหมายถึงวัสดุเซรามิกที่มี Al₂O₃ มากกว่า 99.9% เนื่องจากมีอุณหภูมิการเผาผนึกสูงถึง 1,650 - 1,990°C และความยาวคลื่นการส่งผ่าน 1 ~ 6μm จึงมักถูกแปรรูปเป็นแก้วหลอมแทนเบ้าหลอมแพลตตินัม ซึ่งสามารถใช้เป็นหลอดโซเดียมได้เนื่องจากการส่งผ่านแสงและทนต่อการกัดกร่อนของโลหะอัลคาไล ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ สามารถใช้เป็นวัสดุฉนวนความถี่สูงสำหรับพื้นผิว IC ได้ ตามเนื้อหาของอะลูมิเนียมออกไซด์ที่แตกต่างกัน เซรามิกอะลูมิเนียมออกไซด์ทั่วไปสามารถแบ่งได้เป็นเซรามิก 99 ชนิด เซรามิก 95 ชนิด เซรามิก 90 ชนิด และเซรามิก 85 ชนิด บางครั้ง เซรามิกที่มีอะลูมิเนียมออกไซด์ 80% หรือ 75% ยังจัดเป็นเซรามิกอะลูมิเนียมออกไซด์ทั่วไปอีกด้วย เซรามิกอะลูมิเนียมออกไซด์ 99% ถูกใช้ในการผลิตเบ้าหลอมที่อุณหภูมิสูง ท่อเตาเผาที่ทนไฟ และวัสดุที่ทนทานต่อการสึกหรอเป็นพิเศษ เช่น ตลับลูกปืนเซรามิก ซีลเซรามิก และแผ่นวาล์ว เซรามิกอะลูมิเนียม 99% ใช้เป็นชิ้นส่วนที่ทนทานต่อการกัดกร่อนและการสึกหรอเป็นหลัก เซรามิก 85% มักผสมอยู่ในคุณสมบัติบางประการ เพื่อปรับปรุงประสิทธิภาพทางไฟฟ้าและความแข็งแรงเชิงกล สามารถใช้โมลิบดีนัม ไนโอเบียม แทนทาลัม และซีลโลหะอื่นๆ ได้ และบางส่วนใช้เป็นอุปกรณ์สูญญากาศไฟฟ้า

 

รายการคุณภาพ (มูลค่าตัวแทน) ชื่อสินค้า เออีเอส-12 เออีเอส-11 เออีเอส-11ซี เออีเอส-11เอฟ เออีเอส-22เอส เออีเอส-23 อ.ล.31-03
องค์ประกอบทางเคมี ผลิตภัณฑ์โซเดียมต่ำเผาง่าย ไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์ % 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
ฮ่าๆ % 0.1 0.2 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
เฟอ₂0₃ % 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01
ซิโอ₂ % 0.03 0.03 0.03 0.03 0.02 0.04 0.04
โซเดียมคลอไรด์ % 0.04 0.04 0.04 0.04 0.02 0.04 0.03
แมกนีเซียมออกไซด์* % - 0.11 0.05 0.05 - - -
อัล₂0₃ % 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9
เส้นผ่านศูนย์กลางอนุภาคขนาดกลาง (MT-3300, วิธีการวิเคราะห์ด้วยเลเซอร์) ไมโครเมตร 0.44 0.43 0.39 0.47 1.1 2.2 3
α ขนาดคริสตัล ไมโครเมตร 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 ~ 1.0 0.3 ~ 4 0.3 ~ 4
การก่อตัวความหนาแน่น** กรัม/ซม³ 2.22 2.22 2.2 2.17 2.35 2.57 2.56
ความหนาแน่นของการเผาผนึก** กรัม/ซม³ 3.88 3.93 3.94 3.93 3.88 3.77 3.22
อัตราการหดตัวของสายการเผาผนึก** % 17 17 18 18 15 12 7

* MgO ไม่ได้รวมอยู่ในคำนวณความบริสุทธิ์ของ Al₂O₃
* ผงไม่เกิดตะกรัน 29.4MPa (300kg/cm²) อุณหภูมิการเผาคือ 1,600°C
AES-11 / 11C / 11F: เติม MgO ลงไป 0.05 ~ 0.1% ความสามารถในการเผาเป็นเลิศ จึงสามารถใช้กับเซรามิกอะลูมิเนียมออกไซด์ที่มีความบริสุทธิ์มากกว่า 99% ได้
AES-22S: โดดเด่นด้วยความหนาแน่นในการขึ้นรูปที่สูงและอัตราการหดตัวที่ต่ำของสายการเผาผนึก จึงสามารถนำไปใช้กับการหล่อแบบสลิปและผลิตภัณฑ์ขนาดใหญ่อื่นๆ ที่ต้องการความแม่นยำของมิติ
AES-23 / AES-31-03: มีความหนาแน่นในการขึ้นรูป ความหนืด และความหนืดต่ำกว่า AES-22S โดย AES-23 ใช้ในอุตสาหกรรมเซรามิก ในขณะที่ AES-31-03 ใช้เป็นตัวลดปริมาณน้ำในวัสดุทนไฟ ซึ่งได้รับความนิยมเพิ่มมากขึ้น

♦คุณสมบัติของซิลิกอนคาร์ไบด์ (SiC)

ลักษณะทั่วไป ความบริสุทธิ์ของส่วนประกอบหลัก (wt%) 97
สี สีดำ
ความหนาแน่น (ก./ซม.) 3.1
การดูดซึมน้ำ (%) 0
ลักษณะทางกล ความแข็งแรงดัด (MPa) 400
โมดูลัสของยัง (GPa) 400
ความแข็งวิกเกอร์ส (GPa) 20
ลักษณะทางความร้อน อุณหภูมิการทำงานสูงสุด (°C) 1600
ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อน อุณหภูมิห้อง~500°C 3.9
(1/°C x 10-6) อุณหภูมิ~800°C 4.3
ค่าการนำความร้อน (W/m x K) 130 110
ความต้านทานการกระแทกเนื่องจากความร้อน ΔT (°C) 300
ลักษณะทางไฟฟ้า ค่าความต้านทานปริมาตร 25 องศาเซลเซียส 3x106 ค่ะ
300 องศาเซลเซียส -
500 องศาเซลเซียส -
800 องศาเซลเซียส -
ค่าคงที่ไดอิเล็กตริก 10กิกะเฮิรตซ์ -
การสูญเสียไดอิเล็กตริก (x 10-4) -
ปัจจัย Q (x 104) -
แรงดันพังทลายของไดอิเล็กทริก (KV/mm) -

20200507170353_55726

♦เซรามิกซิลิกอนไนไตรด์

วัสดุ หน่วย ซิ₃N₄
วิธีการเผาผนึก - ก๊าซความดันเผาผนึก
ความหนาแน่น กรัม/ซม³ 3.22
สี - สีเทาเข้ม
อัตราการดูดซึมน้ำ % 0
ยังโมดูลัส เกรดเฉลี่ย 290
ความแข็งวิกเกอร์ส เกรดเฉลี่ย 18 - 20
ความแข็งแรงในการบีบอัด เมกะปาสคาล 2200
ความแข็งแรงในการดัด เมกะปาสคาล 650
การนำความร้อน วี/เอ็มเค 25
ทนทานต่อแรงกระแทกจากความร้อน Δ (°ซ) 450 - 650
อุณหภูมิการทำงานสูงสุด องศาเซลเซียส 1200
ความต้านทานปริมาตร Ω·ซม. > 10 ^ 14
ค่าคงที่ไดอิเล็กตริก - 8.2
ความแข็งแรงของฉนวนไฟฟ้า กิโลโวลต์/มม. 16