♦อลูมินา(อัล2O3)
ชิ้นส่วนเซรามิกที่มีความแม่นยำที่ผลิตโดย ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) สามารถทำจากวัตถุดิบเซรามิกที่มีความบริสุทธิ์สูง, อลูมินา 92~97%, อลูมินา 99.5%, อลูมินา >99.9% และการอัดไอโซสแตติกเย็น CIPการเผาผนึกที่อุณหภูมิสูงและการตัดเฉือนที่มีความแม่นยำ ความแม่นยำของมิติ ± 0.001 มม. ความเรียบสูงถึง Ra0.1 ใช้อุณหภูมิสูงถึง 1600 องศาเซรามิกสีต่างๆ สามารถผลิตได้ตามความต้องการของลูกค้า เช่น สีดำ สีขาว สีเบจ สีแดงเข้ม ฯลฯ ชิ้นส่วนเซรามิกที่มีความแม่นยำที่ผลิตโดยบริษัทของเรานั้นทนทานต่ออุณหภูมิสูง การกัดกร่อน การสึกหรอ และฉนวนกันความร้อน และสามารถ ใช้เป็นเวลานานในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง สุญญากาศ และก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อน
ใช้กันอย่างแพร่หลายในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่หลากหลาย: เฟรม (ตัวยึดเซรามิก), พื้นผิว (ฐาน), แขน / สะพาน (หุ่นยนต์), ส่วนประกอบทางกลและแบริ่งอากาศเซรามิก
| ชื่อผลิตภัณฑ์ | ความบริสุทธิ์สูง 99 อลูมินาเซรามิกท่อสี่เหลี่ยม / ท่อ / ก้าน | |||||
| ดัชนี | หน่วย | อัล2O3 85 % | อัล2O3 95 % | อัล2O3 99 % | อัล2O3 99.5 % | |
| ความหนาแน่น | กรัม/ซม3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
| ดูดซึมน้ำ | % | <0.1 | <0.1 | 0 | 0 | |
| อุณหภูมิเผาผนึก | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
| ความแข็ง | โมห์ส | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| กำลังดัด (20 ℃)) | เมปา | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| แรงอัด | กิโลกรัมเอฟ/ซม.2 | 10,000 | 25,000 | 30000 | 30000 | |
| อุณหภูมิในการทำงานเป็นเวลานาน | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
| สูงสุดอุณหภูมิในการทำงาน | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
| ความต้านทานต่อปริมาตร | 20 ℃ | โอห์มซม.3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
| 100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300 ℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 | ||
การใช้เซรามิกอลูมินาที่มีความบริสุทธิ์สูง:
1. ใช้กับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์: หัวจับสูญญากาศเซรามิก, แผ่นตัด, แผ่นทำความสะอาด, หัวจับเซรามิก
2. ชิ้นส่วนถ่ายโอนเวเฟอร์: หัวจับเวเฟอร์, แผ่นตัดเวเฟอร์, แผ่นทำความสะอาดเวเฟอร์, ถ้วยดูดตรวจสอบแสงเวเฟอร์
3. อุตสาหกรรมจอแบน LED / LCD: หัวฉีดเซรามิก, แผ่นเจียรเซรามิก, LIFT PIN, ราง PIN
4. การสื่อสารด้วยแสง อุตสาหกรรมพลังงานแสงอาทิตย์: หลอดเซรามิก แท่งเซรามิก การพิมพ์สกรีนแผงวงจร เครื่องขูดเซรามิก
5. ชิ้นส่วนทนความร้อนและเป็นฉนวนไฟฟ้า: แบริ่งเซรามิก
ปัจจุบันเซรามิกอลูมิเนียมออกไซด์สามารถแบ่งออกเป็นเซรามิกที่มีความบริสุทธิ์สูงและเซรามิกทั่วไปซีรีส์เซรามิกอะลูมิเนียมออกไซด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงหมายถึงวัสดุเซรามิกที่มีAl₂O₃มากกว่า 99.9%เนื่องจากอุณหภูมิการเผาผนึกสูงถึง 1,650 - 1990°C และความยาวคลื่นในการส่งผ่าน 1 ~ 6μm จึงมักจะถูกแปรรูปเป็นแก้วหลอมแทนเบ้าหลอมแพลตตินัม ซึ่งสามารถใช้เป็นหลอดโซเดียมได้เนื่องจากการส่องผ่านแสงและความต้านทานการกัดกร่อน โลหะอัลคาไลในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ สามารถใช้เป็นวัสดุฉนวนความถี่สูงสำหรับซับสเตรต IC ได้ตามเนื้อหาที่แตกต่างกันของอลูมิเนียมออกไซด์ ชุดเซรามิกอลูมิเนียมออกไซด์ทั่วไปสามารถแบ่งออกเป็นเซรามิก 99 ชิ้น เซรามิก 95 ชิ้น เซรามิก 90 ชิ้น และเซรามิก 85 ชิ้นบางครั้งเซรามิกที่มีอลูมิเนียมออกไซด์ 80% หรือ 75% ก็จัดเป็นซีรีย์เซรามิกอลูมิเนียมออกไซด์ทั่วไปเช่นกันในจำนวนนี้ วัสดุเซรามิกอลูมิเนียมออกไซด์ 99 ชนิดถูกใช้เพื่อผลิตเบ้าหลอมอุณหภูมิสูง ท่อเตากันไฟ และวัสดุพิเศษที่ทนทานต่อการสึกหรอ เช่น แบริ่งเซรามิก ซีลเซรามิก และแผ่นวาล์วเซรามิกอลูมิเนียม 95 ส่วนใหญ่จะใช้เป็นชิ้นส่วนต้านทานการสึกหรอที่ทนต่อการกัดกร่อนเซรามิก 85 มักถูกผสมในคุณสมบัติบางอย่าง ซึ่งจะช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพทางไฟฟ้าและความแข็งแรงทางกลสามารถใช้โมลิบดีนัม ไนโอเบียม แทนทาลัม และซีลโลหะอื่นๆ และบางชนิดใช้เป็นอุปกรณ์สูญญากาศไฟฟ้า
| รายการคุณภาพ (มูลค่าตัวแทน) | ชื่อผลิตภัณฑ์ | เออีเอส-12 | เออีเอส-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | เออีเอส-23 | อัล-31-03 | |
| องค์ประกอบทางเคมีผลิตภัณฑ์เผาผนึกง่ายโซเดียมต่ำ | เอช₂โอ | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| ฮ่าๆ | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| เฟ₂0₃ | % | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |
| SiO₂ | % | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.02 | 0.04 | 0.04 | |
| นา₂O | % | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.02 | 0.04 | 0.03 | |
| มก.* | % | - | 0.11 | 0.05 | 0.05 | - | - | - | |
| อัล₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
| เส้นผ่านศูนย์กลางอนุภาคปานกลาง (MT-3300, วิธีวิเคราะห์ด้วยเลเซอร์) | ไมโครเมตร | 0.44 | 0.43 | 0.39 | 0.47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| α ขนาดคริสตัล | ไมโครเมตร | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 ~ 1.0 | 0.3 ~ 4 | 0.3 ~ 4 | |
| ความหนาแน่นของการขึ้นรูป** | กรัม/ซม.³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| ความหนาแน่นของการเผาผนึก** | กรัม/ซม.³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
| อัตราการหดตัวของเส้นเผาผนึก** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* MgO ไม่รวมอยู่ในการคำนวณความบริสุทธิ์ของ Al₂O₃
* ไม่มีผงตะกรัน 29.4MPa (300 กก./ซม.²) อุณหภูมิการเผาผนึกอยู่ที่ 1600°C
AES-11 / 11C / 11F: เพิ่ม 0.05 ~ 0.1% MgO ซึ่งมีความสามารถในการเผาผนึกได้ดีเยี่ยม ดังนั้นจึงใช้ได้กับเซรามิกอะลูมิเนียมออกไซด์ที่มีความบริสุทธิ์มากกว่า 99%
AES-22S: มีคุณลักษณะเด่นคือมีความหนาแน่นในการขึ้นรูปสูงและอัตราการหดตัวต่ำของสายการเผาผนึก สามารถใช้ได้กับการหล่อแบบสลิปฟอร์มและผลิตภัณฑ์ขนาดใหญ่อื่นๆ ที่มีความแม่นยำด้านขนาดที่ต้องการ
AES-23 / AES-31-03: มีความหนาแน่นในการขึ้นรูปสูงกว่า thixotropy และมีความหนืดต่ำกว่า AES-22Sโดยแบบแรกใช้กับเซรามิก ส่วนแบบหลังใช้เป็นสารลดน้ำสำหรับวัสดุกันไฟ ซึ่งกำลังได้รับความนิยม
♦ลักษณะเฉพาะของซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC)
| ลักษณะทั่วไป | ความบริสุทธิ์ของส่วนประกอบหลัก (wt%) | 97 | |
| สี | สีดำ | ||
| ความหนาแน่น (ก./ซม.) | 3.1 | ||
| ดูดซึมน้ำ (%) | 0 | ||
| ลักษณะทางกล | กำลังรับแรงดัดงอ (MPa) | 400 | |
| โมดูลัสรุ่นเยาว์ (GPa) | 400 | ||
| ความแข็งวิกเกอร์ส (GPa) | 20 | ||
| ลักษณะทางความร้อน | อุณหภูมิการทำงานสูงสุด (°C) | 1600 | |
| ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อน | RT~500°ซ | 3.9 | |
| (1/°ซ x 10-6) | RT~800°ซ | 4.3 | |
| การนำความร้อน (W/m x K) | 130 110 | ||
| ความต้านทานแรงกระแทกจากความร้อน ∆T (°C) | 300 | ||
| ลักษณะไฟฟ้า | ความต้านทานต่อปริมาตร | 25°ซ | 3x106 |
| 300°ซ | - | ||
| 500°ซ | - | ||
| 800°ซ | - | ||
| ค่าคงที่ไดอิเล็กทริก | 10GHz | - | |
| การสูญเสียอิเล็กทริก (x 10-4) | - | ||
| ปัจจัยคิว (x 104) | - | ||
| แรงดันพังทลายของฉนวน (KV/mm) | - | ||
♦ซิลิคอนไนไตรด์เซรามิก
| วัสดุ | หน่วย | ศรี₃N₄ |
| วิธีการเผาผนึก | - | แรงดันแก๊สเผาผนึก |
| ความหนาแน่น | กรัม/ซม.³ | 3.22 |
| สี | - | เทาเข้ม |
| อัตราการดูดซึมน้ำ | % | 0 |
| โมดูลัสรุ่นเยาว์ | เกรดเฉลี่ย | 290 |
| ความแข็งของวิคเกอร์ | เกรดเฉลี่ย | 18 - 20 |
| แรงอัด | เมปา | 2200 |
| แรงดัดงอ | เมปา | 650 |
| การนำความร้อน | W/mK | 25 |
| ความต้านทานการกระแทกด้วยความร้อน | Δ (°ซ) | 450 - 650 |
| อุณหภูมิในการทำงานสูงสุด | องศาเซลเซียส | 1200 |
| ความต้านทานต่อปริมาตร | Ω·ซม | > 10 ^ 14 |
| ค่าคงที่ไดอิเล็กทริก | - | 8.2 |
| ความเป็นฉนวน | กิโลโวลต์/มม | 16 |