♦อะลูมินา(Al2โอ3)
ชิ้นส่วนเซรามิกที่มีความแม่นยำที่ผลิตโดย ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) สามารถผลิตได้จากวัตถุดิบเซรามิกที่มีความบริสุทธิ์สูง อะลูมินา 92~97% อะลูมินา 99.5% อะลูมินามากกว่า 99.9% และการกดไอโซสแตติกแบบเย็น CIP การเผาที่อุณหภูมิสูงและการกลึงที่แม่นยำ ความแม่นยำของขนาด ± 0.001 มม. ความเรียบเนียนถึง Ra0.1 อุณหภูมิการใช้งานสูงถึง 1,600 องศา เซรามิกสีต่างๆ สามารถผลิตได้ตามความต้องการของลูกค้า เช่น สีดำ สีขาว สีเบจ สีแดงเข้ม เป็นต้น ชิ้นส่วนเซรามิกที่มีความแม่นยำที่ผลิตโดยบริษัทของเรามีความทนทานต่ออุณหภูมิสูง การกัดกร่อน การสึกหรอ และฉนวน และสามารถใช้งานได้เป็นเวลานานในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง สูญญากาศ และก๊าซกัดกร่อน
ใช้กันอย่างแพร่หลายในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ เช่น เฟรม (ขายึดเซรามิก), ซับสเตรต (ฐาน), แขน/สะพาน (แมนิพิวเลเตอร์), ส่วนประกอบเครื่องกล และตลับลูกปืนอากาศเซรามิก
ชื่อสินค้า | ท่อสี่เหลี่ยมเซรามิกอะลูมินา 99 ที่มีความบริสุทธิ์สูง / ท่อ / แท่ง | |||||
ดัชนี | หน่วย | 85% Al2O3 แป้ง | 95% Al2O3 ปรอท | 99% Al2O3 ปรอท | 99.5% อัล2โอ3 | |
ความหนาแน่น | กรัม/ซม3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
การดูดซึมน้ำ | % | <0.1 | <0.1 | 0 | 0 | |
อุณหภูมิการเผา | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
ความแข็ง | โมห์ส | 7 | 9 | 9 | 9 | |
ความแข็งแรงการดัด (20℃)) | เมกะปาสคาล | 200 | 300 | 340 | 360 | |
ความแข็งแรงในการบีบอัด | กก./ซม.2 | 10,000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
อุณหภูมิการทำงานที่ยาวนาน | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
อุณหภูมิการทำงานสูงสุด | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
ความต้านทานปริมาตร | 20℃ | Ω. ซม3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
100℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 |
การประยุกต์ใช้เซรามิกอะลูมินาที่มีความบริสุทธิ์สูง:
1. นำไปใช้กับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์: หัวจับสูญญากาศเซรามิก แผ่นตัด แผ่นทำความสะอาด หัวจับเซรามิก
2. ชิ้นส่วนการถ่ายโอนเวเฟอร์: หัวจับเวเฟอร์, จานตัดเวเฟอร์, จานทำความสะอาดเวเฟอร์, ถ้วยดูดตรวจสอบเวเฟอร์แบบออปติคอล
3. อุตสาหกรรมจอภาพแบบแผงแบน LED / LCD: หัวฉีดเซรามิก, แผ่นเจียรเซรามิก, LIFT PIN, ราง PIN
4. การสื่อสารด้วยแสง อุตสาหกรรมพลังงานแสงอาทิตย์: หลอดเซรามิก แท่งเซรามิก เครื่องขูดเซรามิกสำหรับพิมพ์สกรีนแผงวงจร
5. ชิ้นส่วนทนความร้อนและเป็นฉนวนไฟฟ้า: ตลับลูกปืนเซรามิก
ปัจจุบัน เซรามิกอะลูมิเนียมออกไซด์สามารถแบ่งได้เป็นเซรามิกที่มีความบริสุทธิ์สูงและเซรามิกทั่วไป เซรามิกอะลูมิเนียมออกไซด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงหมายถึงวัสดุเซรามิกที่มี Al₂O₃ มากกว่า 99.9% เนื่องจากมีอุณหภูมิการเผาผนึกสูงถึง 1,650 - 1,990°C และความยาวคลื่นการส่งผ่าน 1 ~ 6μm จึงมักถูกแปรรูปเป็นแก้วหลอมแทนเบ้าหลอมแพลตตินัม ซึ่งสามารถใช้เป็นหลอดโซเดียมได้เนื่องจากการส่งผ่านแสงและทนต่อการกัดกร่อนของโลหะอัลคาไล ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ สามารถใช้เป็นวัสดุฉนวนความถี่สูงสำหรับพื้นผิว IC ได้ ตามเนื้อหาของอะลูมิเนียมออกไซด์ที่แตกต่างกัน เซรามิกอะลูมิเนียมออกไซด์ทั่วไปสามารถแบ่งได้เป็นเซรามิก 99 ชนิด เซรามิก 95 ชนิด เซรามิก 90 ชนิด และเซรามิก 85 ชนิด บางครั้ง เซรามิกที่มีอะลูมิเนียมออกไซด์ 80% หรือ 75% ยังจัดเป็นเซรามิกอะลูมิเนียมออกไซด์ทั่วไปอีกด้วย เซรามิกอะลูมิเนียมออกไซด์ 99% ถูกใช้ในการผลิตเบ้าหลอมที่อุณหภูมิสูง ท่อเตาเผาที่ทนไฟ และวัสดุที่ทนทานต่อการสึกหรอเป็นพิเศษ เช่น ตลับลูกปืนเซรามิก ซีลเซรามิก และแผ่นวาล์ว เซรามิกอะลูมิเนียม 99% ใช้เป็นชิ้นส่วนที่ทนทานต่อการกัดกร่อนและการสึกหรอเป็นหลัก เซรามิก 85% มักผสมอยู่ในคุณสมบัติบางประการ เพื่อปรับปรุงประสิทธิภาพทางไฟฟ้าและความแข็งแรงเชิงกล สามารถใช้โมลิบดีนัม ไนโอเบียม แทนทาลัม และซีลโลหะอื่นๆ ได้ และบางส่วนใช้เป็นอุปกรณ์สูญญากาศไฟฟ้า
รายการคุณภาพ (มูลค่าตัวแทน) | ชื่อสินค้า | เออีเอส-12 | เออีเอส-11 | เออีเอส-11ซี | เออีเอส-11เอฟ | เออีเอส-22เอส | เออีเอส-23 | อ.ล.31-03 | |
องค์ประกอบทางเคมี ผลิตภัณฑ์โซเดียมต่ำเผาง่าย | ไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์ | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
ฮ่าๆ | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
เฟอ₂0₃ | % | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |
ซิโอ₂ | % | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.02 | 0.04 | 0.04 | |
โซเดียมคลอไรด์ | % | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.02 | 0.04 | 0.03 | |
แมกนีเซียมออกไซด์* | % | - | 0.11 | 0.05 | 0.05 | - | - | - | |
อัล₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
เส้นผ่านศูนย์กลางอนุภาคขนาดกลาง (MT-3300, วิธีการวิเคราะห์ด้วยเลเซอร์) | ไมโครเมตร | 0.44 | 0.43 | 0.39 | 0.47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
α ขนาดคริสตัล | ไมโครเมตร | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 ~ 1.0 | 0.3 ~ 4 | 0.3 ~ 4 | |
การก่อตัวความหนาแน่น** | กรัม/ซม³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
ความหนาแน่นของการเผาผนึก** | กรัม/ซม³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
อัตราการหดตัวของสายการเผาผนึก** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MgO ไม่ได้รวมอยู่ในคำนวณความบริสุทธิ์ของ Al₂O₃
* ผงไม่เกิดตะกรัน 29.4MPa (300kg/cm²) อุณหภูมิการเผาคือ 1,600°C
AES-11 / 11C / 11F: เติม MgO ลงไป 0.05 ~ 0.1% ความสามารถในการเผาเป็นเลิศ จึงสามารถใช้กับเซรามิกอะลูมิเนียมออกไซด์ที่มีความบริสุทธิ์มากกว่า 99% ได้
AES-22S: โดดเด่นด้วยความหนาแน่นในการขึ้นรูปที่สูงและอัตราการหดตัวที่ต่ำของสายการเผาผนึก จึงสามารถนำไปใช้กับการหล่อแบบสลิปและผลิตภัณฑ์ขนาดใหญ่อื่นๆ ที่ต้องการความแม่นยำของมิติ
AES-23 / AES-31-03: มีความหนาแน่นในการขึ้นรูป ความหนืด และความหนืดต่ำกว่า AES-22S โดย AES-23 ใช้ในอุตสาหกรรมเซรามิก ในขณะที่ AES-31-03 ใช้เป็นตัวลดปริมาณน้ำในวัสดุทนไฟ ซึ่งได้รับความนิยมเพิ่มมากขึ้น
♦คุณสมบัติของซิลิกอนคาร์ไบด์ (SiC)
ลักษณะทั่วไป | ความบริสุทธิ์ของส่วนประกอบหลัก (wt%) | 97 | |
สี | สีดำ | ||
ความหนาแน่น (ก./ซม.) | 3.1 | ||
การดูดซึมน้ำ (%) | 0 | ||
ลักษณะทางกล | ความแข็งแรงดัด (MPa) | 400 | |
โมดูลัสของยัง (GPa) | 400 | ||
ความแข็งวิกเกอร์ส (GPa) | 20 | ||
ลักษณะทางความร้อน | อุณหภูมิการทำงานสูงสุด (°C) | 1600 | |
ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อน | อุณหภูมิห้อง~500°C | 3.9 | |
(1/°C x 10-6) | อุณหภูมิ~800°C | 4.3 | |
ค่าการนำความร้อน (W/m x K) | 130 110 | ||
ความต้านทานการกระแทกเนื่องจากความร้อน ΔT (°C) | 300 | ||
ลักษณะทางไฟฟ้า | ค่าความต้านทานปริมาตร | 25 องศาเซลเซียส | 3x106 ค่ะ |
300 องศาเซลเซียส | - | ||
500 องศาเซลเซียส | - | ||
800 องศาเซลเซียส | - | ||
ค่าคงที่ไดอิเล็กตริก | 10กิกะเฮิรตซ์ | - | |
การสูญเสียไดอิเล็กตริก (x 10-4) | - | ||
ปัจจัย Q (x 104) | - | ||
แรงดันพังทลายของไดอิเล็กทริก (KV/mm) | - |
♦เซรามิกซิลิกอนไนไตรด์
วัสดุ | หน่วย | ซิ₃N₄ |
วิธีการเผาผนึก | - | ก๊าซความดันเผาผนึก |
ความหนาแน่น | กรัม/ซม³ | 3.22 |
สี | - | สีเทาเข้ม |
อัตราการดูดซึมน้ำ | % | 0 |
ยังโมดูลัส | เกรดเฉลี่ย | 290 |
ความแข็งวิกเกอร์ส | เกรดเฉลี่ย | 18 - 20 |
ความแข็งแรงในการบีบอัด | เมกะปาสคาล | 2200 |
ความแข็งแรงในการดัด | เมกะปาสคาล | 650 |
การนำความร้อน | วี/เอ็มเค | 25 |
ทนทานต่อแรงกระแทกจากความร้อน | Δ (°ซ) | 450 - 650 |
อุณหภูมิการทำงานสูงสุด | องศาเซลเซียส | 1200 |
ความต้านทานปริมาตร | Ω·ซม. | > 10 ^ 14 |
ค่าคงที่ไดอิเล็กตริก | - | 8.2 |
ความแข็งแรงของฉนวนไฟฟ้า | กิโลโวลต์/มม. | 16 |