♦อะลูมินา(Al2โอ3)
ชิ้นส่วนเซรามิกความแม่นยำสูงที่ผลิตโดย ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) สามารถผลิตได้จากวัตถุดิบเซรามิกที่มีความบริสุทธิ์สูง อะลูมินา 92~97%, อะลูมินา 99.5%, อะลูมินามากกว่า 99.9% และการอัดแบบไอโซสแตติกเย็น CIP การเผาผนึกที่อุณหภูมิสูงและการตัดเฉือนที่แม่นยำ ความแม่นยำของขนาด ± 0.001 มม. ความเรียบสูงสุด Ra0.1 อุณหภูมิการใช้งานสูงสุด 1600 องศา สามารถผลิตเซรามิกได้หลากหลายสีตามความต้องการของลูกค้า เช่น สีดำ สีขาว สีเบจ สีแดงเข้ม เป็นต้น ชิ้นส่วนเซรามิกความแม่นยำสูงที่ผลิตโดยบริษัทของเรามีความทนทานต่ออุณหภูมิสูง การกัดกร่อน การสึกหรอ และความเป็นฉนวน สามารถใช้งานได้ยาวนานในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง สุญญากาศ และก๊าซกัดกร่อน
ใช้กันอย่างแพร่หลายในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่หลากหลาย: เฟรม (ขายึดเซรามิก), ซับสเตรต (ฐาน), แขน/สะพาน (แมนิพิวเลเตอร์), ส่วนประกอบทางกล และลูกปืนอากาศเซรามิก
| ชื่อสินค้า | ท่อสี่เหลี่ยมเซรามิกอะลูมินา 99 ความบริสุทธิ์สูง / ท่อ / แท่ง | |||||
| ดัชนี | หน่วย | 85% Al2O3 | 95% Al2O3 | 99% Al2O3 | 99.5% Al2O3 | |
| ความหนาแน่น | กรัม/ซม3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
| การดูดซึมน้ำ | % | <0.1 | <0.1 | 0 | 0 | |
| อุณหภูมิการเผา | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
| ความแข็ง | โมห์ส | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| ความแข็งแรงการดัด (20℃)) | เมกะปาสคาล | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| ความแข็งแรงในการบีบอัด | กก./ซม.2 | 10,000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| อุณหภูมิการทำงานที่ยาวนาน | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
| อุณหภูมิการทำงานสูงสุด | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
| ความต้านทานปริมาตร | 20℃ | Ω. cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
| 100℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 | ||
การประยุกต์ใช้เซรามิกอะลูมินาที่มีความบริสุทธิ์สูง:
1. นำไปใช้กับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์: หัวจับสูญญากาศเซรามิก, แผ่นตัด, แผ่นทำความสะอาด, หัวจับเซรามิก
2. ชิ้นส่วนการถ่ายโอนเวเฟอร์: หัวจับเวเฟอร์, แผ่นตัดเวเฟอร์, แผ่นทำความสะอาดเวเฟอร์, ถ้วยดูดตรวจสอบเวเฟอร์แบบออปติคัล
3. อุตสาหกรรมจอแบน LED / LCD: หัวฉีดเซรามิก, แผ่นเจียรเซรามิก, พินยก, รางพิน
4. การสื่อสารด้วยแสง อุตสาหกรรมพลังงานแสงอาทิตย์: หลอดเซรามิก แท่งเซรามิก เครื่องขูดเซรามิกสำหรับพิมพ์สกรีนแผงวงจร
5. ชิ้นส่วนทนความร้อนและเป็นฉนวนไฟฟ้า: ตลับลูกปืนเซรามิก
ปัจจุบัน เซรามิกอะลูมิเนียมออกไซด์สามารถแบ่งได้เป็นเซรามิกที่มีความบริสุทธิ์สูงและเซรามิกทั่วไป เซรามิกอะลูมิเนียมออกไซด์ที่มีความบริสุทธิ์สูง หมายถึงวัสดุเซรามิกที่มี Al₂O₃ มากกว่า 99.9% เนื่องจากมีอุณหภูมิการเผาผนึกสูงถึง 1650-1990°C และความยาวคลื่นที่ส่งผ่าน 1-6μm จึงมักถูกนำไปแปรรูปเป็นแก้วหลอมแทนเบ้าหลอมแพลทินัม ซึ่งสามารถใช้เป็นหลอดโซเดียมได้เนื่องจากมีคุณสมบัติในการส่องผ่านของแสงและทนต่อการกัดกร่อนของโลหะอัลคาไล ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ เซรามิกอะลูมิเนียมออกไซด์สามารถใช้เป็นวัสดุฉนวนความถี่สูงสำหรับแผ่นรองรับไอซี เซรามิกอะลูมิเนียมออกไซด์ทั่วไปสามารถแบ่งตามปริมาณอะลูมิเนียมออกไซด์ที่แตกต่างกันได้เป็นเซรามิก 99 ชนิด เซรามิก 95 ชนิด เซรามิก 90 ชนิด และเซรามิก 85 ชนิด บางครั้งเซรามิกที่มีอะลูมิเนียมออกไซด์ 80% หรือ 75% ก็จัดเป็นเซรามิกอะลูมิเนียมออกไซด์ทั่วไปเช่นกัน ในบรรดาวัสดุเหล่านี้ อะลูมิเนียมออกไซด์ 99 ถูกนำมาใช้ในการผลิตเบ้าหลอมอุณหภูมิสูง ท่อเตาเผากันไฟ และวัสดุพิเศษที่ทนทานต่อการสึกหรอ เช่น ตลับลูกปืนเซรามิก ซีลเซรามิก และแผ่นวาล์ว อะลูมิเนียมออกไซด์ 95 ส่วนใหญ่ใช้เป็นชิ้นส่วนที่ทนทานต่อการกัดกร่อนและการสึกหรอ เซรามิก 85 มักถูกนำมาผสมในคุณสมบัติบางประการ ซึ่งช่วยเพิ่มประสิทธิภาพทางไฟฟ้าและความแข็งแรงเชิงกล สามารถใช้โมลิบดีนัม ไนโอเบียม แทนทาลัม และซีลโลหะอื่นๆ ได้ และบางชนิดใช้เป็นอุปกรณ์สุญญากาศไฟฟ้า
| รายการคุณภาพ (มูลค่าตัวแทน) | ชื่อสินค้า | เออีเอส-12 | เออีเอส-11 | เออีเอส-11ซี | เออีเอส-11เอฟ | เออีเอส-22เอส | เออีเอส-23 | อัล-31-03 | |
| องค์ประกอบทางเคมี ผลิตภัณฑ์โซเดียมต่ำเผาง่าย | น้ำ | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| ฮ่าๆ | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| Fe₂0₃ | % | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |
| ซิโอ₂ | % | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.02 | 0.04 | 0.04 | |
| โซเดียม₂O | % | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.02 | 0.04 | 0.03 | |
| แมกนีเซียมออกไซด์* | % | - | 0.11 | 0.05 | 0.05 | - | - | - | |
| อัล₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
| เส้นผ่านศูนย์กลางอนุภาคขนาดกลาง (MT-3300, วิธีการวิเคราะห์ด้วยเลเซอร์) | ไมโครเมตร | 0.44 | 0.43 | 0.39 | 0.47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| ขนาดคริสตัล α | ไมโครเมตร | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 ~ 1.0 | 0.3 ~ 4 | 0.3 ~ 4 | |
| ความหนาแน่นของการก่อตัว** | กรัม/ซม³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| ความหนาแน่นของการเผา** | กรัม/ซม³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
| อัตราการหดตัวของสายการเผาผนึก** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* MgO ไม่รวมอยู่ในคำนวณความบริสุทธิ์ของ Al₂O₃
* ผงไม่เกิดตะกรัน 29.4MPa (300กก./ซม.²) อุณหภูมิการเผา 1,600°C
AES-11 / 11C / 11F: เพิ่ม MgO 0.05 ~ 0.1% ความสามารถในการเผาเป็นเลิศ จึงสามารถใช้กับเซรามิกอะลูมิเนียมออกไซด์ที่มีความบริสุทธิ์มากกว่า 99%
AES-22S: โดดเด่นด้วยความหนาแน่นในการขึ้นรูปที่สูงและอัตราการหดตัวที่ต่ำของสายการเผา จึงสามารถนำไปใช้กับการหล่อแบบสลิปฟอร์มและผลิตภัณฑ์ขนาดใหญ่อื่นๆ ที่ต้องการความแม่นยำของมิติ
AES-23 / AES-31-03: มีความหนาแน่นในการขึ้นรูป ความหนืด และความหนืดต่ำกว่า AES-22S โดย AES-23 ใช้กับเซรามิกส์ ในขณะที่ AES-31-03 ใช้เป็นสารลดปริมาณน้ำสำหรับวัสดุทนไฟ ซึ่งกำลังได้รับความนิยมมากขึ้น
♦ลักษณะของซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC)
| ลักษณะทั่วไป | ความบริสุทธิ์ของส่วนประกอบหลัก (wt%) | 97 | |
| สี | สีดำ | ||
| ความหนาแน่น (g/cm³) | 3.1 | ||
| การดูดซึมน้ำ (%) | 0 | ||
| ลักษณะทางกล | ความแข็งแรงดัด (MPa) | 400 | |
| โมดูลัสยัง (GPa) | 400 | ||
| ความแข็งวิกเกอร์ส (GPa) | 20 | ||
| ลักษณะทางความร้อน | อุณหภูมิการทำงานสูงสุด (°C) | 1600 | |
| ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อน | อุณหภูมิห้อง~500°C | 3.9 | |
| (1/°C x 10-6) | อุณหภูมิห้อง ~800°C | 4.3 | |
| ค่าการนำความร้อน (W/m x K) | 130 110 | ||
| ความต้านทานการช็อกจากความร้อน ΔT (°C) | 300 | ||
| ลักษณะทางไฟฟ้า | ความต้านทานปริมาตร | 25 องศาเซลเซียส | 3 x 106 |
| 300 องศาเซลเซียส | - | ||
| 500 องศาเซลเซียส | - | ||
| 800 องศาเซลเซียส | - | ||
| ค่าคงที่ไดอิเล็กตริก | 10GHz | - | |
| การสูญเสียไดอิเล็กตริก (x 10-4) | - | ||
| ปัจจัย Q (x 104) | - | ||
| แรงดันไฟฟ้าพังทลายของไดอิเล็กทริก (KV/mm) | - | ||
♦เซรามิกซิลิคอนไนไตรด์
| วัสดุ | หน่วย | ซิ₃เอ็น₄ |
| วิธีการเผาผนึก | - | เผาผนึกด้วยแรงดันแก๊ส |
| ความหนาแน่น | กรัม/ซม³ | 3.22 |
| สี | - | สีเทาเข้ม |
| อัตราการดูดซึมน้ำ | % | 0 |
| โมดูลัสยัง | เกรดเฉลี่ย | 290 |
| ความแข็งวิกเกอร์ส | เกรดเฉลี่ย | 18 - 20 |
| ความแข็งแรงในการบีบอัด | เมกะปาสคาล | 2200 |
| ความแข็งแรงในการดัด | เมกะปาสคาล | 650 |
| การนำความร้อน | ด้วยเอ็มเค | 25 |
| ความต้านทานต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ | Δ (°C) | 450 - 650 |
| อุณหภูมิการทำงานสูงสุด | องศาเซลเซียส | 1200 |
| ความต้านทานปริมาตร | Ω·ซม. | > 10 ^ 14 |
| ค่าคงที่ไดอิเล็กทริก | - | 8.2 |
| ความแข็งแรงของฉนวนไฟฟ้า | กิโลโวลต์/มม. | 16 |