เหตุใดชิ้นส่วนแก้วที่มีความแม่นยำสูงจึงมีความสำคัญอย่างยิ่งสำหรับระบบตรวจสอบด้วยแสงระดับสูง

ในยุคปัจจุบันของการตรวจจับข้อบกพร่องระดับต่ำกว่าไมครอน ไม่ว่าจะเป็นแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ ฟอยล์แบตเตอรี่รถยนต์ไฟฟ้า หรือไมโครออปติก ประสิทธิภาพของระบบตรวจสอบด้วยแสงไม่ได้ขึ้นอยู่กับกล้องและอัลกอริทึมเพียงอย่างเดียว แต่ยังขึ้นอยู่กับความเสถียรทางกายภาพของเส้นทางแสงด้วย หัวใจสำคัญของความเสถียรนี้อยู่ที่ส่วนประกอบแก้วที่มีความแม่นยำสูง ได้แก่ เลนส์ หน้าต่าง ปริซึม และแผ่นเรียบอ้างอิงที่ได้รับการออกแบบให้มีความคลาดเคลื่อนระดับนาโนเมตรและทำจากวัสดุพิเศษที่มีการขยายตัวต่ำ

ความท้าทายที่ซ่อนอยู่: การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิในเส้นทางแสง

• ULE® (กระจกที่มีการขยายตัวต่ำมาก) – ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน (CTE) ≈ ±0.03 ppb/°C ที่อุณหภูมิใกล้เคียงอุณหภูมิห้อง
• Zerodur® (Schott) – ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน (CTE) < 0.1 ppb/°C ในช่วงอุณหภูมิ 0–50°C
• เซรามิกแก้ว Clearceram-HS / TiO₂-doped – ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนใกล้ศูนย์และขัดเงาได้ดีเยี่ยม

การเจียรแก้วด้วยความแม่นยำสูง: ไมครอนคือสิ่งสำคัญยิ่งยวด

• การขัดเงาแบบซับอะเพอร์เจอร์และการตกแต่งผิวด้วยแม่เหล็กไฟฟ้า (MRF) เพื่อความแม่นยำของพื้นผิว λ/20
• ความขนาน ≤1 อาร์คเซค บนคู่หน้าต่างสำหรับชุดเลนส์เทเลเซนทริก
• ความหยาบของพื้นผิว <0.5 นาโนเมตร RMS เพื่อลดการกระเจิงในภาพถ่ายแบบสว่าง/มืด
• สารเคลือบ AR แบบกำหนดเองที่ปรับให้เหมาะสมสำหรับความยาวคลื่น 405 นาโนเมตร, 532 นาโนเมตร หรือ SWIR

“การเปลี่ยนหน้าต่างอ้างอิงจาก BK7 เป็น Zerodur ช่วยลดความแปรปรวนของการวัดระหว่างแต่ละขั้นตอนในระบบ AOI ของ PCB ลงได้ 62%”
— หัวหน้าฝ่ายออกแบบด้านเลนส์ บริษัทผู้ผลิตอุปกรณ์การมองเห็นระดับ Tier-1

นอกเหนือจากกระจก: โซลูชันแบบบูรณาการหลายวัสดุ

• การยึดติดกระจกที่มีการขยายตัวต่ำเข้ากับฐานยึดอินวาร์เพื่อการติดตั้งแบบจลนศาสตร์โดยปราศจากแรงเค้น
• การผสานปริซึมแก้วเข้ากับตัวเรือนอะลูมิเนียมที่มีส่วนต่อประสานค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน (CTE) ที่เข้ากัน
• การพัฒนาร่วมกันของโมดูลไฮบริดเชิงแสงและเชิงกลที่มีเครื่องหมายอ้างอิงฝังอยู่ภายใน

แอปพลิเคชันที่เรารองรับ

• การตรวจสอบแผ่นเวเฟอร์และแผ่นแม่พิมพ์เซมิคอนดักเตอร์
• การตรวจจับข้อบกพร่องของจอแสดงผลแบบแบน (FPD)
• การสแกนอิเล็กโทรดแบตเตอรี่ลิเธียมไอออน
• การวัดความแม่นยำสูงสำหรับเลนส์แอสเฟอริก
• โปรเจ็กเตอร์แสงโครงสร้าง 3 มิติความละเอียดสูง

พร้อมที่จะกำจัดปัญหาการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิในระบบตรวจสอบของคุณแล้วหรือยัง?