ความเสถียรทางความร้อนของฐานหินแกรนิตในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์คืออะไร?

หินแกรนิตเป็นหินประเภทหนึ่งที่ขึ้นชื่อเรื่องความแข็ง ความทนทาน และความทนทานต่อการกัดกร่อนของสารเคมีด้วยเหตุนี้จึงกลายเป็นตัวเลือกยอดนิยมสำหรับใช้เป็นฐานของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ความเสถียรทางความร้อนของฐานหินแกรนิตถือเป็นหนึ่งในคุณสมบัติที่น่าสนใจที่สุด

เสถียรภาพทางความร้อนหมายถึงความสามารถของวัสดุในการต้านทานการเปลี่ยนแปลงโครงสร้างเมื่อสัมผัสกับอุณหภูมิสูงในบริบทของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ฐานจะต้องมีเสถียรภาพทางความร้อนสูง เนื่องจากอุปกรณ์ทำงานที่อุณหภูมิสูงเป็นระยะเวลานานพบว่าหินแกรนิตมีเสถียรภาพทางความร้อนที่ดีเยี่ยม โดยมีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน (CTE) ต่ำ

CTE ของวัสดุหมายถึงปริมาณที่ขนาดเปลี่ยนแปลงเมื่อสัมผัสกับการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิCTE ที่ต่ำหมายความว่าวัสดุมีโอกาสน้อยที่จะบิดเบี้ยวหรือเสียรูปเมื่อสัมผัสกับอุณหภูมิที่ต่างกันนี่เป็นสิ่งสำคัญอย่างยิ่งสำหรับฐานของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งจำเป็นต้องคงความเสถียรและราบเรียบเพื่อให้ได้ผลลัพธ์ที่แม่นยำและเชื่อถือได้

เมื่อเทียบกับวัสดุอื่นๆ ที่ใช้กันทั่วไปสำหรับฐานอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ เช่น อลูมิเนียมและสแตนเลส หินแกรนิตมีค่า CTE ต่ำกว่ามากซึ่งหมายความว่าสามารถทนต่ออุณหภูมิที่สูงขึ้นได้โดยไม่บิดเบี้ยวหรือเสียรูปนอกจากนี้การนำความร้อนของหินแกรนิตยังช่วยให้กระจายความร้อนได้อย่างรวดเร็ว ซึ่งสามารถช่วยรักษาอุณหภูมิให้คงที่ระหว่างการทำงานได้

ข้อดีอีกประการหนึ่งของการใช้หินแกรนิตเป็นฐานสำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์คือความต้านทานต่อการกัดกร่อนของสารเคมีอุปกรณ์ที่ใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์มักเกี่ยวข้องกับการใช้สารเคมีที่รุนแรง ซึ่งสามารถกัดกร่อนและทำลายฐานได้ความต้านทานต่อการกัดกร่อนของสารเคมีของหินแกรนิตหมายความว่าสามารถทนต่อการสัมผัสสารเคมีเหล่านี้ได้โดยไม่เสื่อมสภาพ

โดยสรุป ความคงตัวทางความร้อนของหินแกรนิตเป็นคุณลักษณะที่สำคัญสำหรับฐานของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์CTE ต่ำ ค่าการนำความร้อนสูง และความต้านทานต่อการกัดกร่อนของสารเคมี ทำให้เป็นวัสดุในอุดมคติสำหรับจุดประสงค์นี้ผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์สามารถรับประกันความเสถียรและความแม่นยำของอุปกรณ์โดยใช้หินแกรนิตเป็นฐาน ส่งผลให้ได้ผลิตภัณฑ์คุณภาพสูงและเพิ่มประสิทธิภาพ