วิธีที่ดีที่สุดในการรักษาฐานเครื่องจักรหินแกรนิตสำหรับอุปกรณ์แปรรูป Wafer ให้สะอาดคืออะไร

หินแกรนิตเป็นวัสดุที่ดีเยี่ยมสำหรับฐานเครื่องจักร โดยเฉพาะอย่างยิ่งสำหรับอุปกรณ์แปรรูปแผ่นเวเฟอร์ เนื่องจากมีคุณสมบัติเฉพาะตัว เช่น มีความแข็งสูง การขยายตัวทางความร้อนต่ำ และคุณลักษณะการหน่วงการสั่นสะเทือนที่เหนือกว่าแม้ว่าโลหะจะถูกนำมาใช้เป็นวัสดุสำหรับฐานเครื่องจักร แต่หินแกรนิตก็กลายเป็นทางเลือกที่ดีกว่าเนื่องจากเหตุผลดังต่อไปนี้:

ความแข็งสูง: ฐานเครื่องจักรจะต้องมีความแข็งแกร่งและมั่นคงเพื่อลดการสั่นสะเทือนและรักษาความแม่นยำระหว่างการประมวลผลแผ่นเวเฟอร์หินแกรนิตมีอัตราส่วนความแข็งต่อน้ำหนักสูง ซึ่งทำให้มีความแข็งแกร่งและมั่นคงอย่างยิ่ง จึงช่วยลดการสั่นสะเทือนและรับประกันความแม่นยำในการตัดเฉือนที่ดีเยี่ยม

การขยายตัวทางความร้อนต่ำ: การเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิอาจทำให้โลหะขยายตัวหรือหดตัว ส่งผลให้เกิดการเปลี่ยนแปลงขนาดในฐานเครื่องจักร และนำไปสู่ความไม่ถูกต้องในการประมวลผลในทางกลับกัน หินแกรนิตมีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวจากความร้อนต่ำ ซึ่งหมายความว่าจะไม่ขยายตัวหรือหดตัวมากนักเมื่อมีการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิ ทำให้มั่นใจได้ถึงความเสถียรและความแม่นยำในการประมวลผล

การหน่วงการสั่นสะเทือนที่เหนือกว่า: การสั่นสะเทือนเป็นปัญหาทั่วไปในเครื่องมือกล และอาจนำไปสู่ข้อผิดพลาดด้านขนาด ปัญหาผิวสำเร็จ และแม้กระทั่งการสึกหรอของส่วนประกอบเครื่องจักรก่อนเวลาอันควรหินแกรนิตมีชื่อเสียงในด้านคุณสมบัติลดแรงสั่นสะเทือนที่ดีเยี่ยม ซึ่งหมายความว่าสามารถดูดซับและลดแรงสั่นสะเทือนได้ ทำให้มั่นใจได้ถึงการประมวลผลที่ราบรื่นและแม่นยำ

ความทนทานต่อสารเคมี: กระบวนการผลิตแผ่นเวเฟอร์เกี่ยวข้องกับการใช้สารเคมีหลายชนิด และการสัมผัสกับสารเคมีเหล่านี้อาจทำให้เกิดการกัดกร่อนและการเสื่อมสภาพของฐานเครื่องจักรเมื่อเวลาผ่านไปหินแกรนิตมีความทนทานต่อการกัดกร่อนของสารเคมีสูง ทำให้เป็นตัวเลือกวัสดุที่ปลอดภัยและทนทานสำหรับฐานเครื่องจักรในอุปกรณ์แปรรูปแผ่นเวเฟอร์

การบำรุงรักษาต่ำ: หินแกรนิตต้องการการบำรุงรักษาเพียงเล็กน้อย ทำความสะอาดง่าย และไม่กัดกร่อนหรือเป็นสนิมเหมือนโลหะส่งผลให้ต้นทุนการบำรุงรักษาลดลงและการหยุดทำงานของอุปกรณ์น้อยลง

โดยรวมแล้ว การเลือกหินแกรนิตแทนโลหะเป็นฐานเครื่องจักรสำหรับอุปกรณ์แปรรูปแผ่นเวเฟอร์มีข้อดีหลายประการ เช่น ความแข็งสูง การขยายตัวทางความร้อนต่ำ การลดแรงสั่นสะเทือนที่เหนือกว่า ทนต่อสารเคมีได้ดีเยี่ยม และการบำรุงรักษาต่ำประโยชน์เหล่านี้ช่วยให้มั่นใจได้ว่าฐานเครื่องจักรยังคงมีเสถียรภาพ แม่นยำ และทนทาน ส่งผลให้การประมวลผลแผ่นเวเฟอร์คุณภาพสูงและเพิ่มผลผลิต

หินแกรนิตที่มีความแม่นยำ55


เวลาโพสต์: Dec-28-2023