มาตรฐานและข้อกำหนดสำหรับชิ้นส่วนหินแกรนิตในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์มีอะไรบ้าง?

ชิ้นส่วนหินแกรนิตถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์เนื่องจากมีความเสถียรและทนทานสูง ชิ้นส่วนเหล่านี้มีบทบาทสำคัญในการรักษาความแม่นยำและความถูกต้องของกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ อย่างไรก็ตาม ประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือของชิ้นส่วนหินแกรนิตนั้นขึ้นอยู่กับมาตรฐานและข้อกำหนดที่ยึดถือในระหว่างการออกแบบ การผลิต และการติดตั้ง

ต่อไปนี้คือมาตรฐานและข้อกำหนดบางประการที่ต้องปฏิบัติตามเมื่อใช้ส่วนประกอบหินแกรนิตในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์:

1. ความหนาแน่นของวัสดุ: ความหนาแน่นของหินแกรนิตที่ใช้ในการผลิตชิ้นส่วนหินแกรนิตควรอยู่ที่ประมาณ 2.65 กรัม/ซม³ นี่คือความหนาแน่นของหินแกรนิตธรรมชาติ ซึ่งช่วยให้มั่นใจได้ถึงความสม่ำเสมอและความน่าเชื่อถือในคุณสมบัติของชิ้นส่วนหินแกรนิต

2. ความเรียบ: ความเรียบเป็นหนึ่งในคุณสมบัติที่สำคัญที่สุดสำหรับชิ้นส่วนหินแกรนิตที่ใช้ในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ความเรียบของพื้นผิวหินแกรนิตควรต่ำกว่า 0.001 มม./ตร.ม. เพื่อให้แน่ใจว่าพื้นผิวของชิ้นส่วนนั้นเรียบและได้ระดับ ซึ่งเป็นสิ่งจำเป็นสำหรับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

3. การตกแต่งพื้นผิว: พื้นผิวของชิ้นส่วนหินแกรนิตควรมีคุณภาพสูง โดยมีความหยาบของพื้นผิวต่ำกว่า 0.4 ไมโครเมตร เพื่อให้แน่ใจว่าพื้นผิวของชิ้นส่วนหินแกรนิตมีค่าสัมประสิทธิ์แรงเสียดทานต่ำ ซึ่งเป็นสิ่งสำคัญอย่างยิ่งต่อการทำงานที่ราบรื่นของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์

4. ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน: อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ทำงานที่อุณหภูมิแตกต่างกัน และชิ้นส่วนหินแกรนิตควรทนต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิได้โดยไม่เสียรูปทรง ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนของหินแกรนิตที่ใช้ในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ควรต่ำกว่า 2 x 10^-6 /°C

5. ความคลาดเคลื่อนของขนาด: ความคลาดเคลื่อนของขนาดมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อประสิทธิภาพของชิ้นส่วนหินแกรนิต ความคลาดเคลื่อนของขนาดของชิ้นส่วนหินแกรนิตควรอยู่ภายใน ±0.1 มม. สำหรับขนาดที่สำคัญทั้งหมด

6. ความแข็งและความทนทานต่อการสึกหรอ: ความแข็งและความทนทานต่อการสึกหรอเป็นคุณสมบัติที่สำคัญสำหรับชิ้นส่วนหินแกรนิตที่ใช้ในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ หินแกรนิตมีความแข็งระดับ 6-7 ตามมาตราโมห์ ทำให้เป็นวัสดุที่เหมาะสมสำหรับการใช้งานในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์

7. ประสิทธิภาพการเป็นฉนวน: ชิ้นส่วนหินแกรนิตที่ใช้ในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ควรมีประสิทธิภาพการเป็นฉนวนที่ดีเยี่ยมเพื่อป้องกันความเสียหายต่อชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ที่ไวต่อความเสียหาย ความต้านทานไฟฟ้าควรสูงกว่า 10^9 โอห์ม/เซนติเมตร

8. ความทนทานต่อสารเคมี: ชิ้นส่วนหินแกรนิตควรมีความทนทานต่อสารเคมีทั่วไปที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เช่น กรดและด่าง

โดยสรุปแล้ว มาตรฐานและข้อกำหนดสำหรับชิ้นส่วนหินแกรนิตที่ใช้ในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์มีความสำคัญอย่างยิ่งต่อการรับประกันอายุการใช้งานและความน่าเชื่อถือของทั้งชิ้นส่วนและอุปกรณ์ที่ใช้ ควรปฏิบัติตามแนวทางข้างต้นอย่างเคร่งครัดในระหว่างกระบวนการออกแบบ การผลิต และการติดตั้ง เพื่อให้มั่นใจว่าชิ้นส่วนมีคุณภาพสูงสุด การปฏิบัติตามมาตรฐานและข้อกำหนดเหล่านี้จะช่วยให้ผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์มั่นใจได้ว่าประสิทธิภาพของอุปกรณ์จะอยู่ในระดับที่เหมาะสม ส่งผลให้เพิ่มผลผลิตและผลกำไร