มาตรฐานและข้อกำหนดสำหรับส่วนประกอบหินแกรนิตในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์คืออะไร?

ส่วนประกอบของหินแกรนิตใช้กันอย่างแพร่หลายในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์เนื่องจากความเสถียรและความทนทานสูง พวกเขามีหน้าที่รับผิดชอบในการรักษาความแม่นยำและความแม่นยำของกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ อย่างไรก็ตามประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือของส่วนประกอบหินแกรนิตขึ้นอยู่กับมาตรฐานและข้อกำหนดที่ได้รับการรักษาในระหว่างการออกแบบการผลิตและการติดตั้ง

ต่อไปนี้เป็นมาตรฐานและข้อกำหนดบางประการที่ต้องปฏิบัติตามเมื่อใช้ส่วนประกอบหินแกรนิตในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์:

1. ความหนาแน่นของวัสดุ: ความหนาแน่นของวัสดุหินแกรนิตที่ใช้ในการผลิตส่วนประกอบหินแกรนิตควรอยู่ที่ประมาณ 2.65g/cm3 นี่คือความหนาแน่นของวัสดุหินแกรนิตธรรมชาติและช่วยให้มั่นใจได้ถึงความสม่ำเสมอและความน่าเชื่อถือในคุณสมบัติของส่วนประกอบหินแกรนิต

2. ความเรียบ: ความเรียบเป็นหนึ่งในข้อกำหนดที่สำคัญที่สุดสำหรับส่วนประกอบหินแกรนิตที่ใช้ในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ความเรียบของพื้นผิวหินแกรนิตควรต่ำกว่า 0.001 มม./m2 สิ่งนี้ทำให้มั่นใจได้ว่าพื้นผิวของส่วนประกอบนั้นแบนและระดับซึ่งเป็นสิ่งจำเป็นสำหรับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

3. พื้นผิวเสร็จสิ้น: พื้นผิวผิวของส่วนประกอบหินแกรนิตควรมีคุณภาพสูงโดยมีความขรุขระพื้นผิวต่ำกว่า 0.4µm สิ่งนี้ทำให้มั่นใจได้ว่าพื้นผิวของส่วนประกอบหินแกรนิตมีค่าสัมประสิทธิ์แรงเสียดทานต่ำซึ่งเป็นสิ่งสำคัญสำหรับการทำงานที่ราบรื่นของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์

4. ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน: อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ทำงานที่อุณหภูมิที่แตกต่างกันและส่วนประกอบหินแกรนิตควรจะสามารถทนต่อความผันผวนของความร้อนได้โดยไม่ต้องเสียรูป ค่าสัมประสิทธิ์การขยายความร้อนของหินแกรนิตที่ใช้ในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ควรต่ำกว่า 2 x 10^-6 /° C

5. ความทนทานต่อมิติ: ความทนทานต่อมิติเป็นสิ่งสำคัญสำหรับประสิทธิภาพของส่วนประกอบของหินแกรนิต ความทนทานต่อมิติของส่วนประกอบหินแกรนิตควรอยู่ภายใน± 0.1 มม. สำหรับมิติที่สำคัญทั้งหมด

6. ความแข็งและความต้านทานการสึกหรอ: ความแข็งและความต้านทานการสึกหรอเป็นข้อกำหนดที่จำเป็นสำหรับส่วนประกอบหินแกรนิตที่ใช้ในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ หินแกรนิตมีความแข็งของ MOHS Scale 6-7 ทำให้เป็นวัสดุที่เหมาะสมสำหรับใช้ในการใช้งานอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์

7. ประสิทธิภาพของฉนวน: ส่วนประกอบหินแกรนิตที่ใช้ในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ควรมีประสิทธิภาพของฉนวนที่ยอดเยี่ยมเพื่อป้องกันความเสียหายต่อส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ที่ละเอียดอ่อน ความต้านทานไฟฟ้าควรสูงกว่า 10^9 Ω/cm

8. ความต้านทานทางเคมี: ส่วนประกอบหินแกรนิตควรทนต่อสารเคมีทั่วไปที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เช่นกรดและอัลคาลิส

โดยสรุปมาตรฐานและข้อกำหนดสำหรับส่วนประกอบหินแกรนิตที่ใช้ในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์มีความสำคัญอย่างยิ่งเพื่อให้แน่ใจว่าอายุยืนและความน่าเชื่อถือของทั้งส่วนประกอบและอุปกรณ์ที่ใช้ในแนวทางข้างต้นควรปฏิบัติตามอย่างเคร่งครัดในระหว่างการออกแบบการผลิตและกระบวนการติดตั้งเพื่อให้แน่ใจว่า จากการปฏิบัติตามมาตรฐานและข้อกำหนดเหล่านี้ผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์สามารถมั่นใจได้ว่าประสิทธิภาพของอุปกรณ์ของพวกเขายังคงดีที่สุดนำไปสู่การเพิ่มผลผลิตและผลกำไร