การผลิตเซมิคอนดักเตอร์
การพิมพ์หิน (Lithography): การพิมพ์หินเป็นกระบวนการสำคัญในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งต้องอาศัยการถ่ายทอดลวดลายวงจรที่ซับซ้อนลงบนแผ่นเวเฟอร์อย่างแม่นยำ แท่นเคลื่อนที่แบบแยกการสั่นสะเทือนที่แม่นยำของ XYT บนฐานหินแกรนิต สามารถให้การรองรับที่มั่นคงและการกำหนดตำแหน่งที่แม่นยำสำหรับอุปกรณ์การพิมพ์หิน ทำให้มั่นใจได้ว่าความแม่นยำของตำแหน่งของแท่นวางเวเฟอร์ในกระบวนการฉายแสงจะถึงระดับนาโนเมตร ช่วยลดความคลาดเคลื่อนของลวดลายที่เกิดจากการสั่นสะเทือนและการเสียรูปจากความร้อนได้อย่างมีประสิทธิภาพ และช่วยเพิ่มความแม่นยำและผลผลิตของการผลิตชิป
การตรวจสอบเวเฟอร์: หลังจากกระบวนการผลิตเวเฟอร์เสร็จสมบูรณ์แล้ว จำเป็นต้องตรวจสอบเวเฟอร์ด้วยความแม่นยำสูงเพื่อค้นหาข้อบกพร่องและตำหนิเล็กๆ แท่นเคลื่อนที่แบบแยกการสั่นสะเทือนที่มีความแม่นยำสูงของ XYT สามารถรองรับอุปกรณ์ตรวจจับ เช่น กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน กล้องจุลทรรศน์แรงอะตอม ฯลฯ เพื่อรักษาการเคลื่อนไหวที่เสถียรและการกำหนดตำแหน่งที่แม่นยำในระหว่างกระบวนการตรวจจับ ทำให้เครื่องมือตรวจจับสามารถสแกนพื้นผิวเวเฟอร์ได้อย่างแม่นยำ ปรับปรุงความละเอียดและความแม่นยำในการตรวจจับ
การผลิตเครื่องมือทางแสง
การเจียรและขัดเลนส์: ในกระบวนการผลิตเลนส์ จำเป็นต้องเจียรและขัดเลนส์ด้วยความแม่นยำสูงเพื่อให้ได้คุณสมบัติทางแสงที่ดี แท่นเคลื่อนที่แบบแยกการสั่นสะเทือนที่แม่นยำของ XYT สามารถควบคุมเส้นทางการเคลื่อนที่ของเครื่องมือเจียรและขัดได้อย่างแม่นยำ ในขณะที่ฐานหินแกรนิตสามารถแยกการสั่นสะเทือนภายนอก ลดผลกระทบของการสั่นสะเทือนต่อความแม่นยำในการผลิต เพื่อให้มั่นใจว่าพื้นผิวของเลนส์เรียบและเงางามตรงตามข้อกำหนดในการออกแบบ
การประกอบระบบออปติคอล: ในกระบวนการประกอบระบบออปติคอล จำเป็นต้องติดตั้งชิ้นส่วนออปติคอลต่างๆ อย่างแม่นยำในตำแหน่งที่กำหนด เพื่อให้มั่นใจได้ถึงการส่งผ่านแสงที่แม่นยำและคุณภาพของภาพ แท่นเคลื่อนที่แบบแยกการสั่นสะเทือนที่มีความแม่นยำสูงของ XYT พร้อมฐานหินแกรนิต สามารถให้แพลตฟอร์มที่มั่นคงสำหรับการติดตั้งและปรับแต่งชิ้นส่วนออปติคอล และบรรลุการจัดตำแหน่งและการประกอบชิ้นส่วนออปติคอลที่มีความแม่นยำสูงผ่านการควบคุมการเคลื่อนที่ที่แม่นยำ
อวกาศ
การทดสอบระบบนำทางเฉื่อย: ระบบนำทางเฉื่อยเป็นอุปกรณ์นำทางที่สำคัญในด้านการบินและอวกาศ และความแม่นยำของระบบนี้ส่งผลโดยตรงต่อความแม่นยำในการนำทางและความปลอดภัยในการบินของอากาศยาน ในกระบวนการทดสอบระบบนำทางเฉื่อย จำเป็นต้องใช้แท่นหมุนที่มีความแม่นยำสูงเพื่อจำลองสถานะการเคลื่อนที่ต่างๆ ของอากาศยาน แท่นเคลื่อนที่แบบแยกการสั่นสะเทือนแบบแอคทีฟที่มีความแม่นยำสูงของ XYT สามารถใช้เป็นแท่นรองรับสำหรับแท่นหมุนได้ ด้วยการควบคุมการเคลื่อนที่ที่แม่นยำและประสิทธิภาพการแยกการสั่นสะเทือนที่ดี ทำให้ได้สภาพแวดล้อมการเคลื่อนที่ที่เสถียรและแม่นยำสำหรับการทดสอบระบบนำทางเฉื่อย และช่วยเพิ่มความแม่นยำและความน่าเชื่อถือของการทดสอบ
การขึ้นรูปใบพัดเครื่องยนต์อากาศยาน: ความแม่นยำในการขึ้นรูปใบพัดเครื่องยนต์อากาศยานมีผลกระทบอย่างมากต่อประสิทธิภาพและประสิทธิผลของเครื่องยนต์ แท่นเคลื่อนที่แยกการสั่นสะเทือนแบบแอคทีฟความแม่นยำสูง XYT สามารถนำไปใช้ในกระบวนการขึ้นรูปใบพัด เช่น เครื่องจักรกลซีเอ็นซีแบบห้าแกน โดยการควบคุมเส้นทางการเคลื่อนที่ของเครื่องมืออย่างแม่นยำและรักษาเสถียรภาพของสภาพแวดล้อมการทำงาน เพื่อให้ได้การขึ้นรูปใบพัดที่มีความแม่นยำสูง และเพื่อให้มั่นใจว่าความแม่นยำของรูปทรงใบพัดและคุณภาพพื้นผิวเป็นไปตามข้อกำหนดการออกแบบ
การทดสอบการวิจัยทางวิทยาศาสตร์
งานวิจัยด้านนาโนวิทยา: ในงานวิจัยด้านนาโนวิทยา จำเป็นต้องทำการทดลองและสังเกตวัตถุขนาดนาโน เช่น การเตรียมวัสดุนาโนและการประกอบอุปกรณ์นาโน ฐานหินแกรนิตของแท่นเคลื่อนที่แบบแยกการสั่นสะเทือนที่แม่นยำของ XYT สามารถให้ความแม่นยำในการกำหนดตำแหน่งระดับต่ำกว่าไมครอนหรือแม้กระทั่งระดับนาโน ให้แพลตฟอร์มการทดลองที่มั่นคงและแม่นยำสำหรับการวิจัยด้านนาโนวิทยา และช่วยให้นักวิทยาศาสตร์สามารถสำรวจความลึกลับของโลกนาโนได้ดียิ่งขึ้น
การถ่ายภาพทางชีวการแพทย์: ในสาขาชีวการแพทย์ เช่น กล้องจุลทรรศน์ฟลูออเรสเซนต์ กล้องจุลทรรศน์คอนโฟคอล และอุปกรณ์ถ่ายภาพอื่นๆ เพื่อให้ได้ภาพทางชีวภาพที่มีความละเอียดสูง จำเป็นต้องมีการจัดวางตำแหน่งตัวอย่างที่แม่นยำและการถ่ายภาพที่เสถียร แพลตฟอร์มการเคลื่อนที่แบบแยกการสั่นสะเทือนที่แม่นยำของ XYT สามารถเคลื่อนย้ายตัวอย่างทางชีวภาพ ลดการสั่นสะเทือนและการเคลื่อนตัวของตัวอย่างผ่านการควบคุมการเคลื่อนที่ที่แม่นยำและประสิทธิภาพการแยกการสั่นสะเทือนที่ดี ปรับปรุงคุณภาพและความแม่นยำของการถ่ายภาพ และช่วยให้นักวิจัยทางชีวการแพทย์สามารถทำการวิจัยเชิงลึกเกี่ยวกับเซลล์ เนื้อเยื่อ และโครงสร้างจุลภาคอื่นๆ ได้
วันที่เผยแพร่: 11 เมษายน 2568