หินแกรนิตเป็นหินที่เกิดขึ้นตามธรรมชาติซึ่งถูกนำมาใช้เป็นเวลานานในอุปกรณ์แปรรูปเวเฟอร์เป็นที่รู้จักจากคุณสมบัติที่ดีเยี่ยมคือมีการขยายตัวทางความร้อนต่ำ มีความแข็งแกร่งสูง และมีเสถียรภาพที่ดีอย่างไรก็ตาม เช่นเดียวกับวัสดุอื่นๆ หินแกรนิตมีชุดข้อบกพร่องของตัวเองซึ่งอาจส่งผลต่อคุณภาพของอุปกรณ์แปรรูปแผ่นเวเฟอร์
ข้อบกพร่องที่สำคัญอย่างหนึ่งของหินแกรนิตคือมีแนวโน้มที่จะแตกหรือแตกหักนี่เป็นเพราะการมีรอยแตกขนาดเล็กที่อาจเกิดขึ้นระหว่างการก่อตัวของหินหากรอยแตกขนาดเล็กเหล่านี้ไม่ได้รับการระบุและรักษาอย่างเหมาะสม พวกมันสามารถแพร่กระจายและทำให้อุปกรณ์เสียหายได้เพื่อป้องกันไม่ให้สิ่งนี้เกิดขึ้น ผู้ผลิตอุปกรณ์แปรรูปจำเป็นต้องใช้หินแกรนิตคุณภาพสูงที่ผ่านการบำบัดและทดสอบเพื่อให้แน่ใจว่าปราศจากรอยแตกขนาดเล็ก
ข้อบกพร่องอีกประการหนึ่งของหินแกรนิตคือความไวต่อการกัดกร่อนหากอุปกรณ์หินแกรนิตสัมผัสกับสภาพแวดล้อมที่มีฤทธิ์กัดกร่อน ก็จะเริ่มเสื่อมสภาพเมื่อเวลาผ่านไปสิ่งนี้อาจทำให้อุปกรณ์เสียหายหรือทำงานไม่ถูกต้องเพื่อป้องกันสิ่งนี้ ผู้ผลิตจะต้องตรวจสอบให้แน่ใจว่าหินแกรนิตที่ใช้ในอุปกรณ์ของตนได้รับการบำบัดและเคลือบอย่างเหมาะสมเพื่อป้องกันการกัดกร่อนไม่ให้เกิดขึ้น
หินแกรนิตยังมีแนวโน้มที่จะบิดเบี้ยวเมื่อเวลาผ่านไปเนื่องจากคุณสมบัติทางความร้อนโดยธรรมชาติเนื่องจากหินแกรนิตมีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวจากความร้อนต่ำมาก ซึ่งหมายความว่าหินแกรนิตจะไม่ขยายตัวหรือหดตัวมากนักเมื่อมีการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิอย่างไรก็ตาม การขยายตัวหรือการหดตัวเพียงเล็กน้อยก็อาจทำให้อุปกรณ์บิดเบี้ยวเมื่อเวลาผ่านไปได้สิ่งสำคัญคือผู้ผลิตอุปกรณ์จะต้องคำนึงถึงคุณสมบัติทางความร้อนของหินแกรนิตเมื่อออกแบบอุปกรณ์เพื่อป้องกันไม่ให้เกิดข้อบกพร่องนี้
สุดท้ายนี้ ลักษณะที่เป็นรูพรุนของหินแกรนิตอาจนำไปสู่ปัญหาการปนเปื้อนได้หากหินแกรนิตไม่ได้รับการปิดผนึกอย่างเหมาะสม ก็สามารถดูดซับสิ่งปนเปื้อนที่อาจส่งผลต่อคุณภาพของแผ่นเวเฟอร์ได้ซึ่งอาจนำไปสู่การหยุดทำงานที่มีค่าใช้จ่ายสูงและสูญเสียการผลิตเพื่อป้องกันสิ่งนี้ ผู้ผลิตจำเป็นต้องปิดหินแกรนิตอย่างเหมาะสมเพื่อป้องกันไม่ให้สารปนเปื้อนถูกดูดซับ
โดยสรุป หินแกรนิตเป็นวัสดุที่ดีเยี่ยมสำหรับใช้ในอุปกรณ์แปรรูปเวเฟอร์อย่างไรก็ตาม สิ่งสำคัญคือต้องตระหนักถึงข้อบกพร่องและใช้มาตรการป้องกันที่จำเป็นเพื่อป้องกันไม่ให้เกิดขึ้นด้วยการดูแลและบำรุงรักษาที่เหมาะสม อุปกรณ์หินแกรนิตสามารถทำงานได้ต่อไปเป็นเวลาหลายปี โดยเป็นเวเฟอร์คุณภาพสูงสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
เวลาโพสต์: Dec-27-2023