ข้อบกพร่องของส่วนประกอบหินแกรนิตสำหรับผลิตภัณฑ์ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

ส่วนประกอบหินแกรนิตมีการใช้กันอย่างแพร่หลายในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เนื่องจากมีคุณสมบัติที่ยอดเยี่ยม เช่น พื้นผิวที่เหนือกว่า ความแข็งสูง และการลดแรงสั่นสะเทือนที่ดีเยี่ยมส่วนประกอบหินแกรนิตมีความจำเป็นสำหรับอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ รวมถึงเครื่องจักรการพิมพ์หิน เครื่องขัด และระบบมาตรวิทยา เนื่องจากให้ตำแหน่งที่แม่นยำและมีเสถียรภาพในระหว่างกระบวนการผลิตแม้จะมีข้อดีทั้งหมดของการใช้ส่วนประกอบหินแกรนิต แต่ก็มีข้อบกพร่องเช่นกันในบทความนี้ เราจะพูดถึงข้อบกพร่องของส่วนประกอบหินแกรนิตสำหรับผลิตภัณฑ์ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

ประการแรก ส่วนประกอบหินแกรนิตมีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนสูงหมายความว่าจะขยายตัวอย่างมีนัยสำคัญภายใต้ความเครียดจากความร้อน ซึ่งอาจทำให้เกิดปัญหาในระหว่างกระบวนการผลิตกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ต้องการความแม่นยำสูงและความแม่นยำด้านมิติซึ่งอาจลดลงเนื่องจากความเครียดจากความร้อนตัวอย่างเช่น การเสียรูปของแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนเนื่องจากการขยายตัวทางความร้อนอาจทำให้เกิดปัญหาการจัดตำแหน่งในระหว่างการพิมพ์หิน ซึ่งอาจส่งผลต่อคุณภาพของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์

ประการที่สอง ส่วนประกอบหินแกรนิตมีข้อบกพร่องเกี่ยวกับรูพรุนซึ่งอาจทำให้เกิดการรั่วไหลของสุญญากาศในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์การมีอยู่ของอากาศหรือก๊าซอื่นใดในระบบอาจทำให้เกิดการปนเปื้อนบนพื้นผิวของแผ่นเวเฟอร์ ส่งผลให้เกิดข้อบกพร่องที่อาจส่งผลต่อประสิทธิภาพของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ก๊าซเฉื่อย เช่น อาร์กอนและฮีเลียมอาจซึมเข้าไปในส่วนประกอบหินแกรนิตที่มีรูพรุน และสร้างฟองก๊าซที่อาจรบกวนความสมบูรณ์ของกระบวนการสุญญากาศ

ประการที่สาม ส่วนประกอบหินแกรนิตมีรอยแตกขนาดเล็กที่อาจรบกวนความแม่นยำของกระบวนการผลิตหินแกรนิตเป็นวัสดุเปราะที่อาจเกิดการแตกหักขนาดเล็กเมื่อเวลาผ่านไป โดยเฉพาะอย่างยิ่งเมื่อต้องเผชิญกับวงจรความเครียดคงที่การมีอยู่ของรอยแตกระดับไมโครอาจนำไปสู่ความไม่เสถียรของมิติ ทำให้เกิดปัญหาสำคัญในระหว่างกระบวนการผลิต เช่น การจัดแนวการพิมพ์หินหรือการขัดแผ่นเวเฟอร์

ประการที่สี่ ส่วนประกอบหินแกรนิตมีความยืดหยุ่นจำกัดกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ต้องใช้อุปกรณ์ที่ยืดหยุ่นซึ่งสามารถรองรับการเปลี่ยนแปลงกระบวนการต่างๆ ได้อย่างไรก็ตาม ส่วนประกอบหินแกรนิตมีความแข็งและไม่สามารถปรับให้เข้ากับการเปลี่ยนแปลงกระบวนการต่างๆ ได้ดังนั้นการเปลี่ยนแปลงใดๆ ในกระบวนการผลิตจำเป็นต้องถอดหรือเปลี่ยนส่วนประกอบหินแกรนิต ซึ่งนำไปสู่การหยุดทำงานและส่งผลต่อประสิทธิภาพการผลิต

ประการที่ห้า ส่วนประกอบหินแกรนิตจำเป็นต้องมีการจัดการและการขนส่งเป็นพิเศษ เนื่องจากมีน้ำหนักและความเปราะบางหินแกรนิตเป็นวัสดุที่มีความหนาแน่นและหนักซึ่งต้องใช้อุปกรณ์ขนย้ายพิเศษ เช่น เครนและรถยกนอกจากนี้ ส่วนประกอบหินแกรนิตจำเป็นต้องมีการบรรจุและการขนส่งอย่างระมัดระวังเพื่อป้องกันความเสียหายระหว่างการขนส่ง ทำให้เกิดค่าใช้จ่ายและเวลาเพิ่มเติม

โดยสรุป ส่วนประกอบหินแกรนิตมีข้อเสียบางประการที่อาจส่งผลต่อคุณภาพและผลผลิตของผลิตภัณฑ์ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ข้อบกพร่องเหล่านี้สามารถลดลงได้โดยการจัดการและบำรุงรักษาส่วนประกอบหินแกรนิตอย่างระมัดระวัง รวมถึงการตรวจสอบรอยแตกขนาดเล็กและข้อบกพร่องที่มีรูพรุนเป็นระยะๆ การทำความสะอาดที่เหมาะสมเพื่อป้องกันการปนเปื้อน และการจัดการอย่างระมัดระวังระหว่างการขนส่งแม้จะมีข้อบกพร่อง แต่ส่วนประกอบหินแกรนิตยังคงเป็นส่วนสำคัญของกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เนื่องจากมีพื้นผิวที่เหนือกว่า มีความแข็งสูง และลดการสั่นไหวได้ดีเยี่ยม