ข้อบกพร่องของส่วนประกอบหินแกรนิตสำหรับผลิตภัณฑ์กระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

ส่วนประกอบของหินแกรนิตถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เนื่องจากลักษณะที่ยอดเยี่ยมเช่นพื้นผิวที่เหนือกว่าความแข็งสูงและการสั่นสะเทือนที่ยอดเยี่ยม ส่วนประกอบของหินแกรนิตเป็นสิ่งจำเป็นสำหรับอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์รวมถึงเครื่องจักรหินเครื่องขัดและระบบมาตรวิทยาเนื่องจากมีการวางตำแหน่งและความมั่นคงที่แม่นยำในระหว่างกระบวนการผลิต แม้จะมีข้อดีทั้งหมดของการใช้ส่วนประกอบหินแกรนิต แต่ก็มีข้อบกพร่อง ในบทความนี้เราจะหารือเกี่ยวกับข้อบกพร่องของส่วนประกอบหินแกรนิตสำหรับผลิตภัณฑ์กระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

ประการแรกส่วนประกอบหินแกรนิตมีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนสูง หมายความว่าพวกเขาขยายตัวอย่างมีนัยสำคัญภายใต้ความเครียดจากความร้อนซึ่งอาจทำให้เกิดปัญหาในระหว่างกระบวนการผลิต กระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ต้องการความแม่นยำสูงและความแม่นยำในมิติที่อาจถูกบุกรุกเนื่องจากความเครียดจากความร้อน ตัวอย่างเช่นการเสียรูปเวเฟอร์ซิลิคอนเนื่องจากการขยายตัวทางความร้อนอาจทำให้เกิดปัญหาการจัดตำแหน่งในระหว่างการพิมพ์หินซึ่งอาจลดคุณภาพของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์

ประการที่สองส่วนประกอบของหินแกรนิตมีข้อบกพร่องที่มีความพรุนซึ่งอาจทำให้เกิดการรั่วไหลของสูญญากาศในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การปรากฏตัวของอากาศหรือก๊าซอื่น ๆ ในระบบอาจทำให้เกิดการปนเปื้อนบนพื้นผิวของเวเฟอร์ทำให้เกิดข้อบกพร่องที่อาจส่งผลต่อประสิทธิภาพของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ก๊าซเฉื่อยเช่นอาร์กอนและฮีเลียมสามารถซึมเข้าไปในส่วนประกอบหินแกรนิตที่มีรูพรุนและสร้างฟองก๊าซที่อาจรบกวนความสมบูรณ์ของกระบวนการสูญญากาศ

ประการที่สามส่วนประกอบของหินแกรนิตมีไมโครฟาริกซ์ที่อาจรบกวนความแม่นยำของกระบวนการผลิต หินแกรนิตเป็นวัสดุเปราะที่สามารถพัฒนา microfractures เมื่อเวลาผ่านไปโดยเฉพาะอย่างยิ่งเมื่อสัมผัสกับวัฏจักรความเครียดคงที่ การปรากฏตัวของไมโครฟิล์มอาจนำไปสู่ความไม่แน่นอนของมิติทำให้เกิดปัญหาที่สำคัญในระหว่างกระบวนการผลิตเช่นการจัดตำแหน่งการพิมพ์หินหรือการขัดเวเฟอร์

ประการที่สี่ส่วนประกอบหินแกรนิตมีความยืดหยุ่น จำกัด กระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ต้องการอุปกรณ์ที่ยืดหยุ่นซึ่งสามารถรองรับการเปลี่ยนแปลงกระบวนการที่แตกต่างกัน อย่างไรก็ตามส่วนประกอบของหินแกรนิตนั้นเข้มงวดและไม่สามารถปรับให้เข้ากับการเปลี่ยนแปลงกระบวนการที่แตกต่างกัน ดังนั้นการเปลี่ยนแปลงใด ๆ ในกระบวนการผลิตจำเป็นต้องมีการกำจัดหรือการเปลี่ยนส่วนประกอบหินแกรนิตซึ่งนำไปสู่การหยุดทำงานและส่งผลต่อผลผลิต

ประการที่ห้าส่วนประกอบหินแกรนิตต้องใช้การจัดการและการขนส่งพิเศษเนื่องจากน้ำหนักและความเปราะบาง หินแกรนิตเป็นวัสดุที่มีความหนาแน่นสูงและหนักซึ่งต้องใช้อุปกรณ์จัดการพิเศษเช่นเครนและนักกีฬายก นอกจากนี้ส่วนประกอบของหินแกรนิตต้องการการบรรจุอย่างระมัดระวังและการขนส่งเพื่อป้องกันความเสียหายในระหว่างการจัดส่งนำไปสู่ค่าใช้จ่ายและเวลาเพิ่มเติม

โดยสรุปแล้วส่วนประกอบของหินแกรนิตมีข้อเสียบางอย่างที่อาจส่งผลกระทบต่อคุณภาพและผลผลิตของผลิตภัณฑ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ข้อบกพร่องเหล่านี้อาจลดลงผ่านการจัดการอย่างระมัดระวังและการบำรุงรักษาส่วนประกอบของหินแกรนิตรวมถึงการตรวจสอบเป็นระยะสำหรับ microfractures และข้อบกพร่องที่มีความพรุนการทำความสะอาดที่เหมาะสมเพื่อป้องกันการปนเปื้อนและการจัดการอย่างระมัดระวังในระหว่างการขนส่ง แม้จะมีข้อบกพร่อง แต่ส่วนประกอบของหินแกรนิตยังคงเป็นส่วนสำคัญของกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เนื่องจากพื้นผิวที่เหนือกว่าความแข็งสูงและการสั่นสะเทือนที่ยอดเยี่ยม