พื้นที่การใช้งานของโมดูลการเคลื่อนที่แม่นยำสูงแบบลอยตัวด้วยแกนเดี่ยวโดยใช้ฐานหินแกรนิต

การผลิตเซมิคอนดักเตอร์: ในกระบวนการผลิตชิป กระบวนการโฟโตลิโทกราฟีจำเป็นต้องถ่ายโอนรูปแบบวงจรไปยังเวเฟอร์อย่างแม่นยำ ฐานหินแกรนิตของโมดูลการเคลื่อนที่ลอยตัวด้วยอากาศที่มีความแม่นยำสูงแบบแกนเดี่ยวสามารถให้ตำแหน่งที่แม่นยำสูงและรองรับโต๊ะเวเฟอร์ในอุปกรณ์ลิโทกราฟีได้อย่างมั่นคง ตัวอย่างเช่น ASML และผู้ผลิตเครื่องจักรลิโทกราฟีที่มีชื่อเสียงระดับนานาชาติรายอื่นๆ ใช้โมดูลการเคลื่อนที่ลอยตัวด้วยอากาศฐานหินแกรนิตในอุปกรณ์ระดับไฮเอนด์ของตน ซึ่งสามารถควบคุมความแม่นยำในการวางตำแหน่งของเวเฟอร์ได้ในระดับนาโนเมตรเพื่อให้แน่ใจว่ารูปแบบลิโทกราฟีมีความแม่นยำ จึงปรับปรุงการผสานรวมและประสิทธิภาพของชิป
การวัดความแม่นยำ: CMM เป็นอุปกรณ์วัดความแม่นยำที่ใช้กันทั่วไปในการผลิตทางอุตสาหกรรม ซึ่งใช้ในการวัดขนาด รูปร่าง และความแม่นยำของตำแหน่งของชิ้นงาน โมดูลการเคลื่อนที่ที่มีความแม่นยำสูงของลูกลอยอากาศแกนเดี่ยวบนฐานหินแกรนิตสามารถใช้เป็นแพลตฟอร์มการเคลื่อนที่ของ CMM ซึ่งสามารถรับรู้การเคลื่อนที่เชิงเส้นที่มีความแม่นยำสูงและให้วิถีการเคลื่อนที่ที่เสถียรสำหรับหัววัด ตัวอย่างเช่น CMM ระดับไฮเอนด์ของ Hexagon ใช้การผสมผสานนี้ในการวัดชิ้นส่วนขนาดใหญ่และซับซ้อนด้วยความแม่นยำในการวัดถึงระดับไมครอน ซึ่งให้การรับประกันที่แข็งแกร่งสำหรับการควบคุมคุณภาพชิ้นส่วนในอุตสาหกรรมยานยนต์ อวกาศ และอุตสาหกรรมอื่นๆ
สาขาการบินและอวกาศ: ในการประมวลผลและการทดสอบชิ้นส่วนการบินและอวกาศ จำเป็นต้องมีความแม่นยำสูง ตัวอย่างเช่น การตัดเฉือนใบพัดของเครื่องยนต์เครื่องบินจำเป็นต้องมีการควบคุมที่แม่นยำของวิถีการเคลื่อนที่ของเครื่องมือเพื่อให้แน่ใจว่าโปรไฟล์ใบมีดมีความแม่นยำ ฐานหินแกรนิตของโมดูลการเคลื่อนที่ที่มีความแม่นยำสูงแบบลอยตัวในแกนเดียวสามารถนำไปใช้กับศูนย์การตัดเฉือนห้าแกนและอุปกรณ์อื่นๆ เพื่อให้การควบคุมการเคลื่อนที่มีความแม่นยำสูงสำหรับเครื่องมือและเพื่อให้แน่ใจว่าความแม่นยำในการตัดเฉือนของใบมีดสามารถตอบสนองข้อกำหนดการออกแบบได้ ในเวลาเดียวกัน ในกระบวนการประกอบเครื่องยนต์อากาศยาน จำเป็นต้องใช้เครื่องมือวัดที่มีความแม่นยำสูงเพื่อตรวจจับความแม่นยำในการประกอบชิ้นส่วน โมดูลการเคลื่อนที่แบบลอยตัวในอากาศของฐานหินแกรนิตสามารถให้การรองรับที่มั่นคงและการเคลื่อนไหวที่แม่นยำสำหรับอุปกรณ์วัดเพื่อให้แน่ใจว่าคุณภาพการประกอบ
สาขาการตรวจสอบด้วยแสง: ในกระบวนการผลิตและการทดสอบส่วนประกอบออปติก จำเป็นต้องทำการกำหนดตำแหน่งและการวัดส่วนประกอบออปติกที่มีความแม่นยำสูง ตัวอย่างเช่น เมื่อผลิตส่วนประกอบออปติกที่มีความแม่นยำสูง เช่น กระจกและเลนส์ จำเป็นต้องใช้เครื่องวัดการแทรกซึมและอุปกรณ์อื่นๆ เพื่อตรวจจับความแม่นยำของรูปร่างพื้นผิว ฐานหินแกรนิตของโมดูลการเคลื่อนที่แบบลอยตัวในอากาศที่มีความแม่นยำสูงแบบแกนเดี่ยวสามารถใช้เป็นแพลตฟอร์มการเคลื่อนที่ของเครื่องวัดการแทรกซึม ซึ่งสามารถรับรู้ความแม่นยำในการกำหนดตำแหน่งในระดับต่ำกว่าไมครอน และให้การสนับสนุนข้อมูลที่แม่นยำสำหรับการตรวจจับส่วนประกอบออปติก นอกจากนี้ ในอุปกรณ์การประมวลผลเลเซอร์ ยังจำเป็นต้องใช้แพลตฟอร์มการเคลื่อนที่ที่มีความแม่นยำสูงเพื่อควบคุมวิถีการสแกนของลำแสงเลเซอร์ ฐานหินแกรนิตของโมดูลการเคลื่อนที่แบบลอยตัวในอากาศสามารถตอบสนองความต้องการนี้ได้ เพื่อให้ได้การประมวลผลเลเซอร์ที่มีความแม่นยำสูง