สาขาการประยุกต์ใช้งานของโมดูลการเคลื่อนที่แบบลอยตัวด้วยลมแกนเดี่ยวที่มีความแม่นยำสูงโดยใช้ฐานหินแกรนิต

การผลิตเซมิคอนดักเตอร์: ในกระบวนการผลิตชิป กระบวนการโฟโตลิโทกราฟีจำเป็นต้องถ่ายโอนรูปแบบวงจรไปยังแผ่นเวเฟอร์อย่างแม่นยำ ฐานหินแกรนิตของโมดูลเคลื่อนที่แบบลอยตัวด้วยลมความแม่นยำสูงแกนเดี่ยวสามารถให้ตำแหน่งที่แม่นยำสูงและรองรับแผ่นเวเฟอร์ในอุปกรณ์ลิโทกราฟีได้อย่างมั่นคง ตัวอย่างเช่น ASML และผู้ผลิตเครื่องจักรลิโทกราฟีชั้นนำระดับนานาชาติรายอื่นๆ ใช้โมดูลเคลื่อนที่แบบลอยตัวด้วยลมฐานหินแกรนิตในอุปกรณ์ระดับไฮเอนด์ ซึ่งสามารถควบคุมความแม่นยำในการกำหนดตำแหน่งของแผ่นเวเฟอร์ในระดับนาโนเมตร เพื่อให้มั่นใจถึงความแม่นยำของรูปแบบลิโทกราฟี ซึ่งจะช่วยปรับปรุงการผสานรวมและประสิทธิภาพของชิป
สาขาการวัดความแม่นยำ: CMM เป็นอุปกรณ์วัดความแม่นยำที่นิยมใช้ในอุตสาหกรรมการผลิต ซึ่งใช้ในการวัดขนาด รูปร่าง และความแม่นยำของตำแหน่งของชิ้นงาน โมดูลการเคลื่อนที่ความแม่นยำสูงพิเศษของลูกลอยลมแกนเดี่ยวบนฐานหินแกรนิตสามารถใช้เป็นแพลตฟอร์มการเคลื่อนที่ของ CMM ซึ่งสามารถรับรู้การเคลื่อนที่เชิงเส้นที่มีความแม่นยำสูงและให้วิถีการเคลื่อนที่ที่เสถียรสำหรับหัววัด ตัวอย่างเช่น CMM ระดับไฮเอนด์ของ Hexagon ใช้การผสมผสานนี้ในการวัดชิ้นส่วนขนาดใหญ่และซับซ้อนด้วยความแม่นยำในการวัดถึงระดับไมครอน ซึ่งเป็นการรับประกันคุณภาพที่แข็งแกร่งสำหรับการควบคุมคุณภาพชิ้นส่วนในอุตสาหกรรมยานยนต์ อวกาศ และอุตสาหกรรมอื่นๆ
สาขาการบินและอวกาศ: ในการประมวลผลและการทดสอบชิ้นส่วนอากาศยาน จำเป็นต้องมีความแม่นยำสูง ตัวอย่างเช่น การตัดเฉือนใบพัดเครื่องยนต์อากาศยาน จำเป็นต้องมีการควบคุมวิถีการเคลื่อนที่ของเครื่องมืออย่างแม่นยำ เพื่อให้มั่นใจถึงความแม่นยำของโปรไฟล์ใบพัด ฐานแกรนิตของโมดูลการเคลื่อนที่แบบลอยตัวอากาศแกนเดี่ยวที่มีความแม่นยำสูงพิเศษ สามารถนำไปใช้กับศูนย์เครื่องจักรกลห้าแกนและอุปกรณ์อื่นๆ เพื่อให้การควบคุมการเคลื่อนที่ของเครื่องมือมีความแม่นยำสูง และเพื่อให้มั่นใจว่าความแม่นยำในการตัดเฉือนของใบพัดจะตรงตามข้อกำหนดการออกแบบ ขณะเดียวกัน ในกระบวนการประกอบเครื่องยนต์อากาศยาน จำเป็นต้องใช้อุปกรณ์วัดที่มีความแม่นยำสูงเพื่อตรวจจับความแม่นยำในการประกอบชิ้นส่วน โมดูลการเคลื่อนที่แบบลอยตัวอากาศของฐานแกรนิตสามารถให้การรองรับที่มั่นคงและการเคลื่อนที่ที่แม่นยำสำหรับอุปกรณ์วัด เพื่อรับประกันคุณภาพการประกอบ
สาขาการตรวจสอบด้วยแสง: ในกระบวนการผลิตและการทดสอบชิ้นส่วนออปติคัล จำเป็นต้องทำการวัดและกำหนดตำแหน่งชิ้นส่วนออปติคัลที่มีความแม่นยำสูง ตัวอย่างเช่น ในการผลิตชิ้นส่วนออปติคัลที่มีความแม่นยำสูง เช่น กระจกและเลนส์ จำเป็นต้องใช้อินเตอร์เฟอโรมิเตอร์และอุปกรณ์อื่นๆ เพื่อตรวจจับความแม่นยำของรูปร่างพื้นผิว ฐานหินแกรนิตของโมดูลการเคลื่อนที่แบบลอยตัวด้วยอากาศที่มีความแม่นยำสูงแบบแกนเดี่ยว สามารถใช้เป็นแพลตฟอร์มการเคลื่อนที่ของอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ ซึ่งสามารถระบุตำแหน่งได้อย่างแม่นยำในระดับต่ำกว่าไมครอน และให้ข้อมูลที่แม่นยำสำหรับการตรวจจับชิ้นส่วนออปติคัล นอกจากนี้ ในอุปกรณ์ประมวลผลเลเซอร์ ยังจำเป็นต้องใช้แพลตฟอร์มการเคลื่อนที่ที่มีความแม่นยำสูงเพื่อควบคุมวิถีการสแกนของลำแสงเลเซอร์ ซึ่งฐานหินแกรนิตของโมดูลการเคลื่อนที่แบบลอยตัวด้วยอากาศสามารถตอบสนองความต้องการนี้ได้ เพื่อให้ได้การประมวลผลด้วยเลเซอร์ที่มีความแม่นยำสูง