ข้อดีของการเลือกใช้ฐานหินแกรนิตสำหรับโต๊ะทดสอบแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์

ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ การตรวจสอบเวเฟอร์เป็นขั้นตอนสำคัญในการรับประกันคุณภาพและประสิทธิภาพของชิป และความแม่นยำและความเสถียรของโต๊ะตรวจสอบมีบทบาทสำคัญอย่างยิ่งต่อผลการตรวจสอบ ฐานหินแกรนิตที่มีคุณสมบัติเฉพาะตัว จึงเป็นตัวเลือกที่เหมาะสมที่สุดสำหรับโต๊ะตรวจสอบเวเฟอร์ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ต่อไปนี้คือการวิเคราะห์แบบหลายมิติเพื่อนำเสนอข้อมูลเพิ่มเติม

ประการแรก มิติการรับประกันความแม่นยำ
1. ความเรียบและความตรงสูงเป็นพิเศษ: ฐานหินแกรนิตผ่านกระบวนการผลิตด้วยเทคโนโลยีขั้นสูง ทำให้มีความเรียบได้ถึง ±0.001 มม./เมตร หรือสูงกว่านั้น และความตรงก็ยอดเยี่ยมเช่นกัน ในกระบวนการตรวจสอบเวเฟอร์ พื้นผิวที่มีความแม่นยำสูงนี้ช่วยรองรับเวเฟอร์ได้อย่างมั่นคง และรับประกันการสัมผัสที่แม่นยำระหว่างหัววัดของอุปกรณ์ตรวจสอบกับข้อต่อบัดกรีบนพื้นผิวเวเฟอร์
2. ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำมาก: การผลิตเซมิคอนดักเตอร์มีความไวต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ และค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนของหินแกรนิตนั้นต่ำมาก โดยปกติประมาณ 5×10⁻⁶/℃ เมื่อแท่นตรวจจับทำงาน แม้ว่าอุณหภูมิแวดล้อมจะผันผวน ขนาดของฐานหินแกรนิตก็จะเปลี่ยนแปลงน้อยมาก ตัวอย่างเช่น ในโรงงานที่มีอุณหภูมิสูงในฤดูร้อน อุณหภูมิของแท่นตรวจจับฐานโลหะทั่วไปอาจทำให้ตำแหน่งสัมพัทธ์ของเวเฟอร์และอุปกรณ์ตรวจจับเปลี่ยนแปลง ส่งผลต่อความแม่นยำในการตรวจจับ แท่นตรวจจับฐานหินแกรนิตสามารถรักษาเสถียรภาพ รับประกันความแม่นยำของตำแหน่งสัมพัทธ์ของเวเฟอร์และอุปกรณ์ตรวจจับในระหว่างกระบวนการตรวจจับ และให้สภาพแวดล้อมที่เสถียรสำหรับการตรวจจับที่มีความแม่นยำสูง
ประการที่สอง มิติความเสถียร
1. โครงสร้างที่มั่นคงและทนทานต่อการสั่นสะเทือน: หินแกรนิตผ่านกระบวนการทางธรณีวิทยามานับล้านปี โครงสร้างภายในจึงหนาแน่นและสม่ำเสมอ ในสภาพแวดล้อมที่ซับซ้อนของโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การสั่นสะเทือนที่เกิดจากการทำงานของอุปกรณ์ต่อพ่วงและการเดินไปมาของบุคลากรจะถูกลดทอนลงอย่างมีประสิทธิภาพโดยฐานหินแกรนิต
2. ความแม่นยำในการใช้งานระยะยาว: เมื่อเทียบกับวัสดุอื่นๆ หินแกรนิตมีความแข็งสูง ทนต่อการสึกหรอได้ดี และมีความแข็งระดับโมห์ส 6-7 พื้นผิวฐานหินแกรนิตไม่สึกหรอง่ายแม้ในระหว่างการขนถ่ายและตรวจสอบชิ้นงานบ่อยครั้ง จากสถิติข้อมูลการใช้งานจริง พบว่าโต๊ะทดสอบฐานหินแกรนิตสามารถใช้งานต่อเนื่องได้ถึง 5000 ชั่วโมง โดยยังคงรักษาความแม่นยำของความเรียบและความตรงได้มากกว่า 98% ของความแม่นยำเริ่มต้น ช่วยลดจำนวนครั้งในการปรับเทียบและบำรุงรักษาอุปกรณ์เนื่องจากการสึกหรอของฐาน ลดต้นทุนการดำเนินงาน และรับประกันความเสถียรในระยะยาวของงานทดสอบ

ประการที่สาม คือ มิติที่สะอาดและป้องกันการรบกวน
1. การเกิดฝุ่นน้อย: สภาพแวดล้อมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์จำเป็นต้องสะอาดมาก และวัสดุหินแกรนิตเองก็มีความเสถียรและไม่ก่อให้เกิดฝุ่นละอองได้ง่าย ในระหว่างการทำงานของแท่นทดสอบ ฝุ่นที่เกิดจากฐานจะไม่ไปปนเปื้อนแผ่นเวเฟอร์ และลดความเสี่ยงของการลัดวงจรและวงจรเปิดที่เกิดจากฝุ่นละออง ในพื้นที่ตรวจสอบแผ่นเวเฟอร์ของโรงงานปลอดฝุ่น ความเข้มข้นของฝุ่นรอบโต๊ะตรวจสอบฐานหินแกรนิตจะถูกควบคุมให้อยู่ในระดับต่ำมากเสมอ ซึ่งตรงตามข้อกำหนดด้านความสะอาดที่เข้มงวดของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
2. ไม่มีสัญญาณรบกวนทางแม่เหล็ก: อุปกรณ์ตรวจจับมีความไวต่อสภาพแวดล้อมทางแม่เหล็กไฟฟ้า และหินแกรนิตเป็นวัสดุที่ไม่เป็นแม่เหล็ก ซึ่งจะไม่รบกวนสัญญาณอิเล็กทรอนิกส์ของอุปกรณ์ตรวจจับ ในการใช้งานการตรวจจับด้วยลำแสงอิเล็กตรอนและเทคโนโลยีการทดสอบอื่นๆ ที่ต้องการสภาพแวดล้อมทางแม่เหล็กไฟฟ้าสูงมาก ฐานหินแกรนิตจะช่วยให้การส่งสัญญาณอิเล็กทรอนิกส์ของอุปกรณ์ตรวจจับมีความเสถียรและรับประกันความถูกต้องของผลการทดสอบ ตัวอย่างเช่น เมื่อทำการทดสอบเวเฟอร์เพื่อวัดประสิทธิภาพทางไฟฟ้าที่มีความแม่นยำสูง ฐานหินแกรนิตที่ไม่เป็นแม่เหล็กจะช่วยหลีกเลี่ยงการรบกวนสัญญาณกระแสและแรงดันไฟฟ้าที่ตรวจจับได้ ทำให้ข้อมูลที่ได้สะท้อนถึงคุณลักษณะทางไฟฟ้าของเวเฟอร์อย่างแท้จริง