ข้อดีของการเลือกใช้ฐานหินแกรนิตสำหรับโต๊ะทดสอบเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์

ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ การตรวจสอบเวเฟอร์เป็นกุญแจสำคัญในการรับรองคุณภาพและประสิทธิภาพของชิป และความแม่นยำและความเสถียรของตารางการตรวจสอบมีบทบาทสำคัญในผลการตรวจจับ ฐานแกรนิตที่มีลักษณะเฉพาะตัวจึงกลายเป็นตัวเลือกที่เหมาะสำหรับตารางการตรวจสอบเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ ต่อไปนี้คือการวิเคราะห์หลายมิติสำหรับคุณ

ประการแรกมิติการรับประกันความแม่นยำ
1. ความเรียบและความตรงสูงเป็นพิเศษ: ฐานหินแกรนิตได้รับการประมวลผลด้วยเทคโนโลยีการประมวลผลขั้นสูง และความเรียบสามารถเข้าถึง ±0.001mm/m หรือแม่นยำยิ่งขึ้น และความตรงยังยอดเยี่ยมอีกด้วย ในกระบวนการตรวจสอบเวเฟอร์ ระนาบที่มีความแม่นยำสูงจะรองรับเวเฟอร์ได้อย่างมั่นคง และช่วยให้มั่นใจได้ว่ามีการสัมผัสที่แม่นยำระหว่างหัววัดของอุปกรณ์ตรวจสอบและจุดบัดกรีบนพื้นผิวเวเฟอร์
2. ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำมาก: การผลิตเซมิคอนดักเตอร์มีความอ่อนไหวต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ และค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนของหินแกรนิตต่ำมาก โดยปกติจะอยู่ที่ประมาณ 5×10⁻⁶/℃ เมื่อแพลตฟอร์มการตรวจจับทำงาน แม้ว่าอุณหภูมิโดยรอบจะผันผวน ขนาดของฐานหินแกรนิตจะเปลี่ยนแปลงเพียงเล็กน้อย ตัวอย่างเช่น ในเวิร์กช็อปอุณหภูมิสูงในฤดูร้อน อุณหภูมิของแพลตฟอร์มการตรวจจับฐานโลหะทั่วไปอาจทำให้ตำแหน่งสัมพันธ์ของเวเฟอร์และอุปกรณ์ตรวจจับเปลี่ยนไป ซึ่งส่งผลต่อความแม่นยำในการตรวจจับ แพลตฟอร์มการตรวจจับฐานหินแกรนิตสามารถรักษาเสถียรภาพ รับประกันความแม่นยำของตำแหน่งสัมพันธ์ของเวเฟอร์และอุปกรณ์ตรวจจับระหว่างกระบวนการตรวจจับ และจัดเตรียมสภาพแวดล้อมที่เสถียรสำหรับการตรวจจับที่มีความแม่นยำสูง
ประการที่สอง มิติความมั่นคง
1. โครงสร้างที่มั่นคงและทนต่อการสั่นสะเทือน: หินแกรนิตมีโครงสร้างภายในที่หนาแน่นและสม่ำเสมอหลังจากผ่านกระบวนการทางธรณีวิทยามาหลายล้านปี ในสภาพแวดล้อมที่ซับซ้อนของโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ การสั่นสะเทือนที่เกิดจากการทำงานของอุปกรณ์ต่อพ่วงและบุคลากรที่เดินไปมาจะได้รับการบรรเทาอย่างมีประสิทธิภาพโดยฐานหินแกรนิต
2. ความแม่นยำในการใช้งานระยะยาว: เมื่อเทียบกับวัสดุอื่นๆ หินแกรนิตมีความแข็งสูง ทนทานต่อการสึกหรอ และความแข็งของโมห์สสามารถเข้าถึง 6-7 พื้นผิวฐานหินแกรนิตไม่สึกหรอได้ง่ายในระหว่างการโหลด การขนถ่าย และการดำเนินการตรวจสอบแผ่นเวเฟอร์บ่อยครั้ง ตามสถิติข้อมูลการใช้งานจริง การใช้โต๊ะทดสอบฐานหินแกรนิต การทำงานต่อเนื่องหลังจาก 5,000 ชั่วโมง ความแม่นยำของความเรียบและความตรงยังคงสามารถรักษาได้มากกว่า 98% ของความแม่นยำเริ่มต้น ลดการสึกหรอของฐานที่เกิดจากเวลาสอบเทียบและการบำรุงรักษาปกติ ลดต้นทุนการดำเนินงานทางธุรกิจ เพื่อให้มั่นใจถึงเสถียรภาพในระยะยาวของงานทดสอบ

มิติที่สาม สะอาด และป้องกันการรบกวน
1. การเกิดฝุ่นต่ำ: สภาพแวดล้อมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ต้องสะอาดมาก และวัสดุแกรนิตเองก็มีเสถียรภาพและไม่เกิดอนุภาคฝุ่นได้ง่าย ในระหว่างการทำงานของแพลตฟอร์มทดสอบ ฝุ่นที่เกิดจากฐานจะถูกหลีกเลี่ยงไม่ให้ไปปนเปื้อนเวเฟอร์ และความเสี่ยงของไฟฟ้าลัดวงจรและวงจรเปิดที่เกิดจากอนุภาคฝุ่นก็ลดลง ในพื้นที่ตรวจสอบเวเฟอร์ของเวิร์กช็อปปลอดฝุ่น ความเข้มข้นของฝุ่นรอบโต๊ะตรวจสอบฐานแกรนิตจะถูกควบคุมให้อยู่ในระดับต่ำมากเสมอ ซึ่งเป็นไปตามข้อกำหนดด้านความสะอาดที่เข้มงวดของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
2. ไม่มีการรบกวนแม่เหล็ก: อุปกรณ์ตรวจจับมีความไวต่อสภาพแวดล้อมแม่เหล็กไฟฟ้า และหินแกรนิตเป็นวัสดุที่ไม่ใช่แม่เหล็ก ซึ่งจะไม่รบกวนสัญญาณอิเล็กทรอนิกส์ของอุปกรณ์ตรวจจับ ในการใช้การตรวจจับลำแสงอิเล็กตรอนและเทคโนโลยีการทดสอบอื่นๆ ที่ต้องการสภาพแวดล้อมแม่เหล็กไฟฟ้าที่สูงมาก ฐานหินแกรนิตจะรับประกันการส่งสัญญาณอิเล็กทรอนิกส์ของอุปกรณ์ตรวจจับที่เสถียรและรับประกันความแม่นยำของผลการทดสอบ ตัวอย่างเช่น เมื่อทดสอบเวเฟอร์เพื่อประสิทธิภาพไฟฟ้าที่มีความแม่นยำสูง ฐานหินแกรนิตที่ไม่ใช่แม่เหล็กจะหลีกเลี่ยงการรบกวนกับกระแสการตรวจจับและสัญญาณแรงดันไฟฟ้า ดังนั้นข้อมูลการตรวจจับจึงสะท้อนคุณลักษณะไฟฟ้าของเวเฟอร์ได้อย่างแท้จริง