ข้อดีของการเลือกใช้ฐานหินแกรนิตสำหรับโต๊ะทดสอบเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์

ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ การตรวจสอบเวเฟอร์เป็นกุญแจสำคัญในการรับรองคุณภาพและประสิทธิภาพของชิป และความแม่นยำและความเสถียรของโต๊ะตรวจสอบมีบทบาทสำคัญอย่างยิ่งต่อผลการตรวจจับ ฐานหินแกรนิตมีคุณสมบัติเฉพาะตัว จึงเป็นตัวเลือกที่เหมาะสมที่สุดสำหรับโต๊ะตรวจสอบเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ การวิเคราะห์แบบหลายมิติต่อไปนี้เหมาะสำหรับคุณ

ประการแรกมิติการรับประกันความแม่นยำ
1. ความเรียบและความตรงสูงเป็นพิเศษ: ฐานหินแกรนิตผ่านกระบวนการแปรรูปขั้นสูง และความเรียบสามารถเข้าถึง ±0.001 มม./ม. หรือสูงกว่านั้น อีกทั้งยังมีความตรงที่ยอดเยี่ยม ในกระบวนการตรวจสอบแผ่นเวเฟอร์ ระนาบความแม่นยำสูงจะช่วยรองรับแผ่นเวเฟอร์ได้อย่างมั่นคง และช่วยให้มั่นใจได้ว่าหัววัดของอุปกรณ์ตรวจสอบและจุดบัดกรีบนพื้นผิวแผ่นเวเฟอร์มีการสัมผัสที่แม่นยำ
2. ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำมาก: การผลิตเซมิคอนดักเตอร์มีความไวต่อการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิ และค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนของหินแกรนิตต่ำมาก โดยทั่วไปอยู่ที่ประมาณ 5×10⁻⁶/℃ เมื่อแพลตฟอร์มตรวจจับทำงาน แม้ว่าอุณหภูมิโดยรอบจะผันผวน ขนาดของฐานหินแกรนิตจะเปลี่ยนแปลงเพียงเล็กน้อย ตัวอย่างเช่น ในโรงงานที่มีอุณหภูมิสูงในฤดูร้อน อุณหภูมิของแพลตฟอร์มตรวจจับฐานโลหะทั่วไปอาจทำให้ตำแหน่งสัมพัทธ์ระหว่างแผ่นเวเฟอร์และอุปกรณ์ตรวจจับเปลี่ยนแปลง ซึ่งส่งผลต่อความแม่นยำในการตรวจจับ แพลตฟอร์มตรวจจับฐานหินแกรนิตสามารถรักษาเสถียรภาพ รับประกันความแม่นยำของตำแหน่งสัมพัทธ์ระหว่างแผ่นเวเฟอร์และอุปกรณ์ตรวจจับในระหว่างกระบวนการตรวจจับ และมอบสภาพแวดล้อมที่เสถียรสำหรับการตรวจจับที่มีความแม่นยำสูง
ประการที่สอง มิติความมั่นคง
1. โครงสร้างที่มั่นคงและต้านทานการสั่นสะเทือน: หินแกรนิตมีโครงสร้างภายในที่หนาแน่นและสม่ำเสมอหลังจากผ่านกระบวนการทางธรณีวิทยามาหลายล้านปี ในสภาพแวดล้อมที่ซับซ้อนของโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การสั่นสะเทือนที่เกิดจากการทำงานของอุปกรณ์ต่อพ่วงและบุคลากรที่เดินไปมาจะลดทอนลงได้อย่างมีประสิทธิภาพโดยฐานหินแกรนิต
2. ความแม่นยำในการใช้งานระยะยาว: เมื่อเทียบกับวัสดุอื่นๆ หินแกรนิตมีความแข็งสูง ทนทานต่อการสึกหรอ และมีค่าความแข็งโมห์สสูงถึง 6-7 พื้นผิวฐานหินแกรนิตไม่สึกกร่อนง่ายในระหว่างการโหลด ขนถ่าย และตรวจสอบแผ่นเวเฟอร์บ่อยครั้ง จากข้อมูลสถิติการใช้งานจริง การใช้โต๊ะทดสอบฐานหินแกรนิต สามารถใช้งานได้ต่อเนื่อง 5,000 ชั่วโมง ความแม่นยำของความเรียบและความตรงยังคงสูงกว่า 98% ของความแม่นยำเริ่มต้น ช่วยลดการสึกหรอของฐานอุปกรณ์ที่เกิดจากการสอบเทียบและการบำรุงรักษาตามปกติ ลดต้นทุนการดำเนินงานทางธุรกิจ ช่วยให้มั่นใจได้ถึงความเสถียรของงานทดสอบในระยะยาว

มิติที่สาม สะอาด และป้องกันการรบกวน
1. การเกิดฝุ่นต่ำ: สภาพแวดล้อมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์จำเป็นต้องสะอาดสูง วัสดุหินแกรนิตเองก็มีความเสถียรและไม่ก่อให้เกิดฝุ่นละอองได้ง่าย ในระหว่างการทำงานของแท่นทดสอบ ฝุ่นที่เกิดจากฐานจะถูกหลีกเลี่ยงไม่ให้ปนเปื้อนเวเฟอร์ และลดความเสี่ยงของการลัดวงจรและวงจรเปิดที่เกิดจากอนุภาคฝุ่น ในพื้นที่ตรวจสอบเวเฟอร์ของโรงงานปลอดฝุ่น ความเข้มข้นของฝุ่นรอบโต๊ะตรวจสอบฐานหินแกรนิตจะถูกควบคุมให้อยู่ในระดับต่ำมาก ซึ่งเป็นไปตามข้อกำหนดด้านความสะอาดที่เข้มงวดของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
2. ไม่มีการรบกวนแม่เหล็ก: อุปกรณ์ตรวจจับมีความไวต่อสภาพแวดล้อมแม่เหล็กไฟฟ้า และหินแกรนิตเป็นวัสดุที่ไม่ใช่แม่เหล็ก ซึ่งจะไม่รบกวนสัญญาณอิเล็กทรอนิกส์ของอุปกรณ์ตรวจจับ ในการใช้เทคโนโลยีการตรวจจับลำแสงอิเล็กตรอนและเทคโนโลยีการทดสอบอื่นๆ ที่ต้องการสภาพแวดล้อมแม่เหล็กไฟฟ้าสูงมาก ฐานหินแกรนิตช่วยให้มั่นใจได้ว่าการส่งสัญญาณอิเล็กทรอนิกส์ของอุปกรณ์ตรวจจับจะมีเสถียรภาพและแม่นยำยิ่งขึ้น ตัวอย่างเช่น เมื่อทดสอบเวเฟอร์เพื่อประสิทธิภาพทางไฟฟ้าที่มีความแม่นยำสูง ฐานหินแกรนิตที่ไม่ใช่แม่เหล็กจะหลีกเลี่ยงการรบกวนสัญญาณกระแสและแรงดันไฟฟ้าในการตรวจจับ ทำให้ข้อมูลการตรวจจับสะท้อนถึงคุณสมบัติทางไฟฟ้าของเวเฟอร์ได้อย่างแท้จริง