การเลือกใช้แท่นหินแกรนิตสำหรับการตรวจสอบด้วยแสง

แม้ว่าแท่นหินแกรนิตอาจดูเหมือนแผ่นหินธรรมดา แต่เกณฑ์การเลือกจะเปลี่ยนไปอย่างมากเมื่อเปลี่ยนจากการใช้งานในอุตสาหกรรมทั่วไปไปสู่การตรวจสอบและการวัดทางแสงที่มีความสำคัญสูง สำหรับ ZHHIMG® การจัดหาชิ้นส่วนที่มีความแม่นยำสูงให้กับผู้นำระดับโลกในด้านเทคโนโลยีเซมิคอนดักเตอร์และเลเซอร์ หมายถึงการตระหนักว่าแท่นสำหรับการวัดทางแสงไม่ใช่แค่ฐาน แต่เป็นส่วนสำคัญที่ขาดไม่ได้ของระบบทางแสงเอง

ข้อกำหนดสำหรับการตรวจสอบด้วยแสง ซึ่งรวมถึงการถ่ายภาพกำลังขยายสูง การสแกนด้วยเลเซอร์ และการวัดด้วยอินเตอร์เฟอโรเมตรี ถูกกำหนดโดยความจำเป็นในการกำจัดแหล่งที่มาของสัญญาณรบกวนในการวัดทั้งหมด สิ่งนี้จึงนำไปสู่การให้ความสำคัญกับคุณสมบัติพิเศษสามประการที่ทำให้แพลตฟอร์มการตรวจสอบด้วยแสงที่แท้จริงแตกต่างจากแพลตฟอร์มอุตสาหกรรมมาตรฐาน

1. ความหนาแน่นสูงพิเศษเพื่อการลดแรงสั่นสะเทือนอย่างเหนือชั้น

สำหรับฐานเครื่อง CNC มาตรฐานในอุตสาหกรรม เหล็กหล่อหรือหินแกรนิตทั่วไปอาจให้ความแข็งแรงเพียงพอ อย่างไรก็ตาม ชุดอุปกรณ์ทางแสงมีความไวเป็นพิเศษต่อการเคลื่อนไหวเล็กน้อยที่เกิดจากการสั่นสะเทือนภายนอก เช่น จากอุปกรณ์ในโรงงาน ระบบปรับอากาศ หรือแม้แต่การจราจรในระยะไกล

นี่คือจุดที่วิทยาศาสตร์วัสดุมีความสำคัญอย่างยิ่ง แพลตฟอร์มทางแสงต้องการหินแกรนิตที่มีคุณสมบัติการลดแรงสั่นสะเทือนที่ดีเยี่ยม ZHHIMG® ใช้หินแกรนิตสีดำ ZHHIMG® ที่เป็นกรรมสิทธิ์ของบริษัท (≈ 3100 กก./ลบ.ม.) วัสดุที่มีความหนาแน่นสูงเป็นพิเศษนี้ แตกต่างจากหินแกรนิตหรือหินอ่อนเกรดต่ำกว่า เนื่องจากมีโครงสร้างผลึกที่มีประสิทธิภาพสูงในการกระจายพลังงานเชิงกล เป้าหมายไม่ใช่แค่การลดแรงสั่นสะเทือน แต่เพื่อให้แน่ใจว่าฐานยังคงเป็นพื้นเชิงกลที่เงียบสนิท ลดการเคลื่อนที่สัมพัทธ์ระหว่างเลนส์วัตถุและตัวอย่างที่ตรวจสอบในระดับต่ำกว่าไมครอน

2. เสถียรภาพทางความร้อนขั้นสูงเพื่อป้องกันการเคลื่อนตัว

แท่นวางชิ้นงานอุตสาหกรรมมาตรฐานสามารถทนต่อการเปลี่ยนแปลงขนาดเล็กน้อยได้ การเปลี่ยนแปลงเพียงเศษหนึ่งส่วนสิบขององศาเซลเซียสอาจไม่ส่งผลกระทบต่อการเจาะ แต่ในระบบออปติคอลที่ทำการวัดอย่างแม่นยำเป็นเวลานาน การเปลี่ยนแปลงทางความร้อนใดๆ ในรูปทรงเรขาคณิตของฐานจะทำให้เกิดข้อผิดพลาดอย่างเป็นระบบ

สำหรับการตรวจสอบด้วยแสง แท่นวางต้องทำหน้าที่เป็นตัวระบายความร้อนที่มีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน (CTE) ต่ำเป็นพิเศษ มวลและความหนาแน่นที่เหนือกว่าของหินแกรนิตสีดำ ZHHIMG® ช่วยให้เกิดความเฉื่อยทางความร้อนที่จำเป็นเพื่อต้านทานการขยายตัวและการหดตัวเล็กน้อยที่อาจเกิดขึ้นภายในห้องควบคุมอุณหภูมิ ความเสถียรนี้ช่วยให้ระยะโฟกัสที่ปรับเทียบแล้วและการจัดเรียงระนาบของส่วนประกอบทางแสงคงที่ ซึ่งรับประกันความถูกต้องของการวัดที่กินเวลานานหลายชั่วโมง ซึ่งเป็นปัจจัยที่ขาดไม่ได้สำหรับการตรวจสอบเวเฟอร์ความละเอียดสูงหรือการวัดทางมาตรวิทยาของจอแสดงผลแบบแบน

3. การบรรลุความเรียบระดับนาโนและความแม่นยำทางเรขาคณิต

ความแตกต่างที่เห็นได้ชัดที่สุดคือข้อกำหนดเรื่องความเรียบ ในขณะที่ฐานอุตสาหกรรมทั่วไปอาจมีความเรียบระดับเกรด 1 หรือเกรด 0 (วัดเป็นไมครอน) แต่ระบบทางแสงต้องการความแม่นยำในระดับนาโนเมตร ระดับความสมบูรณ์แบบทางเรขาคณิตนี้จำเป็นเพื่อให้ได้ระนาบอ้างอิงที่เชื่อถือได้สำหรับแท่นวางเชิงเส้นและระบบโฟกัสอัตโนมัติที่ทำงานบนหลักการของการแทรกสอดของแสง

การผลิตและรับรองความเรียบระดับนาโนเมตรนั้นต้องใช้วิธีการผลิตที่แตกต่างไปจากเดิมโดยสิ้นเชิง ต้องใช้เทคนิคเฉพาะทางขั้นสูงโดยใช้เครื่องจักรที่ทันสมัย ​​เช่น เครื่องเจียร Nanter จากไต้หวัน และได้รับการยืนยันโดยอุปกรณ์วัดทางมาตรวิทยาที่ซับซ้อน เช่น เครื่องวัดการรบกวนด้วยเลเซอร์ของ Renishaw กระบวนการนี้ต้องเกิดขึ้นในสภาพแวดล้อมที่มีความเสถียรสูงมาก เช่น โรงงานผลิตของ ZHHIMG® ที่ลดการสั่นสะเทือนและควบคุมอุณหภูมิ แม้แต่การเคลื่อนไหวของอากาศเพียงเล็กน้อยก็ลดลงเหลือน้อยที่สุด

โดยพื้นฐานแล้ว การเลือกใช้แท่นวางหินแกรนิตที่มีความแม่นยำสูงสำหรับการตรวจสอบด้วยแสงนั้น เป็นการตัดสินใจลงทุนในชิ้นส่วนที่รับประกันความแม่นยำของการวัดด้วยแสงอย่างแท้จริง จำเป็นต้องร่วมมือกับผู้ผลิตที่มองว่าการรับรองมาตรฐาน ISO 9001 และการตรวจสอบย้อนกลับมิติอย่างครอบคลุมนั้น ไม่ใช่คุณสมบัติเสริม แต่เป็นข้อกำหนดพื้นฐานสำหรับการเข้าสู่โลกของเลนส์ที่มีความแม่นยำสูงเป็นพิเศษ