การเลือกแพลตฟอร์มหินแกรนิตสำหรับการตรวจสอบด้วยแสง

แม้ว่าแพลตฟอร์มหินแกรนิตอาจดูเหมือนแผ่นหินธรรมดาๆ แต่เกณฑ์การคัดเลือกจะเปลี่ยนแปลงไปอย่างมากเมื่อเปลี่ยนจากการใช้งานในอุตสาหกรรมทั่วไปไปสู่การตรวจสอบและการวัดด้วยแสงที่มีความสำคัญสูง สำหรับ ZHHIMG® การจัดหาชิ้นส่วนที่มีความแม่นยำให้กับผู้นำระดับโลกด้านเทคโนโลยีเซมิคอนดักเตอร์และเลเซอร์ หมายถึงการตระหนักว่าแพลตฟอร์มสำหรับการวัดด้วยแสงไม่ได้เป็นเพียงแค่ฐานราก แต่เป็นส่วนประกอบสำคัญที่ไม่อาจต่อรองได้ของระบบออปติกเอง

ข้อกำหนดสำหรับการตรวจสอบด้วยแสง ซึ่งรวมถึงการถ่ายภาพกำลังขยายสูง การสแกนด้วยเลเซอร์ และอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ ถูกกำหนดโดยความจำเป็นในการกำจัดแหล่งกำเนิดสัญญาณรบกวนในการวัดทั้งหมด สิ่งนี้นำไปสู่การมุ่งเน้นไปที่คุณสมบัติพิเศษสามประการที่ทำให้แพลตฟอร์มออปติกแท้แตกต่างจากแพลตฟอร์มอุตสาหกรรมมาตรฐาน

1. ความหนาแน่นที่เหนือกว่าสำหรับการลดการสั่นสะเทือนที่ไม่มีใครเทียบได้

สำหรับฐาน CNC อุตสาหกรรมมาตรฐาน เหล็กหล่อหรือหินแกรนิตทั่วไปอาจมีความแข็งเพียงพอ อย่างไรก็ตาม ระบบออปติคัลมีความไวสูงเป็นพิเศษต่อการเคลื่อนที่เล็กน้อยที่เกิดจากการสั่นสะเทือนภายนอกจากอุปกรณ์ในโรงงาน ระบบปรับอากาศ หรือแม้แต่การจราจรในระยะไกล

นี่คือจุดที่วิทยาศาสตร์วัสดุมีความสำคัญสูงสุด แพลตฟอร์มออปติคัลต้องการหินแกรนิตที่มีคุณสมบัติการหน่วงวัสดุที่ดีเยี่ยม ZHHIMG® ใช้หินแกรนิตดำ ZHHIMG® ซึ่งเป็นกรรมสิทธิ์ของบริษัท (≈ 3100 กก./ลบ.ม.) วัสดุที่มีความหนาแน่นสูงพิเศษนี้ แตกต่างจากหินแกรนิตหรือหินอ่อนเกรดต่ำกว่า เพราะมีโครงสร้างผลึกที่มีประสิทธิภาพสูงในการกระจายพลังงานกล เป้าหมายไม่ใช่แค่การลดการสั่นสะเทือน แต่เพื่อให้มั่นใจว่าฐานยังคงเป็นพื้นกลไกที่เงียบสนิท ลดการเคลื่อนที่สัมพัทธ์ระหว่างเลนส์ใกล้วัตถุและตัวอย่างที่ตรวจสอบในระดับต่ำกว่าไมครอน

2. เสถียรภาพทางความร้อนขั้นสูงสุดเพื่อต่อต้านการดริฟท์

แท่นขุดเจาะอุตสาหกรรมมาตรฐานสามารถทนต่อการเปลี่ยนแปลงขนาดเพียงเล็กน้อยได้ การเปลี่ยนแปลงเพียงหนึ่งในสิบองศาเซลเซียสอาจไม่สำคัญสำหรับการขุดเจาะ แต่ในระบบออปติคัลที่วัดค่าได้อย่างแม่นยำเป็นระยะเวลานาน การเปลี่ยนแปลงทางความร้อนใดๆ ในรูปทรงของฐานจะทำให้เกิดความคลาดเคลื่อนอย่างเป็นระบบ

สำหรับการตรวจสอบด้วยแสง แพลตฟอร์มต้องทำหน้าที่เป็นตัวระบายความร้อนที่มีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน (CTE) ต่ำเป็นพิเศษ มวลและความหนาแน่นที่เหนือกว่าของหินแกรนิตดำ ZHHIMG® มอบความเฉื่อยทางความร้อนที่จำเป็นต่อการต้านทานการขยายตัวและการหดตัวเล็กน้อยที่อาจเกิดขึ้นภายในห้องควบคุมอุณหภูมิ ความเสถียรนี้ช่วยให้มั่นใจได้ว่าระยะโฟกัสที่ปรับเทียบแล้วและการจัดวางแนวระนาบของส่วนประกอบออปติคัลจะคงที่ รับประกันความสมบูรณ์ของการวัดที่กินเวลานานหลายชั่วโมง ซึ่งเป็นปัจจัยสำคัญที่ไม่อาจต่อรองได้สำหรับการตรวจสอบแผ่นเวเฟอร์ความละเอียดสูงหรือการวัดด้วยจอภาพแบบจอแบน

3. การบรรลุความเรียบระดับนาโนและความแม่นยำทางเรขาคณิต

ความแตกต่างที่เห็นได้ชัดที่สุดคือข้อกำหนดเรื่องความเรียบ แม้ว่าฐานอุตสาหกรรมทั่วไปอาจมีความเรียบระดับ 1 หรือระดับ 0 (วัดเป็นไมครอนได้) แต่ระบบออปติคัลต้องการความแม่นยำในระดับนาโนเมตร ระดับความสมบูรณ์แบบทางเรขาคณิตนี้จำเป็นสำหรับการสร้างระนาบอ้างอิงที่เชื่อถือได้สำหรับสเตจเชิงเส้นและระบบโฟกัสอัตโนมัติที่ทำงานบนหลักการของการรบกวนของแสง

การบรรลุและรับรองความเรียบระดับนาโนเมตรนั้นต้องอาศัยวิธีการผลิตที่แตกต่างอย่างสิ้นเชิง ต้องใช้เทคนิคเฉพาะทางขั้นสูงโดยใช้เครื่องจักรที่ทันสมัย ​​เช่น เครื่องบด Nanter ของไต้หวัน และได้รับการยืนยันด้วยอุปกรณ์มาตรวิทยาที่ทันสมัย ​​เช่น อินเตอร์เฟอโรมิเตอร์เลเซอร์ของ Renishaw กระบวนการนี้ต้องดำเนินการในสภาพแวดล้อมที่มีความเสถียรสูง เช่น โรงงานของ ZHHIMG® ที่มีระบบลดแรงสั่นสะเทือนและควบคุมอุณหภูมิ ซึ่งแม้แต่การเคลื่อนตัวของอากาศเพียงเล็กน้อยก็ลดลง

โดยพื้นฐานแล้ว การเลือกแพลตฟอร์มความแม่นยำสูงแบบแกรนิตสำหรับการตรวจสอบด้วยแสง ถือเป็นการตัดสินใจลงทุนในส่วนประกอบที่รับประกันความแม่นยำในการวัดด้วยแสงอย่างแท้จริง จำเป็นต้องร่วมมือกับผู้ผลิตที่มองว่าการรับรองมาตรฐาน ISO 9001 และการตรวจสอบย้อนกลับเชิงมิติที่ครอบคลุม ไม่ใช่เพียงคุณสมบัติเสริม แต่เป็นข้อกำหนดพื้นฐานสำหรับการก้าวเข้าสู่โลกแห่งออปติกความแม่นยำสูง