แพลตฟอร์มลอยลมไฮโดรสแตติกที่มีความแม่นยำ: ฐานหินแกรนิตหล่อขึ้นอย่างแม่นยำเป็นพิเศษ

ในแนวหน้าของการผลิตที่แม่นยำและการสำรวจการวิจัยทางวิทยาศาสตร์ ข้อผิดพลาดทุกจุดอาจกลายเป็น "อุปสรรค" ที่ขัดขวางการพัฒนาที่ก้าวหน้า ในฐานะอุปกรณ์สำคัญในการควบคุมการเคลื่อนไหวที่มีความแม่นยำสูง ประสิทธิภาพของแพลตฟอร์มการเคลื่อนที่ลอยตัวด้วยอากาศแรงดันคงที่ที่แม่นยำนั้นเกี่ยวข้องโดยตรงกับคุณภาพและความสำเร็จของผลลัพธ์ ในบรรดาปัจจัยที่มีอิทธิพลมากมาย ฐานหินแกรนิตซึ่งมีลักษณะที่ไม่มีใครเทียบได้ ได้กลายมาเป็นองค์ประกอบหลักในการรับประกันประสิทธิภาพที่ยอดเยี่ยมของแพลตฟอร์ม
โครงสร้างภายในของหินแกรนิตจะหนาแน่นและสม่ำเสมอกันหลังจากผ่านการเปลี่ยนแปลงทางธรณีวิทยามาหลายล้านปี โดยส่วนใหญ่ประกอบด้วยควอตซ์ เฟลด์สปาร์ และแร่ธาตุอื่นๆ ที่พันกันแน่น โครงสร้างพิเศษที่เกิดขึ้นตามธรรมชาตินี้ทำให้ฐานของหินแกรนิตมีคุณสมบัติที่โดดเด่นหลายประการ

มีเสถียรภาพสูง แยกจากสัญญาณรบกวนจากภายนอก
การสั่นสะเทือนในสภาพแวดล้อมภายนอกเป็นศัตรูของความแม่นยำสำหรับแพลตฟอร์มลอยลมแรงดันสถิตที่แม่นยำ การสั่นสะเทือนที่เกิดจากการทำงานของเครื่องจักรและอุปกรณ์ขนาดใหญ่ในพื้นโรงงานและการจราจรโดยรอบอาจส่งผ่านไปยังแพลตฟอร์มเคลื่อนที่ผ่านพื้นดิน อย่างไรก็ตาม ฐานหินแกรนิตนั้นเปรียบเสมือน "ป้อมปราการที่ทนทานต่อแผ่นดินไหว" ที่แข็งแกร่ง โครงสร้างผลึกที่ซับซ้อนสามารถปิดกั้นและลดการสั่นสะเทือนได้อย่างมีประสิทธิภาพ และผ่านการทดสอบในทางปฏิบัติ แอมพลิจูดการสั่นสะเทือนที่ส่งไปยังแพลตฟอร์มสามารถลดลงได้มากกว่า 80% ในเวิร์กช็อปการผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์ กระบวนการโฟโตลิโทกราฟีต้องใช้ความแม่นยำในการวางตำแหน่งเพื่อให้ถึงระดับนาโนเมตร และแพลตฟอร์มการเคลื่อนที่ลอยลมแรงดันสถิตที่แม่นยำซึ่งรองรับโดยฐานหินแกรนิตสามารถรับประกันการทำงานที่เสถียรของอุปกรณ์ลิโทกราฟีชิปในสภาพแวดล้อมการสั่นสะเทือนที่ซับซ้อน ทำการแกะสลักลวดลายวงจรให้เสร็จสมบูรณ์อย่างแม่นยำ และปรับปรุงผลผลิตของการผลิตชิปได้อย่างมาก
เสถียรภาพทางความร้อนที่ดี ไม่กลัวการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ
ความผันผวนของอุณหภูมิจะทำให้วัสดุหลายชนิดขยายตัวและหดตัว ซึ่งจะส่งผลต่อความแม่นยำของอุปกรณ์ อย่างไรก็ตาม ฐานหินแกรนิตแสดงให้เห็นถึงความเสถียรทางความร้อนที่เหนือชั้น และค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนนั้นต่ำมาก โดยทั่วไปอยู่ที่ 5-7 ×10⁻⁶/℃ ในด้านดาราศาสตร์ แพลตฟอร์มการเคลื่อนที่ลอยตัวด้วยอากาศที่มีแรงดันสถิตแม่นยำซึ่งใช้สำหรับปรับเลนส์กล้องโทรทรรศน์ขนาดใหญ่ให้ละเอียด โดยมีฐานหินแกรนิต แม้จะเผชิญกับการเปลี่ยนแปลงอย่างรุนแรงของความแตกต่างของอุณหภูมิระหว่างกลางวันและกลางคืน ก็สามารถรับประกันได้ว่าความแม่นยำในการวางตำแหน่งของเลนส์จะคงอยู่ที่ระดับต่ำกว่าไมครอน ช่วยให้นักดาราศาสตร์จับภาพการเปลี่ยนแปลงที่ละเอียดอ่อนของวัตถุท้องฟ้าที่อยู่ห่างไกลได้อย่างชัดเจน และสำรวจความลึกลับของจักรวาลอันลึกล้ำ
ความแข็งสูงและทนต่อการสึกหรอเพื่อให้มั่นใจถึงการใช้งานระยะยาว
ในระยะยาวของแพลตฟอร์มลอยลมแรงดันสถิตย์ที่แม่นยำ แม้ว่าจะมีการสนับสนุนการลอยลมระหว่างแพลตฟอร์มและฐาน แต่ก็ยังมีแรงเสียดทานในระดับหนึ่ง ความแข็งของแกรนิตสูง ความแข็งของโมห์สสามารถสูงถึง 6-7 โดยมีความทนทานต่อการสึกหรอที่ยอดเยี่ยม ในห้องปฏิบัติการวิทยาศาสตร์วัสดุ แพลตฟอร์มการเคลื่อนที่ลอยลมแรงดันสถิตย์ที่แม่นยำซึ่งใช้บ่อย ฐานแกรนิตสามารถต้านทานการสูญเสียแรงเสียดทานในระยะยาวได้อย่างมีประสิทธิภาพ เมื่อเทียบกับฐานทั่วไป สามารถยืดรอบการบำรุงรักษาของแพลตฟอร์มได้มากกว่า 50% ลดต้นทุนการบำรุงรักษาอุปกรณ์ และรับรองความต่อเนื่องของงานวิจัยทางวิทยาศาสตร์
การเลือกใช้ฐานหินแกรนิตสำหรับแพลตฟอร์มการเคลื่อนที่ลอยตัวด้วยแรงดันสถิตที่แม่นยำนั้นถือเป็นการแสวงหาความแม่นยำ ความเสถียร และความทนทานสูงสุด ในด้านการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การผลิตเครื่องมือออปติก การบินและอวกาศ การวิจัยทางวิทยาศาสตร์และการทดสอบ ซึ่งต้องการความแม่นยำเกือบเคร่งครัด แพลตฟอร์มการเคลื่อนที่ลอยตัวด้วยแรงดันสถิตที่แม่นยำซึ่งรองรับโดยฐานหินแกรนิตนั้นมีบทบาทสำคัญที่ไม่อาจทดแทนได้ โดยส่งเสริมการพัฒนาอุตสาหกรรมต่างๆ ให้มุ่งสู่ความแม่นยำสูงยิ่งขึ้น