มอเตอร์เชิงเส้น + ฐานหินแกรนิต: หัวใจสำคัญของระบบลำเลียงเวเฟอร์รุ่นใหม่

ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่แม่นยำ ระบบลำเลียงแผ่นเวเฟอร์เปรียบเสมือน "เส้นชีวิตของสายการผลิตชิป" และความเสถียรและความแม่นยำของระบบนี้เป็นตัวกำหนดอัตราผลผลิตของชิปโดยตรง ระบบลำเลียงแผ่นเวเฟอร์รุ่นใหม่ได้ปฏิวัติวงการด้วยการผสมผสานมอเตอร์เชิงเส้นเข้ากับฐานหินแกรนิต และข้อดีอันเป็นเอกลักษณ์ของวัสดุหินแกรนิตนั้นเป็นกุญแจสำคัญในการปลดล็อกประสิทธิภาพการส่งกำลังระดับสูง

ฐานที่มั่นคงดุจหินแกรнит: การสร้าง "รากฐานที่แข็งแกร่งดุจหินผา" เพื่อการส่งสัญญาณที่เสถียร
หินแกรนิตซึ่งผ่านกระบวนการทางธรณีวิทยามาหลายร้อยล้านปี มีโครงสร้างผลึกแร่ภายในที่หนาแน่นและสม่ำเสมอ คุณลักษณะตามธรรมชาตินี้ทำให้เป็นวัสดุฐานที่เหมาะสมอย่างยิ่งสำหรับระบบลำเลียงเวเฟอร์ ในสภาพแวดล้อมที่ซับซ้อนของห้องคลีนรูมสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ หินแกรนิตที่มีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำมาก (เพียง 5-7 ×10⁻⁶/℃) สามารถทนต่อความร้อนที่เกิดขึ้นระหว่างการทำงานของอุปกรณ์และอิทธิพลของการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิแวดล้อม ทำให้มั่นใจได้ถึงความเสถียรของขนาดฐานและหลีกเลี่ยงการเบี่ยงเบนของเส้นทางการส่งผ่านที่เกิดจากการเสียรูปทางความร้อน ประสิทธิภาพการลดแรงสั่นสะเทือนที่โดดเด่นสามารถดูดซับแรงสั่นสะเทือนทางกลที่เกิดขึ้นระหว่างการเริ่มต้น การหยุดทำงาน และการเร่งความเร็วของมอเตอร์เชิงเส้นได้อย่างรวดเร็ว รวมถึงการรบกวนภายนอกที่เกิดจากการทำงานของอุปกรณ์อื่นๆ ในโรงงาน ทำให้ได้แพลตฟอร์มที่มั่นคงโดย "ไม่มีการสั่นสะเทือน" สำหรับการลำเลียงเวเฟอร์
ในขณะเดียวกัน ความเสถียรทางเคมีของหินแกรนิตช่วยให้มั่นใจได้ว่าจะไม่เกิดการกัดกร่อนหรือสนิมในโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งมีสารเคมีที่เป็นกรดและด่างระเหยง่าย และต้องการความสะอาดสูง จึงช่วยหลีกเลี่ยงผลกระทบต่อความแม่นยำในการส่งสัญญาณเนื่องจากการเสื่อมสภาพของวัสดุหรือการดูดซับมลพิษ คุณลักษณะของพื้นผิวที่เรียบและหนาแน่นสามารถลดการเกาะติดของฝุ่นได้อย่างมีประสิทธิภาพมากขึ้น ตรงตามมาตรฐานปลอดฝุ่นที่เข้มงวดของห้องปลอดฝุ่น และขจัดความเสี่ยงของการปนเปื้อนของเวเฟอร์ตั้งแต่ต้น
ผลลัพธ์อันยอดเยี่ยมจากการทำงานร่วมกันของมอเตอร์เชิงเส้นและหินแกรนิต
มอเตอร์เชิงเส้น ด้วยคุณลักษณะที่ไม่มีช่องว่างในการส่งกำลังทางกล การเร่งความเร็วสูง และความเร็วในการตอบสนองสูง ทำให้การส่งแผ่นเวเฟอร์มีข้อดีคือ "รวดเร็ว แม่นยำ และเสถียร" ฐานหินแกรนิตเป็นฐานรองรับที่แข็งแรงและเชื่อถือได้ ทั้งสองอย่างทำงานร่วมกันเพื่อบรรลุประสิทธิภาพที่เหนือกว่า เมื่อมอเตอร์เชิงเส้นขับเคลื่อนตัวลำเลียงแผ่นเวเฟอร์ให้วิ่งบนรางฐานหินแกรนิต ความแข็งแกร่งและความมั่นคงของฐานจะช่วยให้การส่งกำลังของมอเตอร์มีประสิทธิภาพ ป้องกันการสูญเสียแรงหรือความล่าช้าในการส่งกำลังที่เกิดจากการเสียรูปของฐาน
ด้วยความต้องการความแม่นยำระดับนาโนเมตร มอเตอร์เชิงเส้นจึงสามารถควบคุมการเคลื่อนที่ได้ในระดับต่ำกว่าไมครอน คุณลักษณะการประมวลผลที่มีความแม่นยำสูงของฐานหินแกรนิต (โดยมีข้อผิดพลาดด้านความเรียบที่ควบคุมได้ภายใน ±1 ไมครอน) เข้ากันได้อย่างลงตัวกับการควบคุมที่แม่นยำของมอเตอร์เชิงเส้น ทำให้มั่นใจได้ว่าข้อผิดพลาดในการกำหนดตำแหน่งระหว่างการเคลื่อนย้ายเวเฟอร์จะน้อยกว่า ±5 ไมครอน ไม่ว่าจะเป็นการเคลื่อนที่ด้วยความเร็วสูงระหว่างอุปกรณ์ประมวลผลต่างๆ หรือการจอดอย่างแม่นยำสำหรับการส่งมอบเวเฟอร์ การผสมผสานระหว่างมอเตอร์เชิงเส้นและฐานหินแกรนิตสามารถรับประกัน "การเบี่ยงเบนเป็นศูนย์และการสั่นไหวเป็นศูนย์" ในการเคลื่อนย้ายเวเฟอร์ได้
การตรวจสอบความถูกต้องของแนวปฏิบัติในอุตสาหกรรม: การปรับปรุงประสิทธิภาพและอัตราผลผลิตไปพร้อมกัน
หลังจากอัปเกรดระบบลำเลียงเวเฟอร์ บริษัทเซมิคอนดักเตอร์ชั้นนำระดับโลกแห่งหนึ่งได้นำโซลูชันมอเตอร์เชิงเส้น + ฐานหินแกรนิตมาใช้ ซึ่งช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการลำเลียงเวเฟอร์ได้ถึง 40% ลดอัตราการเกิดข้อผิดพลาด เช่น การชนและการเลื่อนตำแหน่งระหว่างกระบวนการลำเลียงได้ถึง 85% และเพิ่มอัตราผลผลิตโดยรวมของชิปได้ 6% เบื้องหลังข้อมูลเหล่านี้คือความเสถียรในการส่งผ่านที่ได้จากฐานหินแกรนิตและผลลัพธ์จากการทำงานร่วมกันที่รวดเร็วและแม่นยำของมอเตอร์เชิงเส้น ซึ่งช่วยลดการสูญเสียและข้อผิดพลาดในกระบวนการลำเลียงเวเฟอร์ได้อย่างมาก
ตั้งแต่คุณสมบัติของวัสดุไปจนถึงการผลิตที่แม่นยำ ตั้งแต่ข้อได้เปรียบด้านประสิทธิภาพไปจนถึงการตรวจสอบเชิงปฏิบัติ การผสมผสานระหว่างมอเตอร์เชิงเส้นและฐานหินแกรนิตได้กำหนดมาตรฐานใหม่ของระบบลำเลียงเวเฟอร์ ในอนาคตเมื่อเทคโนโลยีเซมิคอนดักเตอร์ก้าวหน้าไปสู่กระบวนการ 3 นาโนเมตรและ 2 นาโนเมตร วัสดุหินแกรนิตจะยังคงเป็นแรงผลักดันสำคัญในการพัฒนาอุตสาหกรรมด้วยข้อได้เปรียบที่หาที่เปรียบไม่ได้อย่างแน่นอน