วัสดุหินแกรนิตใช้ในส่วนใดของระบบถ่ายโอนเวเฟอร์?

วัสดุแกรนิตถูกนำมาใช้อย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ เนื่องจากมีคุณสมบัติที่โดดเด่น เช่น ความเสถียรสูง การขยายตัวทางความร้อนต่ำ และความต้านทานการกัดกร่อนสูง คุณสมบัติเหล่านี้ทำให้แกรนิตเป็นวัสดุที่เหมาะสำหรับการสร้างชิ้นส่วนความแม่นยำสูงในระบบถ่ายโอนเวเฟอร์

ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ระบบถ่ายโอนเวเฟอร์มีบทบาทสำคัญในการขนส่งเวเฟอร์ผ่านขั้นตอนต่างๆ ของกระบวนการผลิต ความแม่นยำและความถูกต้องแม่นยำเป็นข้อกำหนดสำคัญของระบบเหล่านี้ เนื่องจากความคลาดเคลื่อนเพียงเล็กน้อยก็อาจเป็นอันตรายต่อกระบวนการทั้งหมดได้ ดังนั้น ส่วนประกอบในระบบถ่ายโอนเวเฟอร์จึงต้องทำจากวัสดุคุณภาพสูง และหินแกรนิตต้องเป็นไปตามเกณฑ์ดังกล่าว

ชิ้นส่วนบางส่วนของระบบถ่ายโอนเวเฟอร์ที่ทำจากวัสดุหินแกรนิต ได้แก่:

1. โต๊ะจับสูญญากาศ

โต๊ะจับยึดแบบสูญญากาศใช้สำหรับยึดเวเฟอร์ระหว่างกระบวนการ และต้องมีพื้นผิวที่มั่นคงเพื่อให้แน่ใจว่าเวเฟอร์จะไม่เสียหาย หินแกรนิตเป็นวัสดุที่เหมาะสมที่สุดสำหรับการผลิตโต๊ะนี้ เนื่องจากมีพื้นผิวเรียบ ไม่มีรูพรุน ให้ความเสถียรและความแม่นยำสูง นอกจากนี้ หินแกรนิตยังมีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ ทำให้ทนทานต่อการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิที่อาจทำให้เกิดการเปลี่ยนแปลงขนาดของเวเฟอร์

2. เวทีรับลม

แท่นรองรับอากาศใช้ในการลำเลียงแผ่นเวเฟอร์ผ่านขั้นตอนต่างๆ ของกระบวนการผลิต แท่นนี้ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมเพื่อให้การเคลื่อนที่ไร้แรงเสียดทาน ซึ่งต้องการความแม่นยำและเสถียรภาพสูง หินแกรนิตถูกนำมาใช้ในงานประเภทนี้เนื่องจากเป็นหินที่มีความแข็งและแข็งแรง ทนทานต่อการเสียรูปและการสึกหรอตามกาลเวลา

3. ตัวนำการเคลื่อนที่เชิงเส้น

รางนำการเคลื่อนที่เชิงเส้นใช้สำหรับนำแท่นรองรับอากาศ และต้องวางตำแหน่งอย่างแม่นยำเพื่อลดความผิดพลาด รางนำนี้ใช้หินแกรนิตเนื่องจากมีเสถียรภาพเชิงกลและความแข็งแรงที่ยอดเยี่ยม วัสดุนี้ยังทนทานต่อการกัดกร่อน ซึ่งช่วยให้ระบบรางนำมีอายุการใช้งานยาวนาน

4. อุปกรณ์มาตรวิทยา

อุปกรณ์มาตรวิทยาใช้ในการวัดขนาดและคุณสมบัติของแผ่นเวเฟอร์ในระหว่างกระบวนการผลิต หินแกรนิตเป็นวัสดุที่เหมาะสำหรับการสร้างอุปกรณ์นี้ เนื่องจากมีความแข็งสูง การขยายตัวต่ำ และการเสียรูปน้อยที่สุดภายใต้แรงกด นอกจากนี้ เสถียรภาพทางความร้อนของหินแกรนิตยังช่วยให้อุปกรณ์มาตรวิทยายังคงมีเสถียรภาพและแม่นยำตลอดเวลา

สรุปได้ว่า อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ต้องอาศัยความแม่นยำและความถูกต้องแม่นยำ และวัสดุหินแกรนิตได้รับการพิสูจน์แล้วว่ามีความน่าเชื่อถือและเสถียรภาพสูงในกระบวนการผลิต เนื่องจากส่วนประกอบสำคัญหลายอย่างในระบบถ่ายโอนเวเฟอร์ต้องการความเสถียรสูง ความแม่นยำ และการขยายตัวทางความร้อนต่ำ วิศวกรจึงหันมาใช้วัสดุหินแกรนิตเพื่อตอบสนองความต้องการที่สำคัญเหล่านี้