ส่วนใดของระบบการถ่ายโอนเวเฟอร์ที่ใช้วัสดุหินแกรนิตใช้?

วัสดุหินแกรนิตถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เนื่องจากลักษณะที่ยอดเยี่ยมเช่นความเสถียรสูงการขยายตัวทางความร้อนต่ำและความต้านทานต่อการกัดกร่อนสูง คุณสมบัติเหล่านี้ทำให้หินแกรนิตเป็นวัสดุที่เหมาะสำหรับการสร้างส่วนประกอบที่มีความแม่นยำสูงในระบบการถ่ายโอนเวเฟอร์

ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ระบบการถ่ายโอนเวเฟอร์มีบทบาทสำคัญในการขนส่งเวเฟอร์ในขั้นตอนต่าง ๆ ของกระบวนการผลิต ความแม่นยำและความแม่นยำเป็นข้อกำหนดที่สำคัญสำหรับระบบเหล่านี้เนื่องจากการเบี่ยงเบนเล็กน้อยอาจเป็นอันตรายต่อกระบวนการทั้งหมด ดังนั้นส่วนประกอบในระบบการถ่ายโอนเวเฟอร์จะต้องทำจากวัสดุคุณภาพสูงและหินแกรนิตตรงตามเกณฑ์เหล่านั้น

บางส่วนของระบบการถ่ายโอนเวเฟอร์ที่ทำจากวัสดุหินแกรนิต ได้แก่ :

1. ตารางชัคสูญญากาศ

ตารางชัคสูญญากาศใช้สำหรับถือเวเฟอร์ในระหว่างกระบวนการและจะต้องมีพื้นผิวที่มั่นคงเพื่อให้แน่ใจว่าเวเฟอร์ไม่เสียหาย หินแกรนิตเป็นวัสดุที่เหมาะสำหรับการทำตารางนี้เพราะมีพื้นผิวแบนและไม่มีรูพรุนที่ให้ความมั่นคงและความแม่นยำสูง นอกจากนี้หินแกรนิตมีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำทำให้ทนต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิที่อาจทำให้เกิดการเปลี่ยนแปลงมิติในเวเฟอร์

2. เวทีแบกอากาศ

ขั้นตอนการแบกอากาศใช้ในการขนส่งเวเฟอร์ผ่านขั้นตอนต่าง ๆ ของกระบวนการผลิต เวทีได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมเพื่อให้การเคลื่อนไหวที่ไม่มีแรงเสียดทานซึ่งต้องใช้ความแม่นยำและความมั่นคงสูง หินแกรนิตใช้ในแอปพลิเคชันนี้เพราะมันเป็นหินแข็งและแข็งและมันต่อต้านการเสียรูปและสึกหรอเมื่อเวลาผ่านไป

3. คู่มือการเคลื่อนไหวเชิงเส้น

คู่มือการเคลื่อนที่เชิงเส้นใช้เพื่อเป็นแนวทางในเวทีแบกอากาศและพวกเขาจะต้องอยู่ในตำแหน่งที่ถูกต้องเพื่อลดข้อผิดพลาด หินแกรนิตใช้ในการสร้างคู่มือนี้เพราะมีความเสถียรและความแข็งแรงเชิงกลที่ยอดเยี่ยม วัสดุยังทนต่อการกัดกร่อนซึ่งทำให้มั่นใจได้ว่าอายุการใช้งานที่ยาวนานของระบบไกด์

4. อุปกรณ์มาตรวิทยา

อุปกรณ์มาตรวิทยาใช้ในการวัดขนาดและคุณสมบัติของเวเฟอร์ในระหว่างกระบวนการผลิต Granite เป็นวัสดุที่เหมาะสำหรับการสร้างอุปกรณ์นี้เพราะมีความแข็งสูงการขยายตัวต่ำและการเสียรูปน้อยที่สุดภายใต้ภาระ ยิ่งไปกว่านั้นความมั่นคงทางความร้อนของ Granite ทำให้มั่นใจได้ว่าอุปกรณ์มาตรวิทยายังคงมีความเสถียรและแม่นยำตลอดเวลา

โดยสรุปอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์อาศัยความแม่นยำและความแม่นยำและวัสดุหินแกรนิตได้พิสูจน์แล้วว่ามีความน่าเชื่อถือและมั่นคงในกระบวนการผลิต ด้วยส่วนประกอบที่สำคัญจำนวนมากในระบบการถ่ายโอนเวเฟอร์ที่ต้องการความเสถียรสูงความแม่นยำและการขยายตัวทางความร้อนต่ำวิศวกรจึงหันไปใช้วัสดุหินแกรนิตเพื่อตอบสนองความต้องการที่สำคัญเหล่านี้