วัสดุหินแกรนิตใช้ในส่วนใดของระบบถ่ายโอนแผ่นเวเฟอร์

วัสดุหินแกรนิตถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เนื่องจากมีคุณสมบัติที่ยอดเยี่ยม เช่น มีความเสถียรสูง การขยายตัวทางความร้อนต่ำ และความต้านทานการกัดกร่อนสูงคุณสมบัติเหล่านี้ทำให้หินแกรนิตเป็นวัสดุที่เหมาะสำหรับการสร้างส่วนประกอบที่มีความแม่นยำสูงในระบบการถ่ายโอนแผ่นเวเฟอร์

ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ระบบถ่ายโอนเวเฟอร์มีบทบาทสำคัญในการขนส่งเวเฟอร์ผ่านขั้นตอนต่างๆ ของกระบวนการผลิตความแม่นยำและความแม่นยำเป็นข้อกำหนดที่จำเป็นสำหรับระบบเหล่านี้ เนื่องจากการเบี่ยงเบนเพียงเล็กน้อยก็อาจเป็นอันตรายต่อกระบวนการทั้งหมดได้ดังนั้นส่วนประกอบในระบบการถ่ายโอนเวเฟอร์จะต้องทำจากวัสดุคุณภาพสูง และหินแกรนิตตรงตามเกณฑ์เหล่านั้น

บางส่วนของระบบการถ่ายโอนแผ่นเวเฟอร์ที่ทำจากวัสดุหินแกรนิต ได้แก่ :

1. โต๊ะหัวจับสุญญากาศ

โต๊ะหัวจับสุญญากาศใช้สำหรับจับเวเฟอร์ในระหว่างกระบวนการ และต้องมีพื้นผิวที่มั่นคงเพื่อให้แน่ใจว่าเวเฟอร์ไม่เสียหายหินแกรนิตเป็นวัสดุที่เหมาะสำหรับทำโต๊ะตัวนี้เนื่องจากมีพื้นผิวเรียบไม่มีรูพรุน ให้ความมั่นคงและความแม่นยำสูงนอกจากนี้ หินแกรนิตยังมีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ ทำให้ทนทานต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิที่อาจทำให้เกิดการเปลี่ยนแปลงมิติในแผ่นเวเฟอร์

2. เวทีลูกปืนอากาศ

ขั้นตอนการแบกอากาศใช้เพื่อขนส่งแผ่นเวเฟอร์ผ่านขั้นตอนต่างๆ ของกระบวนการผลิตเวทีได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมเพื่อให้มีการเคลื่อนไหวที่ไร้แรงเสียดทาน ซึ่งต้องการความแม่นยำและความมั่นคงสูงหินแกรนิตถูกนำมาใช้ในแอปพลิเคชันนี้เนื่องจากเป็นหินแข็งและแข็ง และทนทานต่อการเสียรูปและการสึกหรอเมื่อเวลาผ่านไป

3. คู่มือการเคลื่อนที่เชิงเส้น

เส้นนำการเคลื่อนที่เชิงเส้นใช้เพื่อนำทางระยะลูกปืนอากาศ และต้องอยู่ในตำแหน่งที่แม่นยำเพื่อลดข้อผิดพลาดให้เหลือน้อยที่สุดหินแกรนิตใช้จัดทำคู่มือนี้เนื่องจากมีความเสถียรและความแข็งแรงทางกลที่ดีเยี่ยมวัสดุนี้ยังทนต่อการกัดกร่อนซึ่งช่วยให้ระบบนำทางมีอายุยืนยาว

4. อุปกรณ์มาตรวิทยา

อุปกรณ์มาตรวิทยาใช้ในการวัดขนาดและคุณสมบัติของแผ่นเวเฟอร์ในระหว่างกระบวนการผลิตหินแกรนิตเป็นวัสดุที่เหมาะสำหรับการสร้างอุปกรณ์นี้เนื่องจากมีความแข็งสูง มีการขยายตัวต่ำ และมีการเสียรูปน้อยที่สุดภายใต้ภาระหนักนอกจากนี้ เสถียรภาพทางความร้อนของหินแกรนิตช่วยให้มั่นใจได้ว่าอุปกรณ์มาตรวิทยายังคงมีเสถียรภาพและแม่นยำเมื่อเวลาผ่านไป

โดยสรุป อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์อาศัยความแม่นยำและแม่นยำ และวัสดุหินแกรนิตได้รับการพิสูจน์แล้วว่ามีความน่าเชื่อถือสูงและมีเสถียรภาพในกระบวนการผลิตด้วยส่วนประกอบที่สำคัญมากมายในระบบการถ่ายโอนแผ่นเวเฟอร์ที่ต้องการความเสถียร ความแม่นยำ และการขยายตัวทางความร้อนต่ำ วิศวกรจึงหันมาใช้วัสดุหินแกรนิตเพื่อให้ตรงตามข้อกำหนดที่สำคัญเหล่านี้