วัสดุหินแกรนิตใช้ในส่วนใดของระบบถ่ายโอนเวเฟอร์?

วัสดุแกรนิตถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เนื่องจากมีคุณสมบัติที่โดดเด่น เช่น ความเสถียรสูง การขยายตัวเนื่องจากความร้อนต่ำ และทนต่อการกัดกร่อนได้ดี คุณสมบัติเหล่านี้ทำให้แกรนิตเป็นวัสดุที่เหมาะสำหรับการสร้างส่วนประกอบที่มีความแม่นยำสูงในระบบถ่ายโอนเวเฟอร์

ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ระบบถ่ายโอนเวเฟอร์มีบทบาทสำคัญในการขนส่งเวเฟอร์ผ่านขั้นตอนต่างๆ ของกระบวนการผลิต ความแม่นยำและความถูกต้องเป็นข้อกำหนดที่จำเป็นสำหรับระบบเหล่านี้ เนื่องจากการเบี่ยงเบนเพียงเล็กน้อยอาจส่งผลเสียต่อกระบวนการทั้งหมดได้ ดังนั้น ส่วนประกอบในระบบถ่ายโอนเวเฟอร์จะต้องทำจากวัสดุคุณภาพสูง และหินแกรนิตก็เป็นไปตามเกณฑ์เหล่านั้น

ชิ้นส่วนบางส่วนของระบบถ่ายโอนเวเฟอร์ที่ทำจากวัสดุหินแกรนิต ได้แก่:

1. โต๊ะจับสูญญากาศ

โต๊ะจับสูญญากาศใช้สำหรับยึดเวเฟอร์ระหว่างกระบวนการ และต้องมีพื้นผิวที่มั่นคงเพื่อให้แน่ใจว่าเวเฟอร์จะไม่เสียหาย หินแกรนิตเป็นวัสดุที่เหมาะสำหรับการทำโต๊ะนี้ เนื่องจากมีพื้นผิวเรียบ ไม่มีรูพรุน ซึ่งให้ความเสถียรและความแม่นยำสูง นอกจากนี้ หินแกรนิตยังมีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อนต่ำ ทำให้ทนทานต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิซึ่งอาจทำให้ขนาดของเวเฟอร์เปลี่ยนแปลงไป

2. เวทีแบริ่งอากาศ

แท่นรับลมใช้ในการขนส่งเวเฟอร์ผ่านขั้นตอนต่างๆ ของกระบวนการผลิต แท่นนี้ได้รับการออกแบบมาให้เคลื่อนไหวได้โดยไม่มีแรงเสียดทาน ซึ่งต้องใช้ความแม่นยำและเสถียรภาพสูง หินแกรนิตถูกนำมาใช้ในงานนี้เนื่องจากเป็นหินที่มีความแข็งและแข็งมาก จึงทนทานต่อการเสียรูปและการสึกหรอตามกาลเวลา

3. ตัวนำการเคลื่อนที่เชิงเส้น

ตัวนำการเคลื่อนที่เชิงเส้นใช้เพื่อนำทางแท่นรับลม และต้องวางตำแหน่งอย่างแม่นยำเพื่อลดข้อผิดพลาดให้เหลือน้อยที่สุด หินแกรนิตใช้ในการสร้างตัวนำนี้เนื่องจากมีเสถียรภาพเชิงกลและความแข็งแรงที่ยอดเยี่ยม วัสดุนี้ยังทนต่อการกัดกร่อน ซึ่งช่วยให้ระบบตัวนำมีอายุการใช้งานยาวนาน

4. อุปกรณ์มาตรวิทยา

อุปกรณ์วัดใช้ในการวัดขนาดและคุณสมบัติของเวเฟอร์ระหว่างกระบวนการผลิต หินแกรนิตเป็นวัสดุที่เหมาะสำหรับการสร้างอุปกรณ์นี้เนื่องจากมีความแข็งสูง ขยายตัวน้อย และเสียรูปน้อยที่สุดภายใต้แรงกด นอกจากนี้ เสถียรภาพทางความร้อนของหินแกรนิตยังช่วยให้มั่นใจได้ว่าอุปกรณ์วัดจะคงความเสถียรและแม่นยำตลอดเวลา

สรุปได้ว่าอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ต้องอาศัยความแม่นยำและความถูกต้อง และวัสดุแกรนิตได้รับการพิสูจน์แล้วว่ามีความน่าเชื่อถือและมีเสถียรภาพสูงในกระบวนการผลิต เนื่องจากส่วนประกอบที่สำคัญจำนวนมากในระบบถ่ายโอนเวเฟอร์ต้องการความเสถียรสูง ความแม่นยำ และการขยายตัวเนื่องจากความร้อนต่ำ วิศวกรจึงหันมาใช้แกรนิตเพื่อตอบสนองความต้องการที่สำคัญเหล่านี้