ในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์และออปโตอิเล็กทรอนิกส์ หินแกรนิตส่วนใหญ่ถูกนำมาใช้ในชิ้นส่วนสำคัญๆ เช่น แพลตฟอร์มการเคลื่อนที่ที่มีความแม่นยำ ฐานรางนำ โครงสร้างรองรับการแยกการสั่นสะเทือน และแผ่นรองรับการติดตั้งส่วนประกอบออปติคัล ชิ้นส่วนเหล่านี้มีข้อกำหนดด้านความแม่นยำ ความเสถียร และความทนทานต่อสภาพแวดล้อมที่สูงมาก คุณสมบัติของหินแกรนิตสามารถตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และออปโตอิเล็กทรอนิกส์ได้อย่างแม่นยำ ต่อไปนี้คือการวิเคราะห์สถานการณ์การใช้งานและข้อดีเฉพาะ:
I. ส่วนการใช้งานหลัก
แพลตฟอร์มการเคลื่อนที่ที่แม่นยำ (เช่น แพลตฟอร์มเวเฟอร์สำหรับเครื่องโฟโตลิโทกราฟีและเครื่องพันธะ)
ใช้ในการขนส่งส่วนประกอบที่มีความแม่นยำ เช่น เวเฟอร์และเลนส์ออปติก ทำให้เกิดการเคลื่อนที่แบบแปลและหมุนด้วยความแม่นยำในระดับนาโน
อุปกรณ์ทั่วไป: โต๊ะชิ้นงานของเครื่องโฟโตลิโธกราฟี, แพลตฟอร์มวางตำแหน่งของอุปกรณ์วัด
ฐานรางนำทางและโครงสร้างเฟรม
เนื่องจากเป็นฐานติดตั้งสำหรับไกด์เชิงเส้นและไกด์ลอยตัวด้วยอากาศ จึงช่วยรองรับกลไกการเคลื่อนที่แกนกลางของอุปกรณ์
อุปกรณ์ทั่วไป: โครงเครื่องกลของอุปกรณ์บรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์และเครื่องมือตรวจสอบด้วยแสง
โครงสร้างรองรับการแยกการสั่นสะเทือนและการรักษาเสถียรภาพ
ใช้เพื่อแยกแรงสั่นสะเทือนจากภายนอก (เช่น แรงสั่นสะเทือนจากพื้นโรงงานหรือระหว่างการทำงานของอุปกรณ์) เพื่อให้มั่นใจถึงความเสถียรของระบบออปติกหรือเครื่องจักรที่มีความแม่นยำ
สถานการณ์ทั่วไป: รองรับฐานสำหรับกล้องจุลทรรศน์แบบออปติคัลและอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์แบบเลเซอร์
วัสดุรองรับการติดตั้งส่วนประกอบออปติคอล
แก้ไขอุปกรณ์ออปติก เช่น กระจก ปริซึม และเลเซอร์ เพื่อให้มั่นใจถึงความเสถียรในระยะยาวของความแม่นยำในการจัดตำแหน่งของระบบเส้นทางแสง
อุปกรณ์ทั่วไป: อุปกรณ์บรรจุภัณฑ์ออปโตอิเล็กทรอนิกส์ ระบบการเชื่อมต่อใยแก้วนำแสง
เวลาโพสต์: 29 พฤษภาคม 2568