ในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์และออปโตอิเล็กทรอนิกส์ ซึ่งใช้หินแกรนิตเป็นหลัก

ในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์และออปโตอิเล็กทรอนิกส์ หินแกรนิตส่วนใหญ่ใช้ในชิ้นส่วนสำคัญ เช่น แพลตฟอร์มการเคลื่อนที่ที่มีความแม่นยำ ฐานรางนำทาง โครงสร้างรองรับการแยกการสั่นสะเทือน และพื้นผิวการติดตั้งส่วนประกอบออปติก ชิ้นส่วนเหล่านี้มีข้อกำหนดที่สูงมากสำหรับความแม่นยำ ความเสถียร และความทนทานต่อสิ่งแวดล้อม คุณลักษณะของหินแกรนิตสามารถตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และออปโตอิเล็กทรอนิกส์ได้อย่างแม่นยำ ต่อไปนี้คือการวิเคราะห์สถานการณ์การใช้งานเฉพาะและข้อดี:
I. ส่วนการใช้งานหลัก
แพลตฟอร์มการเคลื่อนที่ที่แม่นยำ (เช่น แพลตฟอร์มเวเฟอร์สำหรับเครื่องโฟโตลิโทกราฟีและเครื่องพันธะ)
ใช้ในการขนส่งชิ้นส่วนที่มีความแม่นยำ เช่น เวเฟอร์และเลนส์ออปติก โดยทำให้เกิดการเคลื่อนที่แบบแปลนและหมุนด้วยความแม่นยำในระดับนาโน
อุปกรณ์ทั่วไป: โต๊ะวางชิ้นงานของเครื่องพิมพ์หินโฟโตลิโธกราฟี, แพลตฟอร์มวางตำแหน่งของเครื่องมือวัด
ฐานรางนำทางและโครงสร้างเฟรม
เนื่องจากเป็นฐานติดตั้งสำหรับไกด์เชิงเส้นและไกด์ลอยตัวด้วยอากาศ จึงช่วยรองรับกลไกการเคลื่อนที่แกนกลางของอุปกรณ์
อุปกรณ์ทั่วไป: เฟรมเครื่องกลของอุปกรณ์บรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์ และเครื่องมือตรวจสอบด้วยแสง
โครงสร้างรองรับการแยกการสั่นสะเทือนและการรักษาเสถียรภาพ
ใช้เพื่อแยกแรงสั่นสะเทือนจากภายนอก (เช่น แรงสั่นสะเทือนจากพื้นโรงงานหรือระหว่างการทำงานของอุปกรณ์) เพื่อให้แน่ใจถึงเสถียรภาพของระบบออปติกหรือเครื่องจักรที่มีความแม่นยำ
สถานการณ์ทั่วไป: ฐานรองรับสำหรับกล้องจุลทรรศน์แบบออปติคอลและอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์แบบเลเซอร์
วัสดุรองรับการติดตั้งส่วนประกอบออปติก
แก้ไขอุปกรณ์ออปติก เช่น กระจก ปริซึม และเลเซอร์ เพื่อให้มั่นใจถึงความเสถียรในระยะยาวของความแม่นยำในการจัดตำแหน่งของระบบเส้นทางแสง
อุปกรณ์ทั่วไป: อุปกรณ์บรรจุภัณฑ์ออปโตอิเล็กทรอนิกส์ ระบบการเชื่อมต่อใยแก้วนำแสง