จะใช้ส่วนประกอบหินแกรนิตสำหรับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ได้อย่างไร?

หินแกรนิตเป็นวัสดุที่แข็งและทนทานซึ่งมักใช้ในอุตสาหกรรมก่อสร้าง อย่างไรก็ตาม หินแกรนิตยังมีคุณสมบัติที่เป็นประโยชน์ต่อการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในการผลิตและการประมวลผลวงจรรวม ส่วนประกอบของหินแกรนิต เช่น โต๊ะหินแกรนิตและบล็อกหินแกรนิต ได้รับความนิยมใช้กันอย่างแพร่หลายเนื่องจากมีเสถียรภาพ ความเรียบ และค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ

หนึ่งในการใช้งานหลักของส่วนประกอบหินแกรนิตในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์คือในกระบวนการผลิต แผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน ซึ่งเป็นส่วนประกอบพื้นฐานของวงจรรวม จำเป็นต้องผลิตด้วยความแม่นยำและความแม่นยำสูง การบิดเบี้ยวหรือการเคลื่อนที่ใดๆ ในระหว่างกระบวนการอาจนำไปสู่ข้อบกพร่องที่อาจส่งผลกระทบต่อคุณภาพและการทำงานของวงจรรวม โต๊ะหินแกรนิตมีความมั่นคงและความเรียบสูง จึงเหมาะอย่างยิ่งสำหรับใช้เป็นฐานรองรับอุปกรณ์แปรรูปแผ่นเวเฟอร์ นอกจากนี้ยังทนทานต่อการขยายตัวและหดตัวเนื่องจากความร้อนที่เกิดจากความร้อนและความเย็นในกระบวนการ

บล็อกหินแกรนิตยังถูกนำมาใช้ในกระบวนการแปรรูปสารกึ่งตัวนำเพื่อความเสถียรทางความร้อน ในกระบวนการกัดหรือการสะสม จะใช้ก๊าซร้อนหรือพลาสมาเพื่อปรับเปลี่ยนพื้นผิวของเวเฟอร์ซิลิคอน จำเป็นต้องควบคุมอุณหภูมิของเวเฟอร์เพื่อให้มั่นใจว่ากระบวนการนี้ดำเนินไปอย่างมีประสิทธิภาพและแม่นยำ บล็อกหินแกรนิตมีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ จึงช่วยรักษาอุณหภูมิของเวเฟอร์ให้คงที่ ลดความเสี่ยงจากความผันผวนของอุณหภูมิที่อาจส่งผลต่อคุณภาพของวัสดุที่แปรรูป

นอกเหนือจากกระบวนการผลิตและแปรรูปแล้ว ส่วนประกอบหินแกรนิตยังถูกนำมาใช้ในขั้นตอนการวัดและการตรวจสอบของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์อีกด้วย การวัดทางมาตรวิทยาทำขึ้นเพื่อให้แน่ใจว่าขนาด รูปร่าง และตำแหน่งของโครงสร้างบนแผ่นเวเฟอร์เป็นไปตามข้อกำหนดที่กำหนด หินแกรนิตถูกนำมาใช้เป็นมาตรฐานอ้างอิงในการวัดเหล่านี้เนื่องจากมีเสถียรภาพเชิงมิติและความแม่นยำ นอกจากนี้ยังใช้ในขั้นตอนการตรวจสอบ ซึ่งจะมีการตรวจสอบคุณภาพของวงจรรวมภายใต้กำลังขยายสูง

โดยรวมแล้ว การใช้ส่วนประกอบหินแกรนิตในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เพิ่มขึ้นในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมา ความต้องการความแม่นยำ ความแม่นยำ และความเสถียรสูงในการผลิตและการประมวลผลวงจรรวมเป็นแรงผลักดันให้ผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์หันมาใช้วัสดุเหล่านี้ คุณสมบัติเฉพาะของหินแกรนิต เช่น ความแข็ง ความเสถียร และค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ ทำให้เป็นตัวเลือกที่ยอดเยี่ยมสำหรับการใช้ในกระบวนการเหล่านี้ ด้วยการพัฒนาและปรับปรุงอย่างต่อเนื่องของเทคโนโลยีเซมิคอนดักเตอร์ คาดว่าการใช้ส่วนประกอบหินแกรนิตจะเติบโตต่อไปในอนาคต