วิธีการใช้ส่วนประกอบหินแกรนิตในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์?

หินแกรนิตเป็นวัสดุที่แข็งและทนทาน มักใช้ในอุตสาหกรรมการก่อสร้าง อย่างไรก็ตาม มันยังมีคุณสมบัติที่ทำให้มีประโยชน์ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในการผลิตและการประมวลผลวงจรรวม หินแกรนิตและชิ้นส่วนต่างๆ เช่น โต๊ะหินแกรนิตและบล็อกหินแกรนิต ถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายเนื่องจากความคงตัว ความเรียบ และค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ

หนึ่งในประโยชน์หลักของการใช้หินแกรนิตในอุตสาหกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์คือในกระบวนการผลิต แผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน ซึ่งเป็นส่วนประกอบพื้นฐานของวงจรรวม จำเป็นต้องได้รับการผลิตด้วยความแม่นยำสูง การบิดเบี้ยวหรือการเคลื่อนไหวใดๆ ในระหว่างกระบวนการอาจนำไปสู่ข้อบกพร่องที่อาจส่งผลต่อคุณภาพและการทำงานของวงจรรวม โต๊ะหินแกรนิตที่มีความเสถียรและความเรียบสูง จึงเป็นฐานที่ดีสำหรับอุปกรณ์แปรรูปเวเฟอร์ นอกจากนี้ยังทนต่อการขยายตัวและการหดตัวจากความร้อนที่เกิดจากการให้ความร้อนและความเย็นที่จำเป็นในกระบวนการอีกด้วย

บล็อกหินแกรนิตยังใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เนื่องจากมีเสถียรภาพทางความร้อนสูง ในระหว่างกระบวนการกัดหรือการตกตะกอน จะใช้ก๊าซร้อนหรือพลาสมาเพื่อปรับเปลี่ยนพื้นผิวของแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน อุณหภูมิของเวเฟอร์จำเป็นต้องได้รับการควบคุมเพื่อให้มั่นใจว่ากระบวนการดำเนินไปอย่างมีประสิทธิภาพและแม่นยำ บล็อกหินแกรนิตที่มีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ ช่วยรักษาเสถียรภาพของอุณหภูมิของเวเฟอร์ ลดความเสี่ยงของการผันผวนของอุณหภูมิที่อาจส่งผลต่อคุณภาพของวัสดุที่ผ่านกระบวนการ

นอกเหนือจากกระบวนการผลิตและการแปรรูปแล้ว ชิ้นส่วนหินแกรนิตยังถูกนำไปใช้ในขั้นตอนการวัดและการตรวจสอบในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์อีกด้วย การวัดทางมาตรวิทยาทำขึ้นเพื่อให้แน่ใจว่าขนาด รูปร่าง และตำแหน่งของโครงสร้างบนเวเฟอร์เป็นไปตามข้อกำหนดที่ต้องการ บล็อกหินแกรนิตถูกใช้เป็นมาตรฐานอ้างอิงในการวัดเหล่านี้เนื่องจากมีความเสถียรของมิติและความแม่นยำ นอกจากนี้ยังใช้ในขั้นตอนการตรวจสอบ ซึ่งจะตรวจสอบคุณภาพของวงจรรวมภายใต้กำลังขยายสูง

โดยรวมแล้ว การใช้ชิ้นส่วนหินแกรนิตในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เพิ่มขึ้นในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมา ความต้องการความแม่นยำสูง ความถูกต้อง และความเสถียรในการผลิตและการประมวลผลวงจรรวมได้ผลักดันให้ผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์นำวัสดุเหล่านี้มาใช้ คุณสมบัติเฉพาะของหินแกรนิต เช่น ความแข็ง ความเสถียร และค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ ทำให้เป็นตัวเลือกที่ยอดเยี่ยมสำหรับการใช้งานในกระบวนการเหล่านี้ ด้วยการพัฒนาและปรับปรุงเทคโนโลยีเซมิคอนดักเตอร์อย่างต่อเนื่อง คาดว่าการใช้ชิ้นส่วนหินแกรนิตจะเติบโตขึ้นอีกในอนาคต