วิธีใช้ส่วนประกอบหินแกรนิตสำหรับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

หินแกรนิตเป็นวัสดุที่แข็งและทนทานซึ่งมักใช้ในอุตสาหกรรมการก่อสร้าง อย่างไรก็ตามมันยังมีคุณสมบัติที่ทำให้มีประโยชน์ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์โดยเฉพาะอย่างยิ่งในการผลิตและการประมวลผลของวงจรรวม ส่วนประกอบของหินแกรนิตเช่นตารางหินแกรนิตและบล็อกหินแกรนิตใช้กันอย่างแพร่หลายเพื่อความมั่นคงความเรียบและค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ

หนึ่งในการใช้งานหลักของส่วนประกอบหินแกรนิตในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์อยู่ในกระบวนการผลิต Silicon Wafers ซึ่งเป็นหน่วยการสร้างพื้นฐานของวงจรรวมจำเป็นต้องได้รับการประดิษฐ์ด้วยความแม่นยำและความแม่นยำสูง การบิดเบือนหรือการเคลื่อนไหวใด ๆ ในระหว่างกระบวนการสามารถนำไปสู่ข้อบกพร่องที่อาจส่งผลกระทบต่อคุณภาพและการทำงานของวงจรรวม โต๊ะหินแกรนิตที่มีความมั่นคงและความเรียบสูงเป็นแพลตฟอร์มที่ดีสำหรับอุปกรณ์ประมวลผลเวเฟอร์ พวกเขายังทนต่อการขยายตัวทางความร้อนและการหดตัวที่เกิดจากความร้อนและความเย็นที่จำเป็นในกระบวนการ

บล็อกหินแกรนิตยังใช้ในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์เพื่อความเสถียรทางความร้อน ในระหว่างกระบวนการแกะสลักหรือการทับถมจะใช้ก๊าซร้อนหรือพลาสม่าเพื่อปรับเปลี่ยนพื้นผิวของเวเฟอร์ซิลิคอน อุณหภูมิของเวเฟอร์จะต้องมีการควบคุมเพื่อให้แน่ใจว่ากระบวนการดำเนินการอย่างมีประสิทธิภาพและแม่นยำ บล็อกหินแกรนิตที่มีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำช่วยในการรักษาอุณหภูมิของเวเฟอร์ให้มีเสถียรภาพลดความเสี่ยงของความผันผวนของอุณหภูมิที่อาจส่งผลกระทบต่อคุณภาพของวัสดุที่ประมวลผล

นอกเหนือจากกระบวนการผลิตและการประมวลผลส่วนประกอบหินแกรนิตยังใช้ในการวัดและขั้นตอนการตรวจสอบของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การวัดทางมาตรการวัดจะทำเพื่อให้แน่ใจว่าขนาดรูปร่างและตำแหน่งของโครงสร้างบนเวเฟอร์นั้นอยู่ในข้อกำหนดที่ต้องการ บล็อกหินแกรนิตใช้เป็นมาตรฐานอ้างอิงในการวัดเหล่านี้เนื่องจากความเสถียรและความแม่นยำของมิติ พวกเขายังใช้ในขั้นตอนการตรวจสอบซึ่งคุณภาพของวงจรรวมถูกตรวจสอบภายใต้การขยายสูง

โดยรวมแล้วการใช้ส่วนประกอบหินแกรนิตในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เพิ่มขึ้นในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมา ความต้องการความแม่นยำสูงความแม่นยำและความมั่นคงในการผลิตและการประมวลผลของวงจรรวมได้ผลักดันการใช้วัสดุเหล่านี้โดยผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์ คุณสมบัติที่เป็นเอกลักษณ์ของหินแกรนิตเช่นความแข็งความเสถียรและค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำทำให้เป็นตัวเลือกที่ยอดเยี่ยมสำหรับการใช้งานในกระบวนการเหล่านี้ ด้วยการพัฒนาอย่างต่อเนื่องและการปรับปรุงเทคโนโลยีเซมิคอนดักเตอร์การใช้ส่วนประกอบหินแกรนิตคาดว่าจะเติบโตต่อไปในอนาคต