จะใช้ส่วนประกอบหินแกรนิตสำหรับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ได้อย่างไร

หินแกรนิตเป็นวัสดุที่แข็งและทนทานซึ่งมักใช้ในอุตสาหกรรมก่อสร้างอย่างไรก็ตาม ยังมีคุณสมบัติที่ทำให้มีประโยชน์ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในการผลิตและการประมวลผลวงจรรวมส่วนประกอบหินแกรนิต เช่น โต๊ะหินแกรนิตและบล็อกหินแกรนิต ถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในด้านความมั่นคง ความเรียบ และค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ

การใช้ส่วนประกอบหินแกรนิตหลักประการหนึ่งในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์คือในกระบวนการผลิตเวเฟอร์ซิลิคอนซึ่งเป็นส่วนประกอบพื้นฐานของวงจรรวม จำเป็นต้องประดิษฐ์ขึ้นด้วยความแม่นยำและเที่ยงตรงสูงการบิดเบือนหรือการเคลื่อนไหวใดๆ ในระหว่างกระบวนการอาจทำให้เกิดข้อบกพร่องที่อาจส่งผลต่อคุณภาพและการทำงานของวงจรรวมโต๊ะหินแกรนิตที่มีความเสถียรและความเรียบสูง เป็นฐานที่ดีสำหรับอุปกรณ์การประมวลผลเวเฟอร์พวกเขายังทนต่อการขยายตัวและการหดตัวเนื่องจากความร้อนที่เกิดจากความร้อนและความเย็นที่จำเป็นในกระบวนการ

บล็อกหินแกรนิตยังใช้ในกระบวนการแปรรูปเซมิคอนดักเตอร์เพื่อความคงตัวทางความร้อนในระหว่างกระบวนการกัดหรือการสะสม ก๊าซร้อนหรือพลาสมาจะถูกนำมาใช้เพื่อปรับเปลี่ยนพื้นผิวของแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนต้องควบคุมอุณหภูมิของแผ่นเวเฟอร์เพื่อให้แน่ใจว่ากระบวนการดำเนินไปอย่างมีประสิทธิภาพและแม่นยำบล็อกหินแกรนิตที่มีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ ช่วยรักษาอุณหภูมิของแผ่นเวเฟอร์ให้คงที่ ซึ่งลดความเสี่ยงจากความผันผวนของอุณหภูมิที่อาจส่งผลต่อคุณภาพของวัสดุที่ผ่านกระบวนการ

นอกเหนือจากกระบวนการผลิตและการประมวลผลแล้ว ส่วนประกอบหินแกรนิตยังใช้ในขั้นตอนมาตรวิทยาและการตรวจสอบของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์อีกด้วยการวัดมาตรวิทยามีขึ้นเพื่อให้แน่ใจว่าขนาด รูปร่าง และตำแหน่งของโครงสร้างบนแผ่นเวเฟอร์อยู่ภายในข้อกำหนดจำเพาะที่กำหนดบล็อกหินแกรนิตถูกใช้เป็นมาตรฐานอ้างอิงในการวัดเหล่านี้ เนื่องจากมีความเสถียรและความแม่นยำของขนาดนอกจากนี้ยังใช้ในขั้นตอนการตรวจสอบ โดยมีการตรวจสอบคุณภาพของวงจรรวมภายใต้กำลังขยายสูง

โดยรวมแล้ว การใช้ส่วนประกอบหินแกรนิตในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ได้เพิ่มขึ้นในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมาความต้องการความแม่นยำ ความแม่นยำ และความเสถียรสูงในการผลิตและการประมวลผลวงจรรวมได้ผลักดันให้เกิดการนำวัสดุเหล่านี้มาใช้โดยผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์คุณสมบัติเฉพาะตัวของหินแกรนิต เช่น ความแข็ง ความเสถียร และค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ ทำให้เป็นตัวเลือกที่ดีเยี่ยมสำหรับใช้ในกระบวนการเหล่านี้ด้วยการพัฒนาและปรับปรุงเทคโนโลยีเซมิคอนดักเตอร์อย่างต่อเนื่อง การใช้ส่วนประกอบหินแกรนิตคาดว่าจะเติบโตต่อไปในอนาคต