จะตรวจสอบความแม่นยำของแพลตฟอร์มหินแกรนิตที่มีความแม่นยำได้อย่างไร ให้แน่ใจว่าความแม่นยำเป็นมาตรฐานหรือไม่

ในสาขาต่างๆ เช่น การผลิตเซมิคอนดักเตอร์และเครื่องมือวัดความแม่นยำ ความแม่นยำของแพลตฟอร์มหินแกรนิตที่มีความแม่นยำจะกำหนดคุณภาพการทำงานของอุปกรณ์โดยตรง เพื่อให้แน่ใจว่าความแม่นยำของแพลตฟอร์มเป็นไปตามมาตรฐาน ควรดำเนินการในสองด้าน ได้แก่ การตรวจจับตัวบ่งชี้หลักและการปฏิบัติตามบรรทัดฐานมาตรฐาน

การตรวจจับตัวบ่งชี้หลัก: การควบคุมความแม่นยำหลายมิติ
การตรวจจับความเรียบ: การกำหนด "ความเรียบ" ของระนาบอ้างอิง
ความเรียบเป็นตัวบ่งชี้หลักของแพลตฟอร์มหินแกรนิตที่มีความแม่นยำ และโดยปกติจะวัดด้วยเครื่องวัดระดับเลเซอร์หรือเครื่องวัดระดับอิเล็กทรอนิกส์ เครื่องวัดระดับเลเซอร์สามารถวัดความเรียบเล็กๆ บนพื้นผิวแพลตฟอร์มได้อย่างแม่นยำด้วยการปล่อยลำแสงเลเซอร์และใช้หลักการของการรบกวนของแสง โดยมีความแม่นยำถึงระดับย่อยไมครอน เครื่องวัดระดับอิเล็กทรอนิกส์วัดโดยการเคลื่อนที่หลายครั้งและวาดแผนที่เส้นชั้นความสูงสามมิติของพื้นผิวแพลตฟอร์มเพื่อตรวจจับว่ามีส่วนยื่นหรือรอยบุ๋มในบริเวณใดหรือไม่ ตัวอย่างเช่น แพลตฟอร์มหินแกรนิตที่ใช้ในเครื่องโฟโตลิโทกราฟีเซมิคอนดักเตอร์จำเป็นต้องมีความเรียบ ±0.5μm/m ซึ่งหมายความว่าความแตกต่างของความสูงภายในความยาว 1 เมตรไม่ควรเกินครึ่งไมโครเมตร จะต้องมีอุปกรณ์ตรวจจับที่มีความแม่นยำสูงเท่านั้นจึงจะรับรองมาตรฐานที่เข้มงวดนี้ได้
2. การตรวจจับความตรง: รับรอง "ความตรง" ของการเคลื่อนที่เชิงเส้น
สำหรับแพลตฟอร์มที่บรรทุกชิ้นส่วนเคลื่อนไหวที่มีความแม่นยำ ความตรงถือเป็นสิ่งสำคัญอย่างยิ่ง วิธีการทั่วไปสำหรับการตรวจจับ ได้แก่ วิธีการใช้ลวดหรือเลเซอร์คอลลิเมเตอร์ วิธีการใช้ลวดเกี่ยวข้องกับการแขวนลวดเหล็กที่มีความแม่นยำสูงและเปรียบเทียบช่องว่างระหว่างพื้นผิวของแพลตฟอร์มและลวดเหล็กเพื่อกำหนดความตรง เลเซอร์คอลลิเมเตอร์ใช้ลักษณะการแพร่กระจายเชิงเส้นของเลเซอร์เพื่อตรวจจับข้อผิดพลาดเชิงเส้นของพื้นผิวการติดตั้งของรางนำทางของแพลตฟอร์ม หากความตรงไม่เป็นไปตามมาตรฐาน จะทำให้อุปกรณ์เคลื่อนที่ในระหว่างการเคลื่อนที่ ซึ่งส่งผลต่อความแม่นยำในการประมวลผลหรือการวัด
3. การตรวจจับความหยาบของพื้นผิว: รับรอง "ความละเอียด" ของการสัมผัส
ความหยาบของพื้นผิวของแพลตฟอร์มส่งผลต่อความพอดีของการติดตั้งส่วนประกอบ โดยทั่วไปจะใช้เครื่องวัดความหยาบของเข็มหรือกล้องจุลทรรศน์แบบออปติคัลในการตรวจจับ เครื่องมือแบบเข็มจะบันทึกการเปลี่ยนแปลงความสูงของโปรไฟล์จุลภาคโดยการสัมผัสพื้นผิวของแพลตฟอร์มด้วยหัววัดแบบละเอียด กล้องจุลทรรศน์แบบออปติคัลสามารถสังเกตพื้นผิวได้โดยตรง ในการใช้งานที่มีความแม่นยำสูง ความหยาบของพื้นผิวของแพลตฟอร์มแกรนิตจะต้องได้รับการควบคุมที่ Ra≤0.05μm ซึ่งเทียบเท่ากับเอฟเฟกต์คล้ายกระจก ช่วยให้มั่นใจได้ว่าส่วนประกอบที่มีความแม่นยำจะพอดีกันอย่างแน่นหนาในระหว่างการติดตั้งและหลีกเลี่ยงการสั่นสะเทือนหรือการเคลื่อนตัวที่เกิดจากช่องว่าง
มาตรฐานความแม่นยำดังต่อไปนี้: บรรทัดฐานสากลและการควบคุมภายในขององค์กร
ปัจจุบัน มาตรฐาน ISO 25178 และ GB/T 24632 มักใช้เป็นพื้นฐานในการกำหนดความแม่นยำของแท่นหินแกรนิตในระดับสากล และมีการจำแนกประเภทตัวบ่งชี้ เช่น ความเรียบและความตรงอย่างชัดเจน นอกจากนี้ บริษัทผู้ผลิตระดับสูงมักกำหนดมาตรฐานการควบคุมภายในที่เข้มงวดยิ่งขึ้น ตัวอย่างเช่น ข้อกำหนดด้านความเรียบของแท่นหินแกรนิตของเครื่องโฟโตลิโทกราฟีนั้นสูงกว่ามาตรฐานสากล 30% เมื่อทำการทดสอบ ควรเปรียบเทียบข้อมูลที่วัดได้กับมาตรฐานที่เกี่ยวข้อง แท่นหินแกรนิตที่ปฏิบัติตามมาตรฐานอย่างสมบูรณ์เท่านั้นจึงจะรับประกันประสิทธิภาพที่เสถียรในอุปกรณ์ที่มีความแม่นยำได้
การตรวจสอบความแม่นยำของแพลตฟอร์มหินแกรนิตที่มีความแม่นยำเป็นโครงการที่เป็นระบบ โดยการทดสอบตัวบ่งชี้แกนกลาง เช่น ความเรียบ ความตรง และความหยาบของพื้นผิวอย่างเคร่งครัด และปฏิบัติตามมาตรฐานสากลและมาตรฐานขององค์กรเท่านั้น จึงจะรับประกันความแม่นยำสูงและความน่าเชื่อถือของแพลตฟอร์มได้ ซึ่งจะช่วยวางรากฐานที่มั่นคงให้กับสาขาการผลิตระดับสูง เช่น เซมิคอนดักเตอร์และเครื่องมือที่มีความแม่นยำ