จะตรวจสอบความแม่นยำของแพลตฟอร์มหินแกรนิตที่มีความแม่นยำสูงได้อย่างไร? รับรองว่าความแม่นยำเป็นไปตามมาตรฐานหรือไม่?

ในสาขาต่างๆ เช่น การผลิตเซมิคอนดักเตอร์และเครื่องมือวัดความแม่นยำ ความแม่นยำของแพลตฟอร์มหินแกรนิตความแม่นยำสูงเป็นตัวกำหนดคุณภาพการทำงานของอุปกรณ์โดยตรง เพื่อให้มั่นใจว่าความแม่นยำของแพลตฟอร์มเป็นไปตามมาตรฐาน ควรดำเนินการในสองประเด็น ได้แก่ การตรวจสอบตัวบ่งชี้สำคัญและการปฏิบัติตามมาตรฐาน

การตรวจจับตัวบ่งชี้หลัก: การควบคุมความแม่นยำแบบหลายมิติ
การตรวจจับความเรียบ: การกำหนด "ความเรียบ" ของระนาบอ้างอิง
ความเรียบเป็นตัวชี้วัดหลักของแท่นหินแกรนิตที่มีความแม่นยำสูง และมักวัดด้วยเลเซอร์อินเตอร์เฟอโรมิเตอร์หรือเครื่องวัดระดับอิเล็กทรอนิกส์ เลเซอร์อินเตอร์เฟอโรมิเตอร์สามารถวัดความโค้งของคลื่นบนพื้นผิวแท่นได้อย่างแม่นยำโดยการปล่อยลำแสงเลเซอร์และใช้หลักการรบกวนของแสง โดยมีความแม่นยำถึงระดับซับไมครอน เครื่องวัดระดับอิเล็กทรอนิกส์วัดโดยการเคลื่อนหลายรอบและวาดแผนที่เส้นชั้นความสูงสามมิติของพื้นผิวแท่นเพื่อตรวจจับว่ามีส่วนที่ยื่นออกมาหรือรอยบุ๋มหรือไม่ ตัวอย่างเช่น แท่นหินแกรนิตที่ใช้ในเครื่องโฟโตลิโทกราฟีแบบเซมิคอนดักเตอร์จำเป็นต้องมีความเรียบ ±0.5 ไมโครเมตร/เมตร ซึ่งหมายความว่าความแตกต่างของความสูงภายในระยะ 1 เมตรไม่ควรเกินครึ่งไมโครเมตร มีเพียงอุปกรณ์ตรวจจับที่มีความแม่นยำสูงเท่านั้นที่สามารถรับประกันมาตรฐานที่เข้มงวดนี้ได้
2. การตรวจจับความตรง: รับรอง "ความตรง" ของการเคลื่อนที่เชิงเส้น
สำหรับแพลตฟอร์มที่มีชิ้นส่วนเคลื่อนไหวที่แม่นยำ ความตรงมีความสำคัญอย่างยิ่งยวด วิธีการตรวจจับที่นิยมใช้กันคือวิธีลวดหรือเลเซอร์คอลลิเมเตอร์ วิธีลวดเกี่ยวข้องกับการแขวนลวดเหล็กความแม่นยำสูงและการเปรียบเทียบช่องว่างระหว่างพื้นผิวของแพลตฟอร์มและลวดเหล็กเพื่อประเมินความตรง เลเซอร์คอลลิเมเตอร์ใช้คุณสมบัติการแพร่กระจายเชิงเส้นของเลเซอร์เพื่อตรวจจับความคลาดเคลื่อนเชิงเส้นของพื้นผิวการติดตั้งรางนำของแพลตฟอร์ม หากความตรงไม่เป็นไปตามมาตรฐาน จะทำให้อุปกรณ์เคลื่อนที่เคลื่อนตัว ซึ่งจะส่งผลต่อความแม่นยำในการประมวลผลหรือการวัด
3. การตรวจจับความหยาบของพื้นผิว: รับรอง "ความละเอียด" ของการสัมผัส
ความหยาบของพื้นผิวของแพลตฟอร์มมีผลต่อความพอดีของการติดตั้งส่วนประกอบ โดยทั่วไปจะใช้เครื่องวัดความหยาบของสไตลัสหรือกล้องจุลทรรศน์แบบออปติคัลในการตรวจจับ เครื่องมือแบบสไตลัสจะบันทึกการเปลี่ยนแปลงความสูงของโปรไฟล์จุลภาคโดยการสัมผัสพื้นผิวของแพลตฟอร์มด้วยหัววัดขนาดเล็ก กล้องจุลทรรศน์แบบออปติคัลสามารถสังเกตพื้นผิวได้โดยตรง ในการใช้งานที่ต้องการความแม่นยำสูง ความหยาบของพื้นผิวของแพลตฟอร์มหินแกรนิตจำเป็นต้องได้รับการควบคุมที่ Ra≤0.05μm ซึ่งเทียบเท่ากับเอฟเฟกต์คล้ายกระจก ช่วยให้มั่นใจได้ว่าส่วนประกอบที่แม่นยำจะพอดีกันในระหว่างการติดตั้งและหลีกเลี่ยงการสั่นสะเทือนหรือการเคลื่อนตัวที่เกิดจากช่องว่าง
มาตรฐานความแม่นยำดังต่อไปนี้: บรรทัดฐานสากลและการควบคุมภายในขององค์กร
ปัจจุบัน มาตรฐานสากล ISO 25178 และ GB/T 24632 ถูกใช้เป็นพื้นฐานในการกำหนดความแม่นยำของแท่นหินแกรนิต และมีการจำแนกประเภทตัวบ่งชี้ที่ชัดเจน เช่น ความเรียบและความตรง นอกจากนี้ บริษัทผู้ผลิตระดับสูงมักกำหนดมาตรฐานการควบคุมภายในที่เข้มงวดยิ่งขึ้น ตัวอย่างเช่น ข้อกำหนดด้านความเรียบของแท่นหินแกรนิตของเครื่องโฟโตลิโทกราฟีนั้นสูงกว่ามาตรฐานสากล 30% เมื่อทำการทดสอบ ควรเปรียบเทียบข้อมูลที่วัดได้กับมาตรฐานที่เกี่ยวข้อง เฉพาะแท่นที่เป็นไปตามมาตรฐานเท่านั้นจึงจะรับประกันประสิทธิภาพการทำงานที่มั่นคงในอุปกรณ์ที่มีความแม่นยำ
การตรวจสอบความแม่นยำของแพลตฟอร์มหินแกรนิตความแม่นยำสูงเป็นโครงการที่เป็นระบบ มีเพียงการทดสอบตัวชี้วัดหลัก เช่น ความเรียบ ความตรง และความหยาบของพื้นผิวอย่างเคร่งครัด และปฏิบัติตามมาตรฐานสากลและมาตรฐานระดับองค์กรเท่านั้น จึงจะสามารถรับประกันความแม่นยำและความน่าเชื่อถือของแพลตฟอร์มได้ ซึ่งจะเป็นการวางรากฐานที่แข็งแกร่งสำหรับอุตสาหกรรมการผลิตขั้นสูง เช่น เซมิคอนดักเตอร์และเครื่องมือวัดความแม่นยำ