วิธีประกอบการทดสอบและปรับเทียบฐานเครื่องหินแกรนิตสำหรับผลิตภัณฑ์อุปกรณ์การประมวลผลเวเฟอร์

ฐานของเครื่องหินแกรนิตถูกนำมาใช้อย่างมากในผลิตภัณฑ์อุปกรณ์การประมวลผลเวเฟอร์เนื่องจากคุณสมบัติที่เหนือกว่าเช่นความแข็งสูงความมั่นคงและความแม่นยำ การประกอบการทดสอบและการปรับเทียบฐานเครื่องหินแกรนิตเป็นกระบวนการที่สำคัญที่ต้องการความใส่ใจในรายละเอียดความแม่นยำและความแม่นยำสูงสุด ในบทความนี้เราจะหารือเกี่ยวกับกระบวนการทีละขั้นตอนของการประกอบการทดสอบและการสอบเทียบฐานเครื่องหินแกรนิตสำหรับผลิตภัณฑ์อุปกรณ์ประมวลผลเวเฟอร์

การรวมตัวกัน

ขั้นตอนแรกคือการเตรียมแผ่นพื้นผิวหินแกรนิตฐานและคอลัมน์สำหรับการประกอบ ตรวจสอบให้แน่ใจว่าพื้นผิวทั้งหมดสะอาดแห้งและปราศจากเศษซากฝุ่นหรือน้ำมัน ใส่กระดุมปรับระดับลงในฐานและวางแผ่นพื้นผิวไว้ด้านบน ปรับกระดุมปรับระดับเพื่อให้แผ่นพื้นผิวเป็นแนวนอนและระดับ ตรวจสอบให้แน่ใจว่าแผ่นพื้นผิวจะล้างด้วยฐานและคอลัมน์

จากนั้นติดตั้งคอลัมน์บนฐานและยึดด้วยสลักเกลียว ใช้ประแจแรงบิดเพื่อกระชับสลักเกลียวกับค่าแรงบิดที่แนะนำของผู้ผลิต ตรวจสอบระดับของคอลัมน์และปรับสตั๊ดปรับระดับหากจำเป็น

ในที่สุดติดตั้งชุดแกนหมุนที่ด้านบนของคอลัมน์ ใช้ประแจแรงบิดเพื่อกระชับสลักเกลียวกับค่าแรงบิดที่แนะนำของผู้ผลิต ตรวจสอบระดับของชุดแกนหมุนและปรับกระดุมปรับระดับหากจำเป็น

การทดสอบ

หลังจากประกอบฐานของเครื่องแล้วขั้นตอนต่อไปคือการทดสอบการทำงานและความแม่นยำ เชื่อมต่อแหล่งจ่ายไฟและเปิดเครื่อง ตรวจสอบให้แน่ใจว่าส่วนประกอบทั้งหมดเช่นมอเตอร์เกียร์เข็มขัดและตลับลูกปืนทำงานได้อย่างถูกต้องและไม่มีความผิดปกติหรือเสียงที่ผิดปกติ

ในการทดสอบความถูกต้องของเครื่องให้ใช้ตัวบ่งชี้หน้าปัดที่แม่นยำเพื่อวัดการเรียกใช้ของแกนหมุน ตั้งค่าตัวบ่งชี้หน้าปัดบนแผ่นพื้นผิวและหมุนแกนหมุน Runout ที่อนุญาตสูงสุดควรน้อยกว่า 0.002 มม. หาก Runout มากกว่าขีด จำกัด ที่อนุญาตให้ปรับ studs ปรับระดับและตรวจสอบอีกครั้ง

การสอบเทียบ

การสอบเทียบเป็นขั้นตอนที่สำคัญในการรับรองความแม่นยำและความแม่นยำของฐานเครื่อง กระบวนการสอบเทียบเกี่ยวข้องกับการทดสอบและปรับพารามิเตอร์ของเครื่องเช่นความเร็วการวางตำแหน่งและความแม่นยำเพื่อให้แน่ใจว่าเครื่องตรงตามข้อกำหนดของผู้ผลิต

ในการสอบเทียบเครื่องคุณจะต้องใช้เครื่องมือการสอบเทียบซึ่งรวมถึงเครื่องวัดเลเซอร์อินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ตัวติดตามเลเซอร์หรือบัลลังก์ เครื่องมือเหล่านี้วัดการเคลื่อนไหวตำแหน่งและการจัดตำแหน่งของเครื่องด้วยความแม่นยำสูง

เริ่มต้นด้วยการวัดแกนเชิงเส้นและเชิงมุมของเครื่อง ใช้เครื่องมือการสอบเทียบเพื่อวัดการเคลื่อนไหวของเครื่องและตำแหน่งผ่านระยะทางหรือมุมที่ระบุ เปรียบเทียบค่าที่วัดได้กับข้อกำหนดของผู้ผลิต หากมีการเบี่ยงเบนใด ๆ ให้ปรับพารามิเตอร์ของเครื่องเช่นมอเตอร์เกียร์และไดรฟ์เพื่อนำค่าที่วัดได้ภายในขีด จำกัด ที่อนุญาต

ถัดไปทดสอบฟังก์ชั่นการแก้ไขแบบวงกลมของเครื่อง ใช้เครื่องมือการสอบเทียบเพื่อสร้างเส้นทางวงกลมและวัดการเคลื่อนไหวและตำแหน่งของเครื่อง อีกครั้งเปรียบเทียบค่าที่วัดได้กับข้อกำหนดของผู้ผลิตและปรับพารามิเตอร์หากจำเป็น

ในที่สุดทดสอบความสามารถในการทำซ้ำของเครื่อง วัดตำแหน่งของเครื่องที่จุดต่าง ๆ ในช่วงเวลาที่กำหนด เปรียบเทียบค่าที่วัดได้และตรวจสอบการเบี่ยงเบนใด ๆ หากมีการเบี่ยงเบนใด ๆ ให้ปรับพารามิเตอร์ของเครื่องและทดสอบซ้ำ

บทสรุป

การประกอบการทดสอบและการปรับเทียบฐานเครื่องหินแกรนิตสำหรับผลิตภัณฑ์อุปกรณ์การประมวลผลเวเฟอร์เป็นกระบวนการที่สำคัญที่ต้องใช้ความอดทนความใส่ใจในรายละเอียดและความแม่นยำ โดยทำตามขั้นตอนเหล่านี้คุณสามารถมั่นใจได้ว่าเครื่องตรงตามข้อกำหนดและฟังก์ชั่นของผู้ผลิตด้วยความแม่นยำความมั่นคงและความแม่นยำ