วิธีการประกอบแผงแกรนิตแบน? ข้อกำหนดการติดตั้งที่สำคัญ

เสถียรภาพและความแม่นยำของเครื่องจักรความแม่นยำสูงทุกประเภท ตั้งแต่เครื่องวัดพิกัด (CMM) ขนาดใหญ่ ไปจนถึงอุปกรณ์ลิโธกราฟีเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง ล้วนขึ้นอยู่กับรากฐานหินแกรนิตเป็นหลัก เมื่อต้องจัดการกับฐานโมโนลิธิกขนาดใหญ่ หรือแผงแกรนิตแบนหลายส่วนที่ซับซ้อน กระบวนการประกอบและติดตั้งมีความสำคัญพอๆ กับความแม่นยำในการผลิต การวางแผงสำเร็จรูปเพียงอย่างเดียวนั้นไม่เพียงพอ จำเป็นต้องปฏิบัติตามข้อกำหนดด้านสิ่งแวดล้อมและโครงสร้างเฉพาะเพื่อรักษาและใช้ประโยชน์จากความเรียบระดับต่ำกว่าไมครอนที่ได้รับการรับรองของแผง

1. ฐานราก: พื้นผิวที่มั่นคงและระดับ

ความเข้าใจผิดที่พบบ่อยที่สุดคือ แผงหินแกรนิตความแม่นยำสูง เช่น แผงที่ผลิตจากหินแกรนิตดำ ZHHIMG® ความหนาแน่นสูงของเรา (3100 กก./ลบ.ม.) สามารถแก้ไขปัญหาพื้นไม่มั่นคงได้ แม้ว่าหินแกรนิตจะมีความแข็งแกร่งเป็นพิเศษ แต่ก็ต้องได้รับการรองรับด้วยโครงสร้างที่ออกแบบมาเพื่อลดการโก่งตัวในระยะยาวให้น้อยที่สุด

พื้นที่ประกอบต้องมีพื้นผิวคอนกรีตที่ไม่เพียงแต่เรียบเท่านั้น แต่ยังบ่มตัวอย่างเหมาะสม โดยส่วนใหญ่มักจะได้ความหนาและความหนาแน่นตามมาตรฐานทางทหาร ซึ่งเทียบเท่ากับพื้นคอนกรีตแข็งพิเศษหนา 1,000 มิลลิเมตรในโรงงานประกอบของ ZHHIMG เอง สิ่งสำคัญคือ พื้นผิวนี้ต้องแยกออกจากแหล่งกำเนิดการสั่นสะเทือนภายนอก ในการออกแบบฐานเครื่องจักรขนาดใหญ่ที่สุดของเรา เราได้นำแนวคิดต่างๆ เช่น คูน้ำป้องกันการสั่นสะเทือนที่ล้อมรอบห้องมาตรวิทยาของเรามาใช้ เพื่อให้มั่นใจว่าฐานรากนั้นนิ่งและแยกออกจากกัน

2. ชั้นแยก: การยาแนวและการปรับระดับ

หลีกเลี่ยงการสัมผัสโดยตรงระหว่างแผ่นหินแกรนิตและฐานรากคอนกรีตอย่างเคร่งครัด ฐานหินแกรนิตต้องได้รับการรองรับด้วยจุดเฉพาะที่คำนวณทางคณิตศาสตร์เพื่อลดแรงเค้นภายในและรักษารูปทรงที่ได้รับการรับรอง การดำเนินการนี้ต้องใช้ระบบปรับระดับระดับมืออาชีพและชั้นยาแนว

เมื่อวางแผงอย่างแม่นยำโดยใช้แม่แรงปรับระดับหรือลิ่มแล้ว จะมีการอัดยาแนวที่มีความแข็งแรงสูง ไม่หดตัว และแม่นยำเข้าไปในช่องว่างระหว่างหินแกรนิตและพื้นผิว ยาแนวชนิดพิเศษนี้จะแห้งตัวเพื่อสร้างส่วนต่อประสานที่มีความหนาแน่นสูงและสม่ำเสมอ ซึ่งช่วยกระจายน้ำหนักของแผงอย่างสม่ำเสมอ ป้องกันการหย่อนหรือบิดเบี้ยว ซึ่งอาจทำให้เกิดแรงเค้นภายในและสูญเสียความเรียบเมื่อเวลาผ่านไป ขั้นตอนนี้จะเปลี่ยนแผงหินแกรนิตและฐานรากให้เป็นมวลรวมที่แข็งแรง เหนียวแน่น และแข็งแกร่งอย่างมีประสิทธิภาพ

3. สมดุลความร้อนและเวลา

เช่นเดียวกับงานวัดความแม่นยำสูงอื่นๆ ความอดทนเป็นสิ่งสำคัญที่สุด แผ่นหินแกรนิต วัสดุยาแนว และพื้นผิวคอนกรีต จะต้องอยู่ในสภาวะสมดุลทางความร้อนกับสภาพแวดล้อมการทำงานโดยรอบก่อนการตรวจสอบแนวขั้นสุดท้าย กระบวนการนี้อาจใช้เวลาหลายวันสำหรับแผ่นขนาดใหญ่มาก

ยิ่งไปกว่านั้น การปรับระดับ ซึ่งดำเนินการโดยใช้เครื่องมือต่างๆ เช่น เลเซอร์อินเตอร์เฟอโรมิเตอร์และระดับน้ำอิเล็กทรอนิกส์ จะต้องดำเนินการอย่างช้าๆ และทีละน้อย เพื่อให้วัสดุมีเวลาตกตะกอน ช่างเทคนิคผู้เชี่ยวชาญของเราซึ่งปฏิบัติตามมาตรฐานมาตรวิทยาสากลที่เข้มงวด (DIN, ASME) เข้าใจดีว่าการเร่งรีบปรับระดับขั้นสุดท้ายอาจทำให้เกิดแรงเค้นแฝง ซึ่งจะปรากฏในภายหลังในรูปแบบของค่าความคลาดเคลื่อนของความแม่นยำ

4. การรวมส่วนประกอบและการประกอบแบบกำหนดเอง

สำหรับส่วนประกอบหินแกรนิตหรือแผงแกรนิตแบบแบนสั่งทำพิเศษของ ZHHIMG ที่ผสานรวมมอเตอร์เชิงเส้น ตลับลูกปืนลม หรือราง CMM การประกอบขั้นสุดท้ายต้องสะอาดหมดจด ห้องประกอบที่สะอาดเฉพาะของเรา ซึ่งจำลองสภาพแวดล้อมของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ เป็นสิ่งจำเป็น เพราะแม้แต่ฝุ่นละอองขนาดเล็กที่ติดอยู่ระหว่างหินแกรนิตและส่วนประกอบโลหะก็สามารถทำให้เกิดการเบี่ยงเบนแบบไมโครได้ ทุกส่วนต่อประสานต้องได้รับการทำความสะอาดและตรวจสอบอย่างละเอียดถี่ถ้วนก่อนการยึดติดขั้นสุดท้าย เพื่อให้มั่นใจว่าเสถียรภาพเชิงขนาดของส่วนประกอบจะถูกถ่ายโอนไปยังระบบเครื่องจักรได้อย่างสมบูรณ์แบบ

ด้วยการเคารพข้อกำหนดอันเข้มงวดเหล่านี้ ลูกค้าจึงมั่นใจได้ว่าพวกเขาไม่ได้เพียงแค่ติดตั้งส่วนประกอบเท่านั้น แต่ยังกำหนด Datum ขั้นสุดท้ายสำหรับอุปกรณ์ที่มีความแม่นยำสูงได้สำเร็จ ซึ่งเป็นรากฐานที่รับประกันโดยวิทยาศาสตร์วัสดุและความเชี่ยวชาญด้านการผลิตของ ZHHIMG