ฐานเครื่องจักรหินแกรนิตที่มีความแม่นยำสูงช่วยปรับปรุงความแม่นยำของอุปกรณ์ตรวจสอบเวเฟอร์ได้อย่างไร

Iในอุตสาหกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ความแม่นยำของอุปกรณ์ตรวจสอบเวเฟอร์มีความสำคัญอย่างยิ่งต่อการรับประกันคุณภาพของวงจรรวม ฐานเครื่องจักรหินแกรนิตที่มีความแม่นยำสูง เช่น ที่จัดหาโดย ZHHIMG® มีบทบาทสำคัญในการเพิ่มประสิทธิภาพการทำงานของอุปกรณ์ดังกล่าว นี่คือความแตกต่างที่เกิดขึ้น
เสถียรภาพของมิติที่ยอดเยี่ยมแกรนิตมีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อนต่ำมาก ซึ่งอยู่ที่ประมาณ (4–8)×10⁻⁶/℃ ซึ่งต่ำกว่าโลหะหลายชนิดอย่างมาก ในสภาพแวดล้อมที่มีการควบคุมอย่างเข้มงวดของโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งความผันผวนของอุณหภูมิเพียงเล็กน้อยก็อาจทำให้เกิดข้อผิดพลาดในการวัดได้ ฐานเครื่องจักรแกรนิตจะยังคงมีเสถียรภาพ เสถียรภาพนี้ช่วยให้การวางตำแหน่งของส่วนประกอบในอุปกรณ์ตรวจสอบเวเฟอร์ยังคงแม่นยำ และป้องกันการเบี่ยงเบนที่เกิดจากความร้อนซึ่งอาจส่งผลต่อความแม่นยำของผลการตรวจสอบ

การลดแรงสั่นสะเทือนที่เหนือกว่า พื้นการผลิตมักเต็มไปด้วยแรงสั่นสะเทือนจากแหล่งต่างๆ คุณสมบัติการลดแรงสั่นสะเทือนโดยธรรมชาติของแกรนิตซึ่งมีอัตราส่วนการลดแรงสั่นสะเทือน 0.05–0.1 ช่วยดูดซับและกระจายแรงสั่นสะเทือนเหล่านี้ได้อย่างมีประสิทธิภาพ สำหรับการตรวจสอบเวเฟอร์
ซึ่งต้องใช้การถ่ายภาพที่มีความละเอียดสูงและการอ่านค่าเซ็นเซอร์ที่แม่นยำ การลดการสั่นสะเทือนที่เกิดจากฐานหินแกรนิตจึงมีค่าอย่างยิ่ง โดยช่วยลดการรบกวนที่อาจทำให้ภาพเบลอหรือข้อมูลเซ็นเซอร์ผิดเพี้ยน ทำให้เครื่องมือสามารถรวบรวมข้อมูลที่ชัดเจนและแม่นยำเกี่ยวกับพื้นผิวและโครงสร้างภายในของเวเฟอร์ได้
ฐานเครื่องจักรหินแกรนิตของ ZHHIMG® มีความแข็งแรงทนทานเป็นพิเศษด้วยความหนาแน่นประมาณ 3,100 กก./ลบ.ม. ฐานเครื่องจักรเหล่านี้สามารถรองรับชิ้นส่วนที่มีน้ำหนักมากของอุปกรณ์ตรวจสอบเวเฟอร์ได้โดยไม่เสียรูป ช่วยรักษาการจัดแนวของระบบออปติกและกลไก นอกจากนี้ หินแกรนิตที่มีความแข็งสูง (ระดับโมห์ส 6–7) และทนต่อการสึกหรอได้ดีเยี่ยมยังช่วยให้พื้นผิวฐานเครื่องจักรยังคงเรียบและเรียบเสมอกันในระยะยาว ความสม่ำเสมอเป็นสิ่งสำคัญสำหรับความแม่นยำในระยะยาว เนื่องจากการสึกหรอหรือการเสียรูปใดๆ บนฐานอาจทำให้ความแม่นยำของอุปกรณ์ลดลงได้ในที่สุด
ความเฉื่อยทางเคมีการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เกี่ยวข้องกับการสัมผัสกับสารเคมีต่างๆ ความเฉื่อยทางเคมีของแกรนิตทำให้แกรนิตทนต่อการกัดกร่อนจากสารเหล่านี้ คุณสมบัตินี้ช่วยปกป้องความสมบูรณ์ของฐานเครื่องจักร ป้องกันความเสียหายที่เกิดจากสารเคมีที่อาจส่งผลต่อเสถียรภาพและความแม่นยำของอุปกรณ์ตรวจสอบ
สรุปได้ว่าฐานเครื่องจักรหินแกรนิตที่มีความแม่นยำสูงนั้นไม่เพียงแต่เป็นส่วนประกอบเท่านั้น แต่ยังเป็นปัจจัยสำคัญในการบรรลุข้อกำหนดความแม่นยำที่เข้มงวดของอุปกรณ์ตรวจสอบเวเฟอร์ เมื่อเลือกฐานเครื่องจักรหินแกรนิต ให้เลือกผู้ให้บริการที่เชื่อถือได้ เช่น ZHHIMG® ด้วยการรับรองมากมายและความมุ่งมั่นในด้านคุณภาพ ZHHIMG® รับประกันว่าฐานเครื่องจักรหินแกรนิตทุกเครื่องจะมอบความน่าเชื่อถือและประสิทธิภาพที่จำเป็นสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง