การใช้งานฐานหินแกรนิต: หินแกรนิตมีคุณสมบัติทางกายภาพที่เสถียรมาก โครงสร้างภายในที่หนาแน่นและสม่ำเสมอ ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อนต่ำ ความแข็งสูง ทำให้ฐานสามารถแยกการสั่นสะเทือนภายนอกได้อย่างมีประสิทธิภาพ ลดผลกระทบของการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิแวดล้อมต่อความแม่นยำของแพลตฟอร์ม และมีความทนทานต่อการสึกหรอที่ดี การใช้งานในระยะยาวยังสามารถรักษาประสิทธิภาพการรองรับที่เสถียรได้ ให้รากฐานที่มั่นคงสำหรับความแม่นยำของแพลตฟอร์ม
การออกแบบโครงสร้างกลไกที่มีความแม่นยำสูง: โครงสร้างกลไกของแพลตฟอร์มได้รับการออกแบบและปรับให้เหมาะสมอย่างพิถีพิถันโดยใช้รางนำทางที่มีความแม่นยำสูง สกรูลีด ตลับลูกปืน และส่วนประกอบระบบส่งกำลังอื่นๆ ด้วยแรงเสียดทานต่ำ ความแข็งสูง และความสามารถในการเคลื่อนที่ซ้ำได้ดี ส่วนประกอบเหล่านี้จึงสามารถส่งกำลังและควบคุมการเคลื่อนที่ของแพลตฟอร์มได้อย่างแม่นยำ ลดการสะสมของข้อผิดพลาดระหว่างการเคลื่อนที่ ตัวอย่างเช่น การใช้รางนำทางแบบแอโรสแตติก การใช้ฟิล์มอากาศเพื่อรองรับการเคลื่อนที่ของแพลตฟอร์ม โดยไม่มีแรงเสียดทาน ไม่สึกหรอ มีความแม่นยำสูง สามารถบรรลุความแม่นยำในการวางตำแหน่งในระดับนาโน
เทคโนโลยีการแยกการสั่นสะเทือนขั้นสูง: ติดตั้งระบบการแยกการสั่นสะเทือนแบบแอคทีฟ การตรวจสอบสถานะการสั่นสะเทือนของแพลตฟอร์มแบบเรียลไทม์ผ่านเซ็นเซอร์ จากนั้นตามผลการตรวจสอบ การควบคุมป้อนกลับของตัวกระตุ้น สร้างแรงตรงข้ามหรือการเคลื่อนไหวของการสั่นสะเทือนภายนอกเพื่อชดเชยผลกระทบของการสั่นสะเทือน เทคโนโลยีการแยกการสั่นสะเทือนแบบแอคทีฟนี้สามารถแยกการสั่นสะเทือนความถี่ต่ำและสูงได้อย่างมีประสิทธิภาพ ทำให้แพลตฟอร์มสามารถคงความเสถียรในสภาพแวดล้อมการสั่นสะเทือนที่ซับซ้อนได้ ตัวอย่างเช่น ตัวแยกการสั่นสะเทือนแบบแอคทีฟแม่เหล็กไฟฟ้ามีข้อดีคือความเร็วในการตอบสนองที่รวดเร็วและแรงควบคุมที่แม่นยำ ซึ่งสามารถลดแอมพลิจูดการสั่นสะเทือนของแพลตฟอร์มได้มากกว่า 80%
ระบบควบคุมความแม่นยำ: แพลตฟอร์มใช้ระบบควบคุมขั้นสูง เช่น ระบบควบคุมที่ใช้โปรเซสเซอร์สัญญาณดิจิทัล (DSP) หรืออาร์เรย์เกตที่ตั้งโปรแกรมได้ภาคสนาม (FPGA) ซึ่งมีความสามารถในการคำนวณความเร็วสูงและการควบคุมที่แม่นยำ ระบบควบคุมจะตรวจสอบและปรับการเคลื่อนที่ของแพลตฟอร์มแบบเรียลไทม์ผ่านอัลกอริทึมที่แม่นยำ และควบคุมตำแหน่งที่แม่นยำสูง ควบคุมความเร็ว และควบคุมการเร่งความเร็ว ในเวลาเดียวกัน ระบบควบคุมยังมีความสามารถในการป้องกันการรบกวนที่ดี และสามารถทำงานได้อย่างเสถียรในสภาพแวดล้อมแม่เหล็กไฟฟ้าที่ซับซ้อน
การวัดด้วยเซ็นเซอร์ที่มีความแม่นยำสูง: การใช้เซ็นเซอร์การเคลื่อนที่ที่มีความแม่นยำสูง เซ็นเซอร์มุม และอุปกรณ์วัดอื่นๆ ช่วยให้วัดการเคลื่อนที่ของแพลตฟอร์มได้อย่างแม่นยำแบบเรียลไทม์ เซ็นเซอร์เหล่านี้ส่งข้อมูลการวัดกลับไปยังระบบควบคุม และระบบควบคุมจะทำการปรับและชดเชยอย่างแม่นยำตามข้อมูลป้อนกลับเพื่อให้แน่ใจถึงความแม่นยำในการเคลื่อนที่ของแพลตฟอร์ม ตัวอย่างเช่น อินเตอร์เฟอโรมิเตอร์เลเซอร์ใช้เป็นเซ็นเซอร์การเคลื่อนที่ และความแม่นยำในการวัดสามารถอยู่ที่ระดับนาโนเมตร ซึ่งสามารถให้ข้อมูลตำแหน่งที่แม่นยำสำหรับการควบคุมแพลตฟอร์มที่มีความแม่นยำสูง
เทคโนโลยีการชดเชยข้อผิดพลาด: เทคโนโลยีการชดเชยข้อผิดพลาดใช้เพื่อแก้ไขข้อผิดพลาดโดยการสร้างแบบจำลองและวิเคราะห์ข้อผิดพลาดของแพลตฟอร์ม ตัวอย่างเช่น ข้อผิดพลาดด้านความตรงของรางนำทางและข้อผิดพลาดด้านพิทช์ของสกรูลีดจะถูกวัดและชดเชยเพื่อปรับปรุงความแม่นยำในการเคลื่อนที่ของแพลตฟอร์ม นอกจากนี้ อัลกอริทึมซอฟต์แวร์ยังสามารถใช้เพื่อชดเชยข้อผิดพลาดที่เกิดจากการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ การเปลี่ยนแปลงโหลด และปัจจัยอื่นๆ แบบเรียลไทม์เพื่อปรับปรุงความแม่นยำของแพลตฟอร์มต่อไป
กระบวนการผลิตและการควบคุมคุณภาพที่เข้มงวด: ในกระบวนการผลิตของแพลตฟอร์ม กระบวนการผลิตและมาตรฐานการควบคุมคุณภาพที่เข้มงวดถูกนำมาใช้เพื่อรับรองความถูกต้องในการประมวลผลและคุณภาพการประกอบของส่วนประกอบแต่ละชิ้น ตั้งแต่การคัดเลือกวัตถุดิบไปจนถึงการประมวลผล การประกอบ และการใช้งานชิ้นส่วน ทุกส่วนจะได้รับการตรวจสอบและทดสอบอย่างเข้มงวดเพื่อให้แน่ใจถึงความถูกต้องและประสิทธิภาพโดยรวมของแพลตฟอร์ม ตัวอย่างเช่น ดำเนินการตัดเฉือนชิ้นส่วนสำคัญด้วยความแม่นยำสูง และใช้อุปกรณ์ขั้นสูง เช่น ศูนย์ตัดเฉือน CNC เพื่อให้แน่ใจว่าความถูกต้องของมิติ และความคลาดเคลื่อนของรูปร่างและตำแหน่งของชิ้นส่วนตรงตามข้อกำหนดการออกแบบ
เวลาโพสต์ : 11 เม.ย. 2568