การใช้งานฐานหินแกรนิต: หินแกรนิตมีคุณสมบัติทางกายภาพที่เสถียรมาก โครงสร้างภายในหนาแน่นและสม่ำเสมอ สัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ และความแข็งสูง ทำให้ฐานสามารถแยกการสั่นสะเทือนจากภายนอกได้อย่างมีประสิทธิภาพ ลดผลกระทบของการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิแวดล้อมต่อความแม่นยำของแท่น และมีความทนทานต่อการสึกหรอดี การใช้งานในระยะยาวสามารถรักษาประสิทธิภาพการรองรับที่เสถียรได้ ให้รากฐานที่มั่นคงสำหรับความแม่นยำของแท่น
การออกแบบโครงสร้างเชิงกลที่มีความแม่นยำสูง: โครงสร้างเชิงกลของแท่นได้รับการออกแบบและปรับแต่งอย่างพิถีพิถัน โดยใช้รางนำทาง สกรูนำ ตลับลูกปืน และส่วนประกอบส่งกำลังอื่นๆ ที่มีความแม่นยำสูง ส่วนประกอบเหล่านี้มีแรงเสียดทานต่ำ ความแข็งแกร่งสูง และความสามารถในการทำซ้ำการเคลื่อนที่ที่ดี สามารถส่งกำลังและควบคุมการเคลื่อนที่ของแท่นได้อย่างแม่นยำ ลดการสะสมของข้อผิดพลาดระหว่างการเคลื่อนที่ ตัวอย่างเช่น การใช้รางนำทางแบบใช้ลม การใช้ฟิล์มอากาศเพื่อรองรับการเคลื่อนที่ของแท่น ไม่มีแรงเสียดทาน ไม่มีการสึกหรอ มีความแม่นยำสูง สามารถบรรลุความแม่นยำในการกำหนดตำแหน่งระดับนาโนเมตรได้
เทคโนโลยีการแยกการสั่นสะเทือนแบบแอคทีฟขั้นสูง: ติดตั้งระบบแยกการสั่นสะเทือนแบบแอคทีฟ ตรวจสอบสถานะการสั่นสะเทือนของแพลตฟอร์มแบบเรียลไทม์ผ่านเซ็นเซอร์ จากนั้นจึงควบคุมการทำงานของแอคทูเอเตอร์ตามผลการตรวจสอบ โดยสร้างแรงหรือการเคลื่อนไหวที่ตรงข้ามกับการสั่นสะเทือนภายนอกเพื่อชดเชยผลกระทบของการสั่นสะเทือน เทคโนโลยีการแยกการสั่นสะเทือนแบบแอคทีฟนี้สามารถแยกการสั่นสะเทือนความถี่ต่ำและสูงได้อย่างมีประสิทธิภาพ ทำให้แพลตฟอร์มสามารถคงความเสถียรในสภาพแวดล้อมการสั่นสะเทือนที่ซับซ้อน ตัวอย่างเช่น ตัวแยกการสั่นสะเทือนแบบแอคทีฟแม่เหล็กไฟฟ้ามีข้อดีคือความเร็วในการตอบสนองที่รวดเร็วและแรงควบคุมที่แม่นยำ ซึ่งสามารถลดความ amplitud ของการสั่นสะเทือนของแพลตฟอร์มได้มากกว่า 80%
ระบบควบคุมความแม่นยำสูง: แพลตฟอร์มนี้ใช้ระบบควบคุมขั้นสูง เช่น ระบบควบคุมที่ใช้ตัวประมวลผลสัญญาณดิจิทัล (DSP) หรืออาร์เรย์เกตที่ตั้งโปรแกรมได้ (FPGA) ซึ่งมีความสามารถในการคำนวณความเร็วสูงและการควบคุมที่แม่นยำ ระบบควบคุมจะตรวจสอบและปรับการเคลื่อนที่ของแพลตฟอร์มแบบเรียลไทม์ผ่านอัลกอริทึมที่แม่นยำ และทำให้สามารถควบคุมตำแหน่ง ความเร็ว และการเร่งความเร็วได้อย่างแม่นยำสูง ในขณะเดียวกัน ระบบควบคุมยังมีคุณสมบัติในการต้านทานการรบกวนที่ดี และสามารถทำงานได้อย่างเสถียรในสภาพแวดล้อมทางแม่เหล็กไฟฟ้าที่ซับซ้อน
การวัดด้วยเซ็นเซอร์ความแม่นยำสูง: การใช้เซ็นเซอร์วัดระยะการเคลื่อนที่ความแม่นยำสูง เซ็นเซอร์วัดมุม และอุปกรณ์วัดอื่นๆ ช่วยให้สามารถวัดการเคลื่อนที่ของแพลตฟอร์มได้อย่างแม่นยำแบบเรียลไทม์ เซ็นเซอร์เหล่านี้จะส่งข้อมูลการวัดกลับไปยังระบบควบคุม และระบบควบคุมจะทำการปรับและชดเชยอย่างแม่นยำตามข้อมูลป้อนกลับเพื่อให้มั่นใจในความแม่นยำของการเคลื่อนที่ของแพลตฟอร์ม ตัวอย่างเช่น การใช้เลเซอร์อินเตอร์เฟอโรเมตรเป็นเซ็นเซอร์วัดระยะการเคลื่อนที่ ซึ่งมีความแม่นยำในการวัดสูงถึงระดับนาโนเมตร สามารถให้ข้อมูลตำแหน่งที่แม่นยำสำหรับการควบคุมแพลตฟอร์มด้วยความแม่นยำสูง
เทคโนโลยีการชดเชยข้อผิดพลาด: เทคโนโลยีการชดเชยข้อผิดพลาดจะถูกนำมาใช้เพื่อแก้ไขข้อผิดพลาดโดยการสร้างแบบจำลองและวิเคราะห์ข้อผิดพลาดของแพลตฟอร์ม ตัวอย่างเช่น ข้อผิดพลาดด้านความตรงของรางนำและข้อผิดพลาดด้านระยะห่างของสกรูนำจะถูกวัดและชดเชยเพื่อปรับปรุงความแม่นยำในการเคลื่อนที่ของแพลตฟอร์ม นอกจากนี้ ยังสามารถใช้อัลกอริธึมซอฟต์แวร์เพื่อชดเชยข้อผิดพลาดที่เกิดจากการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ การเปลี่ยนแปลงของภาระ และปัจจัยอื่นๆ แบบเรียลไทม์ เพื่อปรับปรุงความแม่นยำของแพลตฟอร์มให้ดียิ่งขึ้นไปอีก
กระบวนการผลิตและการควบคุมคุณภาพที่เข้มงวด: ในกระบวนการผลิตของแพลตฟอร์มนั้น ได้มีการใช้กระบวนการผลิตและมาตรฐานการควบคุมคุณภาพที่เข้มงวด เพื่อให้มั่นใจในความแม่นยำในการผลิตและคุณภาพการประกอบของแต่ละชิ้นส่วน ตั้งแต่การคัดเลือกวัตถุดิบไปจนถึงการผลิต การประกอบ และการทดสอบชิ้นส่วน ทุกขั้นตอนจะได้รับการตรวจสอบและทดสอบอย่างเข้มงวด เพื่อให้มั่นใจในความแม่นยำและประสิทธิภาพโดยรวมของแพลตฟอร์ม ตัวอย่างเช่น มีการใช้เครื่องจักรที่มีความแม่นยำสูงสำหรับชิ้นส่วนสำคัญ และใช้เครื่องจักรที่ทันสมัย เช่น เครื่องจักร CNC เพื่อให้มั่นใจว่าความแม่นยำของขนาด รูปทรง และตำแหน่ง รวมถึงความคลาดเคลื่อนของชิ้นส่วนเป็นไปตามข้อกำหนดการออกแบบ
วันที่เผยแพร่: 11 เมษายน 2568