ในวงการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ความแม่นยำระดับต่ำกว่าไมครอนเป็นกุญแจสำคัญในการรับประกันประสิทธิภาพของชิป และฐานหินแกรนิต (ZHHIMG®) ด้วยคุณสมบัติของวัสดุ การประมวลผลที่แม่นยำ และการออกแบบที่เป็นนวัตกรรม ได้กลายเป็นหลักประกันสำคัญในการบรรลุความแม่นยำนี้
ในแง่ของคุณสมบัติวัสดุ หินแกรนิตสีดำที่ ZHHIMG® เลือกใช้นั้นมีความหนาแน่นประมาณ 3100 กก./ลบ.ม. และมีโครงสร้างภายในที่หนาแน่น ความหนาแน่นสูงนี้ทำให้มีเสถียรภาพและความแข็งแกร่งที่โดดเด่น ในระหว่างการทำงานของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ การหมุนของมอเตอร์และการเคลื่อนที่ของชิ้นส่วนกลไกภายในอุปกรณ์จะก่อให้เกิดการสั่นสะเทือน ฐานหินแกรนิตสามารถดูดซับพลังงานการสั่นสะเทือนได้อย่างมีประสิทธิภาพมากกว่า 90% ช่วยลดผลกระทบของการสั่นสะเทือนต่อความแม่นยำของอุปกรณ์ได้อย่างมาก ในขณะเดียวกัน ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนที่ต่ำมากทำให้สามารถรักษาการเสียรูปให้อยู่ในขอบเขตที่แคบมากเมื่ออุณหภูมิแวดล้อมผันผวน ให้ฐานรองรับที่มั่นคงสำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์และป้องกันการเคลื่อนที่ของชิ้นส่วนอุปกรณ์เนื่องจากการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิ ซึ่งอาจส่งผลต่อความแม่นยำ
ในด้านการแปรรูปและการผลิต โรงงาน ZHHIMG® ใช้เครื่องมือและอุปกรณ์การแปรรูปขั้นสูงระดับสากล และมีเครื่องเจียรขนาดใหญ่พิเศษ 4 เครื่อง (แต่ละเครื่องมีราคากว่า 500,000 ดอลลาร์สหรัฐ) ซึ่งสามารถทำการเจียรหินแกรนิตที่มีความแม่นยำสูงได้ ด้วยการใช้เครื่องจักร CNC แบบ 5 แกนและกระบวนการอื่นๆ ทำให้พื้นผิวของฐานเครื่องจักรเรียบได้ถึงระดับนาโนเมตร ซึ่งเป็นพื้นผิวอ้างอิงที่เรียบเป็นพิเศษสำหรับการติดตั้งอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ และรับประกันการวางตำแหน่งที่แม่นยำของแต่ละชิ้นส่วนของอุปกรณ์ ยิ่งไปกว่านั้น โรงงานควบคุมอุณหภูมิและความชื้น (ครอบคลุมพื้นที่ 10,000 ตารางเมตร) ให้สภาพแวดล้อมที่มั่นคงสำหรับการแปรรูป ร่องกันสั่นสะเทือนกว้าง 500 มม. และลึก 2,000 มม. ที่อยู่รอบๆ รวมถึงเครนเงียบ ช่วยแยกการรบกวนจากแรงสั่นสะเทือนภายนอกได้อย่างมีประสิทธิภาพ และรับประกันความแม่นยำในการแปรรูปของฐานเครื่องจักร
นอกจากนี้ ZHHIMG® ยังมีความสามารถในการปรับแต่งที่แข็งแกร่ง สำหรับความต้องการพิเศษของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ สามารถผลิตรูติดตั้งและรางสายเคเบิลที่แม่นยำล่วงหน้าเพื่อให้เข้ากันได้อย่างสมบูรณ์แบบระหว่างอุปกรณ์และฐาน ในขณะเดียวกัน เมื่อรวมกับอุปกรณ์วัดและทดสอบระดับโลก เช่น เกจวัดละเอียด Mahr จากเยอรมนี (มีความแม่นยำ 0.5 ไมครอน) และระดับอิเล็กทรอนิกส์ WYLER จากสวิตเซอร์แลนด์ ฐานเครื่องจักรจะได้รับการตรวจสอบและสอบเทียบอย่างเข้มงวดเพื่อให้มั่นใจว่าฐานเครื่องจักรแต่ละฐานสามารถตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์สำหรับความแม่นยำระดับต่ำกว่าไมครอนได้
การผสมผสานข้อดีเหล่านี้อย่างแม่นยำ ทำให้ฐานหินแกรนิต ZHHIMG® เป็นตัวเลือกที่เชื่อถือได้สำหรับการ achieving ความแม่นยำระดับ sub-micron ในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ช่วยให้การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ก้าวไปสู่สาขาที่มีความแม่นยำสูงขึ้น
วันที่เผยแพร่: 18 มิถุนายน 2568