ฐานหินแกรนิตส่งผลต่อความแม่นยำของการทดสอบแบบไม่ทำลายของแผ่นเวเฟอร์อย่างไร?

ในโลกแห่งการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่ต้องการความแม่นยำสูง การทดสอบแบบไม่ทำลายแผ่นเวเฟอร์เป็นขั้นตอนสำคัญในการรับประกันคุณภาพของชิป ฐานหินแกรนิตที่ดูเหมือนไม่มีความสำคัญนั้น แท้จริงแล้วคือ "ฮีโร่ผู้ไม่ได้รับการยกย่อง" ที่เป็นตัวกำหนดความแม่นยำในการตรวจจับ แล้วมันส่งผลต่อผลการทดสอบอย่างไร บทความนี้จะทำการวิเคราะห์เชิงลึกในมิติต่างๆ เช่น คุณสมบัติของวัสดุและการออกแบบโครงสร้าง
1. รากฐานที่มั่นคง: คุณสมบัติตามธรรมชาติของหินแกรนิตเป็นรากฐานที่มั่นคงสำหรับการทำงานที่แม่นยำ
1. ประสิทธิภาพการต้านทานแผ่นดินไหวที่ยอดเยี่ยม
ในระหว่างการทำงานของอุปกรณ์ทดสอบแบบไม่ทำลายแผ่นเวเฟอร์ การหมุนของมอเตอร์และการเคลื่อนที่ของชิ้นส่วนกลไกจะก่อให้เกิดการสั่นสะเทือน หากไม่สามารถลดการสั่นสะเทือนเหล่านี้ได้อย่างมีประสิทธิภาพ จะส่งผลกระทบอย่างร้ายแรงต่อความแม่นยำในการทดสอบ ภายในของหินแกรนิตมีการผสมผสานอย่างแน่นหนาด้วยผลึกแร่ เช่น ควอตซ์และเฟลด์สปาร์ โครงสร้างที่เป็นเอกลักษณ์นี้ทำให้หินแกรนิตมีคุณสมบัติในการดูดซับการสั่นสะเทือนตามธรรมชาติ สามารถดูดซับพลังงานการสั่นสะเทือนของอุปกรณ์ได้มากกว่า 90% ข้อมูลการวัดจริงจากผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์รายหนึ่งแสดงให้เห็นว่า หลังจากใช้ฐานหินแกรนิตแล้ว ความ amplitud ของการสั่นสะเทือนของอุปกรณ์ตรวจจับลดลงจาก 12 ไมโครเมตร เหลือ 2 ไมโครเมตร ซึ่งช่วยหลีกเลี่ยงการเบี่ยงเบนของสัญญาณตรวจจับที่เกิดจากการสั่นสะเทือนได้อย่างมีประสิทธิภาพ
2. ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำมาก
ในระหว่างกระบวนการตรวจสอบ ปัจจัยต่างๆ เช่น ความร้อนของอุปกรณ์และการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิแวดล้อม ล้วนส่งผลต่อความเสถียรของฐานเครื่อง วัสดุทั่วไปจะขยายตัวอย่างมากเมื่อได้รับความร้อน แต่ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนของหินแกรนิตนั้นมีเพียง 1/5 ของเหล็กเท่านั้น แม้ว่าอุณหภูมิแวดล้อมจะผันผวนถึง 10℃ การเสียรูปของมันก็แทบจะไม่มีนัยสำคัญ ทำให้ฐานหินแกรนิตสามารถเป็นแท่นอ้างอิงที่มั่นคงสำหรับอุปกรณ์ตรวจสอบ ช่วยให้มั่นใจได้ว่าตำแหน่งสัมพัทธ์ระหว่างหัววัดตรวจสอบและแผ่นเวเฟอร์จะแม่นยำตลอดเวลา และหลีกเลี่ยงข้อผิดพลาดในการตรวจสอบที่เกิดจากการเสียรูปเนื่องจากความร้อน
ประการที่สอง การออกแบบที่แม่นยำ: การปรับโครงสร้างให้เหมาะสมจะช่วยเพิ่มความน่าเชื่อถือในการตรวจจับให้ดียิ่งขึ้น
การประมวลผลที่มีความแม่นยำสูงและการรับประกันความเรียบ
ฐานหินแกรนิตคุณภาพสูงผลิตด้วยเทคโนโลยี CNC แบบห้าแกนขั้นสูง มีความเรียบ ±0.5 μm/m ทำให้ได้พื้นผิวเรียบเป็นพิเศษสำหรับการติดตั้งอุปกรณ์ตรวจสอบ ในการตรวจสอบแผ่นเวเฟอร์ ความตั้งฉากและความเรียบของหัวตรวจสอบมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อผลการตรวจสอบ ฐานหินแกรนิตที่มีความแม่นยำสูงช่วยให้มั่นใจได้ถึงการวางตำแหน่งที่แม่นยำของหัวตรวจสอบ ทำให้ข้อมูลการตรวจสอบมีความถูกต้องและน่าเชื่อถือมากขึ้น
2. การปรับแต่งโครงสร้างตามความต้องการเฉพาะ
ฐานเครื่องจักรที่ทำจากหินแกรนิตสามารถปรับแต่งให้เหมาะสมกับอุปกรณ์และกระบวนการทดสอบแบบไม่ทำลายแผ่นเวเฟอร์ที่แตกต่างกันได้ ตัวอย่างเช่น เพื่อให้ตรงตามข้อกำหนดของอุปกรณ์ตรวจสอบด้วยแสงในเรื่องการสะท้อนแสง พื้นผิวของฐานเครื่องจักรสามารถผ่านกระบวนการพิเศษได้ หรือเพื่อให้ตรงตามข้อกำหนดในการติดตั้งของอุปกรณ์ทดสอบด้วยคลื่นอัลตราโซนิค ฐานสามารถผลิตล่วงหน้าโดยมีรูติดตั้งและรางสายเคเบิลที่แม่นยำ ทำให้สามารถติดตั้งอุปกรณ์ได้อย่างรวดเร็วและแม่นยำ และลดความคลาดเคลื่อนในการตรวจจับที่เกิดจากข้อผิดพลาดในการติดตั้ง
iii. ความเสถียรในระยะยาว: ลดการสูญเสียความแม่นยำที่เกิดจากการบำรุงรักษาอุปกรณ์
หินแกรนิตมีความแข็งสูงและทนทานต่อการสึกหรอดีเยี่ยม โดยมีค่าความแข็งโมห์สอยู่ที่ 6 ถึง 7 ซึ่งสูงกว่าเหล็กธรรมดาถึงสามเท่า ในระหว่างการตรวจสอบระยะยาว พื้นผิวของฐานเครื่องจักรจะไม่สึกหรอและสามารถรักษาความแม่นยำได้ดีเสมอ ในทางตรงกันข้าม ฐานที่ทำจากวัสดุอื่นอาจทำให้การอ้างอิงการติดตั้งของอุปกรณ์เปลี่ยนแปลงไปเนื่องจากการสึกหรอ ส่งผลต่อความแม่นยำในการตรวจจับ และต้องมีการปรับเทียบและบำรุงรักษาบ่อยครั้ง อายุการใช้งานที่ยาวนานและความเสถียรสูงของฐานหินแกรนิตช่วยลดความถี่ในการบำรุงรักษาอุปกรณ์และลดความเสี่ยงของการสูญเสียความแม่นยำที่อาจเกิดขึ้นระหว่างกระบวนการบำรุงรักษาได้อย่างมีประสิทธิภาพ
ตั้งแต่ความทนทานต่อแรงกระแทก ความทนทานต่อความร้อน ไปจนถึงการออกแบบที่แม่นยำ ทุกคุณสมบัติของฐานหินแกรนิตล้วนช่วยปกป้องความถูกต้องแม่นยำของการทดสอบแบบไม่ทำลายแผ่นเวเฟอร์ ในยุคการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ในปัจจุบันที่มุ่งเน้นความแม่นยำสูงสุด การเลือกใช้ฐานหินแกรนิตคุณภาพสูงจึงเปรียบเสมือนการเพิ่มหลักประกันที่มั่นคงให้กับความถูกต้องแม่นยำและความน่าเชื่อถือของผลการทดสอบ