ในโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ข้อกำหนดของกระบวนการผลิตชิปในด้านสภาพแวดล้อมและความแม่นยำของอุปกรณ์นั้นเข้มงวดมาก และความคลาดเคลื่อนเพียงเล็กน้อยอาจทำให้ผลผลิตชิปลดลงอย่างมาก แพลตฟอร์มการเคลื่อนที่แกนทรีความแม่นยำ XYZT อาศัยส่วนประกอบหินแกรนิตเพื่อทำงานร่วมกับส่วนอื่นๆ ของแพลตฟอร์ม เพื่อสร้างรากฐานที่แข็งแกร่งสำหรับการบรรลุความแม่นยำระดับนาโน
คุณสมบัติการป้องกันการสั่นสะเทือนที่ยอดเยี่ยม
ในโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การทำงานของอุปกรณ์ต่อพ่วงและการเดินของบุคลากรอาจทำให้เกิดการสั่นสะเทือนได้ โครงสร้างภายในของส่วนประกอบหินแกรนิตมีความหนาแน่นและสม่ำเสมอ มีคุณสมบัติการหน่วงสูงตามธรรมชาติ เปรียบเสมือน "กำแพงกั้น" การสั่นสะเทือนที่มีประสิทธิภาพ เมื่อการสั่นสะเทือนจากภายนอกถูกส่งไปยังแพลตฟอร์ม XYZT ส่วนประกอบหินแกรนิตจะสามารถลดพลังงานการสั่นสะเทือนได้มากกว่า 80% และลดการรบกวนของการสั่นสะเทือนต่อความแม่นยำในการเคลื่อนที่ของแพลตฟอร์ม ขณะเดียวกัน แพลตฟอร์มนี้ยังติดตั้งระบบนำลอยลมที่มีความแม่นยำสูง ซึ่งทำงานร่วมกับส่วนประกอบหินแกรนิต การนำลอยลมใช้ฟิล์มก๊าซที่เสถียรซึ่งเกิดจากก๊าซแรงดันสูง เพื่อให้ชิ้นส่วนที่เคลื่อนไหวของแพลตฟอร์มเคลื่อนที่แบบไร้สัมผัส และลดการสั่นสะเทือนเล็กน้อยที่เกิดจากแรงเสียดทานเชิงกล ทั้งสองสิ่งนี้ช่วยให้มั่นใจได้ว่าความแม่นยำในการวางตำแหน่งของแพลตฟอร์มจะคงอยู่ที่ระดับนาโนเมตรเสมอในกระบวนการสำคัญๆ เช่น การพิมพ์หินและการกัดกรด และหลีกเลี่ยงความคลาดเคลื่อนของรูปแบบวงจรชิปที่เกิดจากการสั่นสะเทือน
เสถียรภาพทางความร้อนดีเยี่ยม
ความผันผวนของอุณหภูมิและความชื้นในโรงงานมีอิทธิพลอย่างมากต่อความแม่นยำของอุปกรณ์การผลิตชิป ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนของหินแกรนิตต่ำมาก โดยทั่วไปอยู่ที่ 5-7 × 10⁻⁶/℃ และขนาดแทบไม่เปลี่ยนแปลงเมื่ออุณหภูมิเปลี่ยนแปลง แม้ว่าความแตกต่างของอุณหภูมิระหว่างกลางวันและกลางคืนในโรงงาน หรือความร้อนของอุปกรณ์จะทำให้อุณหภูมิโดยรอบผันผวน แต่ส่วนประกอบของหินแกรนิตยังคงมีเสถียรภาพเพื่อป้องกันการเสียรูปของแพลตฟอร์มเนื่องจากการขยายตัวและการหดตัวทางความร้อน ขณะเดียวกัน ระบบควบคุมอุณหภูมิอัจฉริยะที่ติดตั้งมาพร้อมกับแพลตฟอร์มจะตรวจสอบอุณหภูมิโดยรอบแบบเรียลไทม์ ปรับเครื่องปรับอากาศและอุปกรณ์ระบายความร้อนโดยอัตโนมัติ และรักษาอุณหภูมิภายในโรงงานไว้ที่ 20°C ±1°C เมื่อรวมกับข้อดีของเสถียรภาพทางความร้อนของหินแกรนิตแล้ว แพลตฟอร์มจึงมั่นใจได้ว่าจะทำงานในระยะยาว ความแม่นยำในการเคลื่อนที่ของแต่ละแกนจะตรงตามมาตรฐานความแม่นยำระดับนาโนเมตรของการผลิตชิปอยู่เสมอ เพื่อให้มั่นใจว่าขนาดของรูปแบบการพิมพ์หินของชิปมีความแม่นยำและความลึกในการกัดมีความสม่ำเสมอ
ตอบสนองความต้องการสิ่งแวดล้อมที่สะอาด
โรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์จำเป็นต้องรักษาความสะอาดในระดับสูงเพื่อป้องกันไม่ให้ฝุ่นละอองปนเปื้อนชิป ตัววัสดุหินแกรนิตเองไม่ก่อให้เกิดฝุ่น และพื้นผิวเรียบ ไม่ดูดซับฝุ่นได้ง่าย แพลตฟอร์มโดยรวมได้รับการออกแบบโครงสร้างแบบปิดสนิทหรือกึ่งปิด เพื่อลดฝุ่นละอองจากภายนอก ระบบหมุนเวียนอากาศภายในเชื่อมต่อกับระบบปรับอากาศที่สะอาดของโรงงาน เพื่อให้มั่นใจว่าความสะอาดของอากาศภายในจะอยู่ในระดับที่การผลิตชิปต้องการ ในสภาพแวดล้อมที่สะอาดนี้ ส่วนประกอบหินแกรนิตจะไม่ส่งผลกระทบต่อประสิทธิภาพการทำงานอันเนื่องมาจากการกัดเซาะของฝุ่น และส่วนประกอบสำคัญ เช่น เซ็นเซอร์และมอเตอร์ความแม่นยำสูงของแพลตฟอร์มยังสามารถทำงานได้อย่างเสถียร รับประกันความแม่นยำระดับนาโนเมตรที่ต่อเนื่องและเชื่อถือได้สำหรับการผลิตชิป และช่วยให้อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ก้าวไปสู่ระดับกระบวนการที่สูงขึ้น
เวลาโพสต์: 14 เม.ย. 2568