ชิ้นส่วนหินแกรนิตช่วยให้แพลตฟอร์มการเคลื่อนที่แบบโครงสร้างคานของ XYZT มีความแม่นยำสูง เพื่อให้มั่นใจได้ถึงความถูกต้องแม่นยำในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

ในโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ กระบวนการผลิตชิปมีความต้องการด้านสภาพแวดล้อมและความแม่นยำของอุปกรณ์สูงมาก และการเบี่ยงเบนเพียงเล็กน้อยอาจส่งผลให้ผลผลิตชิปลดลงอย่างมาก แพลตฟอร์มการเคลื่อนที่แบบโครงสร้างคานรับน้ำหนักความแม่นยำสูง XYZT ใช้ส่วนประกอบที่ทำจากหินแกรนิตทำงานร่วมกับส่วนอื่นๆ ของแพลตฟอร์มเพื่อสร้างรากฐานที่มั่นคงสำหรับการบรรลุความแม่นยำระดับนาโนสเกล
คุณสมบัติในการป้องกันการสั่นสะเทือนที่ยอดเยี่ยม
ในโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การทำงานของอุปกรณ์ต่อพ่วงและการเดินไปมาของบุคลากรอาจก่อให้เกิดการสั่นสะเทือน โครงสร้างภายในของชิ้นส่วนหินแกรนิตมีความหนาแน่นและสม่ำเสมอ มีคุณสมบัติในการลดการสั่นสะเทือนสูงตามธรรมชาติ เปรียบเสมือน "กำแพง" การสั่นสะเทือนที่มีประสิทธิภาพ เมื่อการสั่นสะเทือนภายนอกส่งผ่านไปยังแพลตฟอร์ม XYZT ชิ้นส่วนหินแกรนิตสามารถลดทอนพลังงานการสั่นสะเทือนได้มากกว่า 80% และลดการรบกวนของการสั่นสะเทือนต่อความแม่นยำในการเคลื่อนที่ของแพลตฟอร์ม ในขณะเดียวกัน แพลตฟอร์มยังติดตั้งระบบนำทางแบบลอยตัวด้วยอากาศที่มีความแม่นยำสูง ซึ่งทำงานร่วมกับชิ้นส่วนหินแกรนิต ระบบนำทางแบบลอยตัวด้วยอากาศใช้ฟิล์มก๊าซที่เสถียรซึ่งเกิดจากก๊าซแรงดันสูงเพื่อให้เกิดการเคลื่อนที่แบบแขวนลอยแบบไร้สัมผัสของชิ้นส่วนที่เคลื่อนที่ได้ของแพลตฟอร์ม และลดการสั่นสะเทือนเล็กน้อยที่เกิดจากแรงเสียดทานทางกล เมื่อรวมกันแล้ว ทั้งสองส่วนนี้ช่วยให้มั่นใจได้ว่าความแม่นยำในการกำหนดตำแหน่งของแพลตฟอร์มจะคงอยู่ที่ระดับนาโนเมตรเสมอในกระบวนการสำคัญ เช่น การพิมพ์และการกัดชิป และหลีกเลี่ยงการเบี่ยงเบนของรูปแบบวงจรชิปที่เกิดจากการสั่นสะเทือน
เสถียรภาพทางความร้อนดีเยี่ยม
ความผันผวนของอุณหภูมิและความชื้นในโรงงานมีผลกระทบอย่างมากต่อความแม่นยำของอุปกรณ์การผลิตชิป ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนของหินแกรนิตต่ำมาก โดยทั่วไปอยู่ที่ 5-7 × 10⁻⁶/℃ ขนาดแทบจะไม่เปลี่ยนแปลงเมื่ออุณหภูมิเปลี่ยนแปลง แม้ว่าความแตกต่างของอุณหภูมิระหว่างกลางวันและกลางคืนในโรงงานหรือความร้อนที่เกิดจากอุปกรณ์จะทำให้อุณหภูมิแวดล้อมผันผวน ชิ้นส่วนหินแกรนิตก็ยังคงมีเสถียรภาพเพื่อป้องกันการเสียรูปของแท่นเนื่องจากการขยายตัวและการหดตัวจากความร้อน ในขณะเดียวกัน ระบบควบคุมอุณหภูมิอัจฉริยะที่ติดตั้งบนแท่นจะตรวจสอบอุณหภูมิแวดล้อมแบบเรียลไทม์ ปรับเครื่องปรับอากาศและอุปกรณ์ระบายความร้อนโดยอัตโนมัติ และรักษาอุณหภูมิในโรงงานไว้ที่ 20°C ±1°C เมื่อรวมกับข้อดีของความเสถียรทางความร้อนของหินแกรนิต ทำให้มั่นใจได้ว่าแท่นจะทำงานได้ในระยะยาว ความแม่นยำในการเคลื่อนที่ของแต่ละแกนจะตรงตามมาตรฐานความแม่นยำระดับนาโนเมตรของการผลิตชิปเสมอ เพื่อให้มั่นใจว่าขนาดของลวดลายลิโทกราฟีบนชิปมีความแม่นยำและความลึกของการกัดเซาะสม่ำเสมอ
ตอบสนองความต้องการด้านการรักษาสิ่งแวดล้อมให้สะอาด
โรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์จำเป็นต้องรักษาความสะอาดในระดับสูงเพื่อป้องกันฝุ่นละอองปนเปื้อนชิป วัสดุหินแกรนิตเองไม่ก่อให้เกิดฝุ่น และพื้นผิวเรียบ ไม่ดูดซับฝุ่นได้ง่าย แพลตฟอร์มโดยรวมใช้การออกแบบโครงสร้างแบบปิดสนิทหรือกึ่งปิดเพื่อลดการเข้าของฝุ่นจากภายนอก ระบบหมุนเวียนอากาศภายในเชื่อมต่อกับระบบปรับอากาศสะอาดของโรงงานเพื่อให้แน่ใจว่าความสะอาดของอากาศภายในถึงระดับที่ต้องการสำหรับการผลิตชิป ในสภาพแวดล้อมที่สะอาดนี้ ชิ้นส่วนหินแกรนิตจะไม่ได้รับผลกระทบจากการกัดกร่อนของฝุ่น และชิ้นส่วนสำคัญ เช่น เซ็นเซอร์ความแม่นยำสูงและมอเตอร์ของแพลตฟอร์มก็สามารถทำงานได้อย่างเสถียร ให้การรับประกันความแม่นยำระดับนาโนที่ต่อเนื่องและเชื่อถือได้สำหรับการผลิตชิป และช่วยให้อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ก้าวไปสู่ระดับกระบวนการที่สูงขึ้น