วิธีการตรวจจับความเรียบของแพลตฟอร์มหินแกรนิตความแม่นยำ

ในสาขาการผลิตที่มีความแม่นยำและการวิจัยทางวิทยาศาสตร์ ความเรียบของแท่นหินแกรนิตที่มีความแม่นยำเป็นตัวบ่งชี้ที่สำคัญเพื่อรับประกันความแม่นยำของอุปกรณ์ ต่อไปนี้คือคำแนะนำโดยละเอียดเกี่ยวกับวิธีการตรวจจับกระแสหลักหลายวิธีและขั้นตอนการใช้งานสำหรับคุณ
I. วิธีการตรวจจับอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์เลเซอร์
อินเตอร์เฟอโรมิเตอร์เลเซอร์เป็นเครื่องมือที่ต้องการสำหรับการตรวจจับความเรียบที่มีความแม่นยำสูง ยกตัวอย่างอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์เลเซอร์ ZYGO GPI XP ซึ่งมีความละเอียดถึง 0.1 นาโนเมตร เมื่อทำการตรวจจับ ให้จัดตำแหน่งแหล่งกำเนิดแสงของอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ให้ตรงกับแพลตฟอร์มก่อน จากนั้นแบ่งพื้นผิวของแพลตฟอร์มออกเป็นพื้นที่กริดขนาด 50 มม. × 50 มม. จากนั้นรวบรวมข้อมูลขอบรบกวนทีละจุด จากนั้นจึงติดตั้งและวิเคราะห์ข้อมูลโดยใช้พหุนาม Zernike เพื่อให้ได้ข้อผิดพลาดของความเรียบ วิธีนี้ใช้ได้กับแพลตฟอร์มที่มีความแม่นยำสูงและสามารถตรวจจับข้อผิดพลาดของความเรียบได้ ≤0.5μm/m² โดยทั่วไปจะใช้ในการตรวจจับเครื่องโฟโตลิโธกราฟีและแพลตฟอร์มเครื่องวัดสามพิกัดระดับไฮเอนด์
Ii. วิธีการอาร์เรย์ระดับอิเล็กทรอนิกส์
การตรวจจับระดับอิเล็กทรอนิกส์นั้นใช้งานง่ายและมีประสิทธิภาพสูง โดยเลือกระดับอิเล็กทรอนิกส์ TESA A2 (ที่มีความละเอียด 0.01μm/m) และจัดเรียงเป็นอาร์เรย์ 9×9 ตามแนวแกน X/Y ของแพลตฟอร์ม โดยการรวบรวมข้อมูลความเอียงของแต่ละระดับอย่างซิงโครนัส จากนั้นจึงใช้วิธีกำลังสองน้อยที่สุดในการคำนวณ จึงสามารถได้ค่าความเรียบอย่างแม่นยำ วิธีนี้สามารถระบุสภาวะความเว้าและความนูนของแพลตฟอร์มได้อย่างมีประสิทธิภาพ ตัวอย่างเช่น สามารถตรวจจับความผันผวน 0.2μm ภายในช่วง 50 มม. ได้ ซึ่งเหมาะสำหรับการตรวจจับอย่างรวดเร็วในการผลิตจำนวนมาก
III. วิธีคริสตัลแบนออปติคัล
วิธีการคริสตัลแบนออปติคอลเหมาะสำหรับการตรวจจับแพลตฟอร์มพื้นที่ขนาดเล็ก ติดคริสตัลแบนออปติคอลให้แน่นบนพื้นผิวที่จะทดสอบบนแพลตฟอร์มและสังเกตขอบรบกวนที่เกิดขึ้นระหว่างคริสตัลภายใต้การส่องสว่างของแหล่งกำเนิดแสงสีเดียว (เช่น หลอดไฟโซเดียม) หากแถบเป็นแถบตรงขนาน แสดงว่ามีความแบนดี หากปรากฏแถบโค้ง ให้คำนวณข้อผิดพลาดของความแบนตามระดับความโค้งของแถบ แถบโค้งแต่ละแถบแสดงถึงความแตกต่างของความสูง 0.316μm และสามารถได้ข้อมูลความแบนจากการแปลงง่ายๆ
4. เครื่องวัดสามพิกัด วิธีการตรวจสอบ
เครื่องวัดสามพิกัดสามารถวัดพื้นที่สามมิติได้อย่างแม่นยำ วางแท่นหินแกรนิตบนโต๊ะทำงานของเครื่องวัดและใช้หัววัดเพื่อรวบรวมข้อมูลจากจุดวัดหลายจุดบนพื้นผิวของแท่นอย่างสม่ำเสมอ ระบบเครื่องวัดจะประมวลผลและวิเคราะห์ข้อมูลเหล่านี้เพื่อสร้างรายงานความเรียบของแท่น วิธีนี้ไม่เพียงแต่ตรวจจับความเรียบเท่านั้น แต่ยังรับพารามิเตอร์ทางเรขาคณิตอื่นๆ ของแท่นได้พร้อมกันอีกด้วย และเหมาะสำหรับการตรวจจับแท่นหินแกรนิตขนาดใหญ่อย่างครอบคลุม
การเชี่ยวชาญวิธีการตรวจจับเหล่านี้สามารถช่วยให้คุณประเมินความเรียบของแพลตฟอร์มความแม่นยำของหินแกรนิตได้อย่างแม่นยำ และให้การรับประกันที่เชื่อถือได้สำหรับการทำงานที่เสถียรของอุปกรณ์ความแม่นยำ