วิธีการตรวจจับความเรียบของแพลตฟอร์มหินแกรนิตความแม่นยำ

ในด้านการผลิตแม่นยำและการวิจัยทางวิทยาศาสตร์ ความเรียบของแท่นหินแกรนิตความแม่นยำสูงเป็นตัวบ่งชี้สำคัญที่ช่วยรับประกันความแม่นยำของอุปกรณ์ ต่อไปนี้คือรายละเอียดเบื้องต้นเกี่ยวกับวิธีการตรวจจับกระแสหลักและขั้นตอนการใช้งานสำหรับคุณ
I. วิธีการตรวจจับอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์เลเซอร์
เลเซอร์อินเตอร์เฟอโรมิเตอร์เป็นเครื่องมือที่นิยมใช้สำหรับการตรวจจับความเรียบที่มีความแม่นยำสูง ยกตัวอย่างเช่นเลเซอร์อินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ ZYGO GPI XP ซึ่งมีความละเอียดถึง 0.1 นาโนเมตร เมื่อทำการตรวจจับ ให้วางแหล่งกำเนิดแสงของอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ให้ตรงกับแท่นชั่งก่อน แล้วแบ่งพื้นผิวแท่นชั่งออกเป็นตารางขนาด 50 มม. x 50 มม. จากนั้น รวบรวมข้อมูลขอบรบกวนแบบจุดต่อจุด แล้วนำมาประกอบและวิเคราะห์โดยใช้พหุนามเซอร์นิเกเพื่อหาค่าความคลาดเคลื่อนของความเรียบ วิธีการนี้สามารถนำไปใช้กับแท่นชั่งที่มีความแม่นยำสูง และสามารถตรวจจับความคลาดเคลื่อนของความเรียบได้ ≤0.5μm/m² มักใช้ในการตรวจจับเครื่องโฟโตลิโทกราฟีและแท่นชั่งแบบสามพิกัดระดับไฮเอนด์
Ii. วิธีการอาร์เรย์ระดับอิเล็กทรอนิกส์
การตรวจจับระดับแบบอาร์เรย์อิเล็กทรอนิกส์ใช้งานง่ายและมีประสิทธิภาพสูง TESA A2 ระดับอิเล็กทรอนิกส์ (ความละเอียด 0.01 ไมโครเมตร/เมตร) ถูกเลือกและจัดเรียงเป็นอาร์เรย์ 9×9 ตามแนวแกน X/Y ของแท่น ด้วยการรวบรวมข้อมูลความเอียงของแต่ละระดับแบบซิงโครนัส แล้วใช้วิธีกำลังสองน้อยที่สุดในการคำนวณ ทำให้ได้ค่าความเรียบที่แม่นยำ วิธีนี้สามารถระบุสภาวะความเว้าและความนูนของแท่นได้อย่างมีประสิทธิภาพ ยกตัวอย่างเช่น สามารถตรวจจับความผันผวน 0.2 ไมโครเมตร ภายในระยะ 50 มิลลิเมตร ซึ่งเหมาะสำหรับการตรวจจับอย่างรวดเร็วในการผลิตจำนวนมาก
III. วิธีคริสตัลแบนออปติคัล
วิธีคริสตัลแบนออปติคัลเหมาะสำหรับการตรวจจับแพลตฟอร์มพื้นที่ขนาดเล็ก ยึดคริสตัลแบนออปติคัลให้แน่นบนพื้นผิวที่จะทดสอบบนแพลตฟอร์ม และสังเกตขอบการรบกวนที่เกิดขึ้นระหว่างคริสตัลภายใต้แสงไฟจากแหล่งกำเนิดแสงสีเดียว (เช่น หลอดโซเดียม) หากแถบเป็นแถบตรงขนาน แสดงว่ามีความเรียบที่ดี หากปรากฏแถบโค้ง ให้คำนวณความคลาดเคลื่อนของความเรียบโดยพิจารณาจากระดับความโค้งของแถบ แถบโค้งแต่ละแถบแสดงถึงความแตกต่างของความสูง 0.316 ไมโครเมตร และสามารถหาค่าความเรียบได้จากการแปลงค่าอย่างง่าย
4. เครื่องวัดสามพิกัด วิธีการตรวจสอบ
เครื่องวัดสามพิกัดสามารถวัดพื้นที่สามมิติได้อย่างแม่นยำ วางแท่นหินแกรนิตบนโต๊ะทำงานของเครื่องวัด และใช้หัววัดเพื่อรวบรวมข้อมูลจากจุดวัดหลายจุดบนพื้นผิวของแท่นอย่างสม่ำเสมอ ระบบเครื่องวัดจะประมวลผลและวิเคราะห์ข้อมูลเหล่านี้เพื่อสร้างรายงานความเรียบของแท่น วิธีการนี้ไม่เพียงแต่สามารถตรวจจับความเรียบได้เท่านั้น แต่ยังสามารถรับค่าพารามิเตอร์ทางเรขาคณิตอื่นๆ ของแท่นได้พร้อมกัน และเหมาะสำหรับการตรวจจับแท่นหินแกรนิตขนาดใหญ่อย่างครอบคลุม
การเชี่ยวชาญวิธีการตรวจจับเหล่านี้สามารถช่วยให้คุณประเมินความเรียบของแพลตฟอร์มความแม่นยำของหินแกรนิตได้อย่างแม่นยำ และให้การรับประกันที่เชื่อถือได้สำหรับการทำงานที่เสถียรของอุปกรณ์ความแม่นยำ