ถอดรหัส “พลังแห่งหิน” ที่อยู่เบื้องหลังการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ – ส่วนประกอบความแม่นยำของหินแกรนิตสามารถปรับเปลี่ยนขอบเขตความแม่นยำของการผลิตชิปได้อย่างไร

การปฏิวัติความแม่นยำในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์: เมื่อหินแกรนิตพบกับเทคโนโลยีระดับไมครอน
1.1 การค้นพบที่ไม่คาดคิดในศาสตร์วัสดุ
รายงานของสมาคมเซมิคอนดักเตอร์นานาชาติ SEMI ประจำปี 2023 ระบุว่า 63% ของโรงงานผลิตขั้นสูงทั่วโลกได้เริ่มใช้ฐานหินแกรนิตแทนฐานโลหะแบบดั้งเดิม หินธรรมชาติชนิดนี้ซึ่งมีต้นกำเนิดจากการควบแน่นของแมกมาที่อยู่ลึกลงไปในโลก กำลังเขียนประวัติศาสตร์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขึ้นใหม่ เนื่องจากคุณสมบัติทางกายภาพที่เป็นเอกลักษณ์:

ข้อได้เปรียบของความเฉื่อยทางความร้อน: ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนของหินแกรนิต 4.5×10⁻⁶/℃ เป็นเพียง 1/5 ของสแตนเลส และเสถียรภาพมิติ ±0.001 มม. ได้รับการรักษาไว้ในการทำงานต่อเนื่องของเครื่องพิมพ์หิน

ลักษณะการลดการสั่นสะเทือน: ค่าสัมประสิทธิ์แรงเสียดทานภายในสูงกว่าเหล็กหล่อ 15 เท่า ช่วยดูดซับการสั่นสะเทือนขนาดเล็กของอุปกรณ์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ

ลักษณะแม่เหล็กเป็นศูนย์: กำจัดข้อผิดพลาดของแม่เหล็กในการวัดด้วยเลเซอร์ได้อย่างสมบูรณ์

1.2 การเดินทางแห่งการเปลี่ยนแปลงจากเหมืองสู่โรงงาน
โดยใช้ฐานการผลิตอัจฉริยะของ ZHHIMG ในมณฑลซานตงเป็นตัวอย่าง หินแกรนิตดิบชิ้นหนึ่งจะต้องผ่านกระบวนการดังต่อไปนี้:

เครื่องจักรกลที่มีความแม่นยำสูง: ศูนย์เครื่องจักรกลแบบเชื่อมต่อ 5 แกนสำหรับการกัดต่อเนื่อง 200 ชั่วโมง ความหยาบของพื้นผิวสูงถึง Ra0.008μm

การบำบัดด้วยการทำให้เก่าด้วยเทียม: ปลดปล่อยความเครียดตามธรรมชาติเป็นเวลา 48 ชั่วโมงในเวิร์กช็อปที่มีอุณหภูมิและความชื้นคงที่ ซึ่งช่วยเพิ่มความเสถียรของผลิตภัณฑ์ได้ 40%
ประการที่สอง ไขปัญหาความแม่นยำ 6 ประการของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ "โซลูชันหิน"
2.1 แผนการลดอัตราการแตกตัวของเวเฟอร์

การสาธิตกรณีศึกษา: หลังจากโรงหล่อชิปในเยอรมนีนำแพลตฟอร์มหินแกรนิตลอยน้ำก๊าซของเรามาใช้:

เส้นผ่านศูนย์กลางเวเฟอร์	การลดอัตราชิป	การปรับปรุงความเรียบ
12 นิ้ว	67%	≤0.001 มม.
18 นิ้ว	82%	≤0.0005 มม.

2.2 แผนการพัฒนาความแม่นยำในการจัดตำแหน่งหิน

ระบบชดเชยอุณหภูมิ: เซ็นเซอร์เซรามิกฝังตัวตรวจสอบการเปลี่ยนแปลงรูปร่างแบบเรียลไทม์และปรับความเอียงของแพลตฟอร์มโดยอัตโนมัติ
ข้อมูลที่วัดได้: ภายใต้ความผันผวน 28℃±5℃ ความแม่นยำในการฝังจะผันผวนน้อยกว่า 0.12μm