ถอดรหัส “พลังแห่งหิน” ที่อยู่เบื้องหลังการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ – ส่วนประกอบความแม่นยำของหินแกรนิตสามารถปรับเปลี่ยนขอบเขตความแม่นยำของการผลิตชิปได้อย่างไร

การปฏิวัติความแม่นยำในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์: เมื่อหินแกรนิตพบกับเทคโนโลยีระดับไมครอน
1.1 การค้นพบที่ไม่คาดคิดในศาสตร์วัสดุ
ตามรายงานของสมาคมเซมิคอนดักเตอร์ระหว่างประเทศ SEMI ประจำปี 2023 ระบุว่าโรงงานขั้นสูง 63% ของโลกได้เริ่มใช้ฐานหินแกรนิตแทนฐานโลหะแบบดั้งเดิม หินธรรมชาตินี้ซึ่งมีต้นกำเนิดจากการควบแน่นของแมกมาในส่วนลึกของโลก กำลังเขียนประวัติศาสตร์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขึ้นใหม่ เนื่องจากมีคุณสมบัติทางกายภาพที่เป็นเอกลักษณ์:

ข้อได้เปรียบของความเฉื่อยทางความร้อน: ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนของหินแกรนิต 4.5×10⁻⁶/℃ เป็นเพียง 1/5 ของค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนของสแตนเลส และความเสถียรของมิติ ±0.001 มม. ได้รับการรักษาไว้ในการทำงานต่อเนื่องของเครื่องพิมพ์หิน

ลักษณะการลดการสั่นสะเทือน: ค่าสัมประสิทธิ์แรงเสียดทานภายในสูงกว่าเหล็กหล่อถึง 15 เท่า ช่วยดูดซับการสั่นสะเทือนขนาดเล็กของอุปกรณ์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ

ลักษณะการทำให้เป็นแม่เหล็กเป็นศูนย์: ขจัดข้อผิดพลาดของแม่เหล็กในการวัดด้วยเลเซอร์ได้อย่างสมบูรณ์

1.2 การเดินทางแห่งการเปลี่ยนแปลงจากเหมืองสู่โรงงาน
โดยใช้ฐานการผลิตอัจฉริยะของ ZHHIMG ในมณฑลซานตงเป็นตัวอย่าง หินแกรนิตดิบหนึ่งชิ้นจะต้องผ่านกระบวนการดังต่อไปนี้:

เครื่องจักรกลที่มีความแม่นยำเป็นพิเศษ: ศูนย์เครื่องจักรกลแบบเชื่อมโยงห้าแกนสำหรับการกัดต่อเนื่อง 200 ชั่วโมง ความหยาบของพื้นผิวสูงสุดถึง Ra0.008μm

การบำบัดด้วยการทำให้เก่าด้วยเทียม: การปลดปล่อยความเครียดตามธรรมชาติเป็นเวลา 48 ชั่วโมงในเวิร์กช็อปที่มีอุณหภูมิและความชื้นคงที่ ซึ่งช่วยเพิ่มเสถียรภาพของผลิตภัณฑ์ได้ 40%
ประการที่สอง ไขปัญหาความแม่นยำ 6 ประการของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ "วิธีแก้ปัญหาหิน"
2.1 แผนการลดอัตราการแตกตัวของเวเฟอร์

การสาธิตกรณีศึกษา: หลังจากโรงหล่อชิปในเยอรมนีนำแพลตฟอร์มแกรนิตลอยน้ำก๊าซของเรามาใช้:

เส้นผ่านศูนย์กลางเวเฟอร์	การลดอัตราชิป	การปรับปรุงความเรียบ
12 นิ้ว	67%	≤0.001มม.
18 นิ้ว	82%	≤0.0005มม.

2.2 แผนการก้าวล้ำความแม่นยำในการจัดตำแหน่งลิโทกราฟิก

ระบบชดเชยอุณหภูมิ: เซ็นเซอร์เซรามิกฝังตัวตรวจสอบการเปลี่ยนแปลงรูปร่างแบบเรียลไทม์และปรับความเอียงของแพลตฟอร์มโดยอัตโนมัติ
ข้อมูลที่วัดได้: ภายใต้ความผันผวน 28℃±5℃ ความแม่นยำในการฝังจะผันผวนน้อยกว่า 0.12μm