ฐานเครื่องจักรหินแกรนิตที่มีความแม่นยำสูงสามารถช่วยเพิ่มประสิทธิภาพของเครื่องจักรกลกลึงเวเฟอร์ได้หรือไม่?

ในโดเมนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เครื่องทำร่องเวเฟอร์มีบทบาทสำคัญในการสร้างช่องที่แม่นยำบนเวเฟอร์ ประสิทธิภาพของเครื่องจักรเหล่านี้สามารถส่งผลกระทบได้อย่างมาก
d โดยการเลือกฐานเครื่องจักร ฐานเครื่องจักรหินแกรนิตที่มีความแม่นยำสูง เช่น ฐานเครื่องจักรที่ ZHHIMG® นำเสนอ ได้กลายเป็นตัวเปลี่ยนเกมในเรื่องนี้
ความเสถียรสำหรับการทำร่องที่แม่นยำ
ความเสถียรถือเป็นสิ่งสำคัญที่สุดในการทำร่องเวเฟอร์ หินแกรนิตซึ่งมีความหนาแน่นสูงถึง 3,100 กก./ลบ.ม. ช่วยให้ฐานมีความเสถียรอย่างยิ่ง ในระหว่างกระบวนการทำร่อง เครื่องมือตัดจะออกแรงกับเวเฟอร์ ฐานเครื่องจักรที่มั่นคง เช่น ฐานที่ทำจากหินแกรนิต ช่วยให้กลไกยึดเวเฟอร์อยู่ในตำแหน่งที่มั่นคง ความเสถียรนี้จะช่วยลดการเคลื่อนตัวหรือการสั่นสะเทือนที่ไม่ต้องการของเวเฟอร์ ทำให้เครื่องมือตัดสามารถสร้างร่องได้อย่างแม่นยำ ในทางกลับกัน วัสดุฐานที่ไม่เสถียรอาจทำให้เวเฟอร์เคลื่อนเล็กน้อย ส่งผลให้ร่องกว้างเกินไป แคบเกินไป หรือไม่ตรง ซึ่งอาจส่งผลกระทบอย่างรุนแรงต่อการทำงานของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ขั้นสุดท้าย

ระบบลดแรงสั่นสะเทือนเพื่อการทำงานที่ราบรื่น
การสั่นสะเทือนเป็นปัญหาที่เกิดขึ้นโดยธรรมชาติในกระบวนการตัดเฉือนทุกประเภท และการทำร่องเวเฟอร์ก็ไม่มีข้อยกเว้น การหมุนด้วยความเร็วสูงของเครื่องมือตัดในเครื่องทำร่องเวเฟอร์ก่อให้เกิดการสั่นสะเทือน หากการสั่นสะเทือนเหล่านี้ไม่ได้รับการลดทอนลงอย่างมีประสิทธิภาพ อาจทำให้ขอบเวเฟอร์แตก ร่องมีความลึกไม่เท่ากัน และพื้นผิวที่เสร็จสิ้นไม่ดี หินแกรนิตมีคุณสมบัติในการลดการสั่นสะเทือนได้ดีเยี่ยม โครงสร้างตามธรรมชาติของหินแกรนิตซึ่งประกอบด้วยเมล็ดแร่ที่ประสานกันทำหน้าที่เป็นตัวดูดซับแรงกระแทกตามธรรมชาติ เมื่อเกิดการสั่นสะเทือน พลังงานจะกระจายไปในหินแกรนิต ทำให้แรงกระแทกต่อเวเฟอร์และเครื่องมือตัดลดลง ส่งผลให้การตัดราบรื่นขึ้น เครื่องมือมีอายุการใช้งานยาวนานขึ้น และเวเฟอร์ที่มีร่องมีคุณภาพสูงขึ้น
ทนทานต่อความร้อนเพื่อผลลัพธ์ที่สม่ำเสมอ
โรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์มักดำเนินการในสภาพแวดล้อมที่มีการควบคุม แต่ยังคงมีความผันผวนของอุณหภูมิเพียงเล็กน้อย หินแกรนิตมีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อนต่ำมาก ซึ่งหมายความว่าเมื่ออุณหภูมิเปลี่ยนแปลงเล็กน้อยในระหว่างกระบวนการทำร่องเวเฟอร์ (ไม่ว่าจะเกิดจากความร้อนที่เกิดจากเครื่องมือตัดหรือการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิโดยรอบ) ฐานเครื่องหินแกรนิตจะไม่ขยายหรือหดตัวอย่างมีนัยสำคัญ ในการทำร่องเวเฟอร์ ซึ่งความคลาดเคลื่อนของความแม่นยำอยู่ในระดับไมโครเมตรหรือแม้กระทั่งระดับนาโนเมตร การเปลี่ยนแปลงมิติที่เกิดจากความร้อนอาจส่งผลร้ายแรงได้ เสถียรภาพทางความร้อนของหินแกรนิตช่วยรักษาการจัดตำแหน่งของส่วนประกอบเครื่อง ทำให้มั่นใจได้ว่ากระบวนการทำร่องยังคงแม่นยำและสม่ำเสมอตลอดเวลา
ความทนทานสำหรับการใช้งานในระยะยาว
เครื่องทำร่องเวเฟอร์ถูกนำมาใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ปริมาณมากอย่างต่อเนื่อง ฐานของเครื่องจักรต้องรับแรงกดทางกล แรงเสียดทาน และแรงกระแทกเป็นครั้งคราว ความแข็งสูงและลักษณะทนทานต่อการสึกหรอของแกรนิตทำให้แกรนิตเป็นวัสดุที่เหมาะสำหรับการใช้งานในระยะยาว สามารถทนต่อการใช้งานประจำวันได้โดยไม่สึกหรอหรือผิดรูปมากนัก ความทนทานนี้ช่วยลดความจำเป็นในการเปลี่ยนบ่อยครั้งหรือการบำรุงรักษาที่มีค่าใช้จ่ายสูงอันเนื่องมาจากปัญหาที่เกี่ยวข้องกับฐาน นอกจากนี้ แกรนิตยังไม่ทำปฏิกิริยาทางเคมี ซึ่งหมายความว่าแกรนิตทนต่อการกัดกร่อนจากสารเคมีที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ทำให้มีอายุการใช้งานยาวนานขึ้น
โดยสรุป ฐานเครื่องจักรหินแกรนิตที่มีความแม่นยำสูงสามารถเพิ่มประสิทธิภาพการทำงานของเครื่องจักรร่องเวเฟอร์ได้จริง ฐานเครื่องจักรหินแกรนิตช่วยให้การร่องเวเฟอร์มีความแม่นยำ มีประสิทธิภาพ และเชื่อถือได้มากขึ้น โดยให้ความเสถียร ลดการสั่นสะเทือน ทนต่อการเปลี่ยนแปลงความร้อน และมีความทนทานในระยะยาว เมื่อพิจารณาอัปเกรดหรือซื้อเครื่องจักรร่องเวเฟอร์ใหม่ การเลือกเครื่องจักรที่มีฐานเครื่องจักรหินแกรนิตที่มีความแม่นยำสูง เช่น เครื่องจักรจาก ZHHIMG® ถือเป็นการตัดสินใจที่ชาญฉลาด ซึ่งจะช่วยปรับปรุงคุณภาพและผลผลิตของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ได้อย่างมาก