แนวทางปฏิบัติที่ดีที่สุดในการบำรุงรักษาแพลตฟอร์มหินแกรนิต: วิธีการเพื่อให้แน่ใจว่ามีความแม่นยำในระยะยาว

แพลตฟอร์มหินแกรนิตในฐานะเครื่องมืออ้างอิงสำหรับการวัดและการประมวลผลที่แม่นยำ การรักษาความแม่นยำส่งผลโดยตรงต่อคุณภาพการผลิต ต่อไปนี้คือแผนการบำรุงรักษาอย่างเป็นระบบที่ครอบคลุมการควบคุมสภาพแวดล้อม การบำรุงรักษาประจำวัน และการสอบเทียบโดยผู้เชี่ยวชาญ เพื่อให้มั่นใจว่าแพลตฟอร์มจะรักษาความแม่นยำระดับนาโนเมตรได้เป็นเวลานาน
1. การควบคุมสิ่งแวดล้อม: สร้างกำแพงป้องกันที่แม่นยำ
การจัดการอุณหภูมิและความชื้น
อุณหภูมิสภาพแวดล้อมการทำงานต้องคงที่ที่ 20±1℃ ความผันผวนทุกๆ 1℃ จะทำให้แท่นหินแกรนิตเกิดการเสียรูปเนื่องจากความร้อน 0.5-1μm/m สามารถติดตั้งระบบควบคุมอุณหภูมิคงที่ในโรงงานเพื่อป้องกันไม่ให้ช่องระบายอากาศของเครื่องปรับอากาศถูกพัดไปที่แท่นโดยตรง
ควรควบคุมความชื้นให้อยู่ระหว่าง 40% ถึง 60% ความชื้นที่มากเกินไปอาจทำให้เกิดสนิมบนชิ้นส่วนโลหะได้ง่าย ในขณะที่ความชื้นที่ต่ำเกินไปอาจทำให้เกิดไฟฟ้าสถิตรบกวนระหว่างการวัด
การแยกการสั่นสะเทือน
ควรวางแท่นให้ห่างจากแหล่งกำเนิดการสั่นสะเทือน เช่น เครื่องปั๊มและเครื่องกัด ขอแนะนำให้รักษาระยะห่างจากอุปกรณ์สั่นสะเทือนมากกว่า 3 เมตร
หากไม่สามารถหลีกเลี่ยงการสั่นสะเทือนได้ สามารถติดตั้งโช้คอัพแบบสปริงลมที่ด้านล่างของแพลตฟอร์มเพื่อลดผลกระทบของการสั่นสะเทือนจากสภาพแวดล้อมต่อความเรียบของแพลตฟอร์ม (ซึ่งสามารถลดการสั่นสะเทือนจากภายนอกได้มากกว่า 80%)
2. การบำรุงรักษาประจำวัน: การควบคุมอย่างพิถีพิถันตั้งแต่การทำความสะอาดจนถึงการปกป้อง
ข้อมูลจำเพาะการทำความสะอาดพื้นผิว
การกำจัดฝุ่น: เช็ดพื้นผิวด้วยหนังกวางหรือผ้าที่ไม่เป็นขุยในทิศทางเดียวกันทุกวัน เพื่อป้องกันฝุ่นละออง (≥5μm) ไม่ให้ขูดขีดพื้น คราบฝังแน่นสามารถเช็ดออกเบาๆ ด้วยเอทานอลปราศจากน้ำ (ความบริสุทธิ์ ≥99.7%) ห้ามใช้ตัวทำละลายที่มีฤทธิ์รุนแรง เช่น อะซิโตน
การขจัดคราบไขมัน: หากสัมผัสกับคราบน้ำมัน ให้เช็ดด้วยน้ำยาทำความสะอาดที่เป็นกลางเจือจาง จากนั้นล้างออกด้วยน้ำปราศจากไอออนและปล่อยให้แห้งโดยลม เพื่อป้องกันไม่ให้น้ำมันแร่แทรกซึมเข้าไปในรูพรุนเล็กๆ ของแพลตฟอร์ม
การป้องกันการโหลดและการชน
ควรควบคุมความสามารถในการรับน้ำหนักของแพลตฟอร์มให้อยู่ภายใน 70% ของน้ำหนักบรรทุกที่กำหนด (ตัวอย่างเช่น สำหรับแพลตฟอร์มที่มีน้ำหนัก 1,000 กก. ขอแนะนำให้รับน้ำหนักไม่เกิน 700 กก.) เพื่อหลีกเลี่ยงการเสียรูปถาวรที่เกิดจากการโอเวอร์โหลดในบริเวณนั้น
ห้ามกระแทกชิ้นงานบนแท่นโดยเด็ดขาด ขณะใช้งานเครื่องมือ ควรสวมถุงมือนุ่มๆ เพื่อป้องกันไม่ให้วัตถุมีคมขีดข่วนพื้นผิว (รอยขีดข่วนที่มีความลึกมากกว่า 20 ไมโครเมตรจะส่งผลต่อการวัดเส้นทางแสงสะท้อน)
3. การสอบเทียบระดับมืออาชีพ: หัวใจสำคัญของการรักษาความแม่นยำทางวิทยาศาสตร์
การตั้งค่ารอบการสอบเทียบ
สถานการณ์การใช้งานทั่วไป: ปรับเทียบทุกไตรมาสหนึ่งครั้ง และใช้เครื่องวัดการรบกวนแบบเลเซอร์เพื่อตรวจจับความเรียบ (ด้วยความแม่นยำ ±0.5μm/m)
การใช้งานความถี่สูงหรือสภาพแวดล้อมที่รุนแรง: การสอบเทียบรายเดือน โดยเน้นที่การตรวจสอบพื้นที่ที่อ่อนไหวต่ออุณหภูมิ (เช่น ขอบของแพลตฟอร์มใกล้แหล่งความร้อน)

การประมวลผลหลังการสอบเทียบ
หากพบความคลาดเคลื่อนของความเรียบ (เช่น > ±1μm/m) ต้องทำการเจียรและซ่อมแซมโดยช่างเทคนิคผู้เชี่ยวชาญโดยใช้ผงละเอียด W1.5 ห้ามขัดด้วยกระดาษทรายโดยเด็ดขาด
หลังจากการสอบเทียบแล้ว ควรบันทึกและเก็บถาวรข้อมูล และควรสร้างเส้นโค้งการลดทอนความแม่นยำของแพลตฟอร์มเพื่อคาดการณ์ความต้องการในการบำรุงรักษาล่วงหน้า
4. การจัดเก็บและการขนส่ง: หลีกเลี่ยงการสูญเสียความแม่นยำที่ซ่อนอยู่
จุดสำคัญสำหรับการจัดเก็บในระยะยาว
เมื่อจัดเก็บ ควรคลุมด้วยผ้าคลุมกันความชื้นและฝุ่นละออง ฐานรองรับควรมีจุดรองรับ 3 จุด (จุดรองรับอยู่ที่ 2/9 ของความยาวฐาน) เพื่อป้องกันการโค้งงอเนื่องจากแรงโน้มถ่วง (ฐานรองรับขนาด 1 เมตรอาจหย่อนลง 0.3 ไมโครเมตร เนื่องจากจุดรองรับจุดเดียวในระยะยาว)
ย้ายตำแหน่งจุดรองรับแพลตฟอร์มเป็นประจำ (เดือนละครั้ง) เพื่อหลีกเลี่ยงแรงกดดันในพื้นที่ในระยะยาว
แผนคุ้มครองการขนส่ง
การขนส่งระยะสั้น: หุ้มด้วยโฟมดูดซับแรงกระแทก ยึดไว้ภายในกรอบแข็ง และรักษาความเร่งให้ไม่เกิน 2g
การขนส่งระยะไกล: จำเป็นต้องบรรจุสูญญากาศและเติมไนโตรเจนแห้ง เมื่อมาถึง ควรทิ้งไว้ 24 ชั่วโมงจนกว่าอุณหภูมิจะถึงจุดสมดุลก่อนแกะบรรจุภัณฑ์ เพื่อป้องกันไม่ให้น้ำควบแน่นส่งผลกระทบต่อความแม่นยำ
5. การทำนายข้อผิดพลาด: เทคนิคในการระบุปัญหาเบื้องต้น
การตรวจสอบด้วยสายตา: สังเกตพื้นผิวเป็นประจำด้วยแว่นขยายกำลังขยาย 40 เท่า หากพบรอยขีดข่วนอย่างต่อเนื่องหรือความเงาลดลงอย่างเห็นได้ชัด อาจบ่งชี้ถึงความแม่นยำที่ลดลง
การตรวจจับเสียง: แตะแพลตฟอร์มเบาๆ หากเสียงแหบ (ปกติควรจะเป็นเสียงที่ชัดเจน) อาจมีเสียงแตกเล็กๆ อยู่ภายใน หยุดใช้ทันทีเพื่อการตรวจจับ

ด้วยระบบการบำรุงรักษานี้ แพลตฟอร์มหินแกรนิต ZHHIMG® สามารถรักษาความเรียบ ±1μm/m ได้นานถึง 10 ปี ซึ่งยาวนานกว่าอายุการใช้งานที่แม่นยำของแพลตฟอร์มที่ไม่ได้รับการบำรุงรักษาอย่างเหมาะสมถึงสามเท่า ในทางปฏิบัติได้พิสูจน์แล้วว่าหลังจากโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์แห่งหนึ่งนำโซลูชันนี้ไปใช้ ความถี่ในการสอบเทียบแพลตฟอร์มลดลง 50% และประหยัดต้นทุนการบำรุงรักษารายปีได้มากกว่า 150,000 หยวน