แนวทางปฏิบัติที่ดีที่สุดสำหรับการบำรุงรักษาแท่นหินแกรนิต: วิธีการเพื่อให้มั่นใจถึงความถูกต้องแม่นยำในระยะยาว

แท่นหินแกรนิตเป็นเครื่องมืออ้างอิงสำหรับการวัดและการประมวลผลที่แม่นยำ การรักษาความแม่นยำของแท่นจึงส่งผลโดยตรงต่อคุณภาพการผลิต ต่อไปนี้เป็นแผนการบำรุงรักษาอย่างเป็นระบบ ซึ่งครอบคลุมการควบคุมสภาพแวดล้อม การบำรุงรักษาประจำวัน และการสอบเทียบอย่างมืออาชีพ เพื่อให้มั่นใจว่าแท่นจะรักษาความแม่นยำระดับนาโนเมตรได้เป็นเวลานาน
1. การควบคุมสภาพแวดล้อม: สร้างแนวป้องกันที่มีความแม่นยำสูง
การจัดการอุณหภูมิและความชื้น
อุณหภูมิสภาพแวดล้อมในการทำงานต้องคงที่ที่ 20±1℃ การเปลี่ยนแปลงทุกๆ 1℃ จะทำให้เกิดการเสียรูปทางความร้อนของแท่นหินแกรนิตที่ 0.5-1 μm/m สามารถติดตั้งระบบควบคุมอุณหภูมิคงที่ในโรงงานเพื่อป้องกันไม่ให้ลมจากเครื่องปรับอากาศพัดลงบนแท่นโดยตรง
ควรควบคุมระดับความชื้นให้อยู่ระหว่าง 40% ถึง 60% ความชื้นสูงเกินไปอาจทำให้เกิดสนิมบนชิ้นส่วนโลหะได้ง่าย ในขณะที่ความชื้นต่ำเกินไปอาจทำให้เกิดไฟฟ้าสถิตรบกวนการวัดได้
การแยกการสั่นสะเทือน
ควรวางแท่นวางให้ห่างจากแหล่งกำเนิดการสั่นสะเทือน เช่น เครื่องปั๊มขึ้นรูปและเครื่องกัด แนะนำให้รักษาระยะห่างมากกว่า 3 เมตรจากอุปกรณ์ที่ก่อให้เกิดการสั่นสะเทือน
หากไม่สามารถหลีกเลี่ยงการสั่นสะเทือนได้ สามารถติดตั้งโช้คอัพแบบสปริงลมที่ด้านล่างของแท่นเพื่อลดผลกระทบของการสั่นสะเทือนจากสภาพแวดล้อมต่อความเรียบของแท่น (ซึ่งสามารถลดการสั่นสะเทือนภายนอกได้มากกว่า 80%)
2. การบำรุงรักษาประจำวัน: การควบคุมอย่างพิถีพิถันตั้งแต่การทำความสะอาดไปจนถึงการปกป้อง
ข้อกำหนดการทำความสะอาดพื้นผิว
การกำจัดฝุ่น: เช็ดพื้นผิวด้วยผ้าหนังกลับหรือผ้าที่ไม่เป็นขุยในทิศทางเดียวกันทุกวัน เพื่อป้องกันไม่ให้ฝุ่นละออง (≥5μm) ขูดขีดพื้นผิว คราบฝังแน่นสามารถเช็ดเบาๆ ด้วยเอทานอลปราศจากน้ำ (ความบริสุทธิ์ ≥99.7%) ห้ามใช้ตัวทำละลายที่รุนแรง เช่น อะซิโตน
การขจัดคราบไขมัน: หากพื้นผิวสัมผัสกับคราบน้ำมัน ให้เช็ดด้วยน้ำยาทำความสะอาดที่เป็นกลางเจือจาง แล้วล้างออกด้วยน้ำปราศจากไอออน และผึ่งลมให้แห้งเพื่อป้องกันไม่ให้น้ำมันแร่ซึมเข้าไปในรูพรุนเล็กๆ ของพื้นผิว
การป้องกันการรับน้ำหนักและการชน
ความสามารถในการรับน้ำหนักของแท่นควรถูกควบคุมให้อยู่ภายใน 70% ของน้ำหนักบรรทุกที่กำหนด (ตัวอย่างเช่น สำหรับแท่นขนาด 1000 กิโลกรัม แนะนำให้รับน้ำหนักไม่เกิน 700 กิโลกรัม) เพื่อหลีกเลี่ยงการเสียรูปถาวรที่เกิดจากการรับน้ำหนักเกินเฉพาะจุด
ห้ามกระแทกชิ้นงานบนแท่นโดยเด็ดขาด เมื่อใช้งานเครื่องมือ ให้สวมถุงมือยางเพื่อป้องกันไม่ให้ของมีคมขูดพื้นผิว (รอยขีดข่วนที่มีความลึกมากกว่า 20 ไมโครเมตร จะส่งผลต่อการวัดเส้นทางแสงสะท้อน)
3. การสอบเทียบอย่างมืออาชีพ: หัวใจสำคัญของการรักษาความแม่นยำทางวิทยาศาสตร์
การตั้งค่ารอบการสอบเทียบ
สถานการณ์การใช้งานทั่วไป: ปรับเทียบทุกไตรมาส และใช้เครื่องวัดความเรียบด้วยเลเซอร์ (มีความแม่นยำ ±0.5 μm/m)
การใช้งานบ่อยครั้งหรือสภาพแวดล้อมที่รุนแรง: ควรทำการสอบเทียบเป็นประจำทุกเดือน โดยเน้นการตรวจสอบบริเวณที่ไวต่ออุณหภูมิ (เช่น ขอบของแท่นใกล้แหล่งความร้อน)

การประมวลผลหลังการปรับเทียบ
หากพบความเบี่ยงเบนของความเรียบ (เช่น มากกว่า ±1 μm/m) จะต้องทำการขัดและซ่อมแซมโดยช่างผู้เชี่ยวชาญโดยใช้ผงละเอียด W1.5 การขัดด้วยตนเองโดยใช้กระดาษทรายเป็นสิ่งต้องห้ามโดยเด็ดขาด
หลังจากทำการปรับเทียบแล้ว ควรบันทึกและจัดเก็บข้อมูล และควรสร้างเส้นโค้งการลดทอนความแม่นยำของแพลตฟอร์มเพื่อคาดการณ์ความต้องการในการบำรุงรักษาล่วงหน้า
4. การจัดเก็บและการขนส่ง: หลีกเลี่ยงการสูญเสียความแม่นยำโดยไม่คาดคิด
จุดสำคัญสำหรับการจัดเก็บระยะยาว
เมื่อจัดเก็บ ควรคลุมด้วยวัสดุกันความชื้นและกันฝุ่น ฐานควรได้รับการรองรับด้วยสามจุด (จุดรองรับอยู่ห่างจากปลายฐานประมาณ 2/9 ของความยาวฐาน) เพื่อป้องกันการโก่งงอเนื่องจากแรงโน้มถ่วง (ฐานยาว 1 เมตร อาจโก่งงอได้ 0.3 ไมโครเมตร เนื่องจากการรองรับด้วยจุดเดียวเป็นเวลานาน)
ควรปรับตำแหน่งจุดรองรับของแท่นขุดเจาะอย่างสม่ำเสมอ (ทุกเดือน) เพื่อหลีกเลี่ยงแรงกดทับเฉพาะจุดในระยะยาว
แผนคุ้มครองการขนส่ง
การขนส่งระยะสั้น: ห่อด้วยโฟมดูดซับแรงกระแทก ยึดไว้ในโครงที่แข็งแรง และควบคุมอัตราเร่งให้อยู่ภายใน 2g
การขนส่งทางไกล: ต้องบรรจุในถุงสุญญากาศและเติมด้วยไนโตรเจนแห้ง เมื่อถึงที่หมายแล้ว ควรปล่อยทิ้งไว้ 24 ชั่วโมงจนกว่าอุณหภูมิจะคงที่ก่อนแกะออก เพื่อป้องกันไม่ให้ไอน้ำที่ควบแน่นส่งผลต่อความแม่นยำ
5. การทำนายความผิดพลาด: เทคนิคในการระบุปัญหาตั้งแต่เนิ่นๆ
การตรวจสอบด้วยสายตา: สังเกตพื้นผิวอย่างสม่ำเสมอด้วยแว่นขยาย 40 เท่า หากพบรอยขีดข่วนต่อเนื่องหรือความเงางามลดลงอย่างเห็นได้ชัด อาจบ่งชี้ถึงความแม่นยำที่ลดลง
การตรวจจับเสียง: แตะแท่นวางเบาๆ หากเสียงแหบ (โดยปกติควรเป็นเสียงที่ชัดเจน) อาจมีรอยแตกเล็กๆ อยู่ภายใน ให้หยุดใช้งานทันทีเพื่อตรวจสอบ

ด้วยระบบการบำรุงรักษาแบบนี้ แท่นหินแกรนิต ZHHIMG® สามารถรักษาความเรียบได้ ±1 μm/m เป็นเวลา 10 ปี ซึ่งยาวนานกว่าอายุการใช้งานที่แม่นยำของแท่นที่ไม่ได้รับการบำรุงรักษาอย่างเหมาะสมถึงสามเท่า จากการใช้งานจริงพบว่า หลังจากโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์แห่งหนึ่งนำโซลูชันนี้ไปใช้ ความถี่ในการปรับเทียบแท่นลดลง 50% และประหยัดค่าใช้จ่ายในการบำรุงรักษาต่อปีได้มากกว่า 150,000 หยวน