แนวทางปฏิบัติที่ดีที่สุดในการดูแลรักษาแพลตฟอร์มหินแกรนิต: วิธีการเพื่อรับประกันความแม่นยำในระยะยาว

แพลตฟอร์มหินแกรนิตเป็นเครื่องมืออ้างอิงสำหรับการวัดและการประมวลผลที่แม่นยำ การบำรุงรักษาความแม่นยำส่งผลโดยตรงต่อคุณภาพการผลิต ต่อไปนี้คือแผนการบำรุงรักษาเชิงระบบที่ครอบคลุมถึงการควบคุมสิ่งแวดล้อม การบำรุงรักษาประจำวัน และการสอบเทียบโดยมืออาชีพ เพื่อให้แน่ใจว่าแพลตฟอร์มจะรักษาความแม่นยำในระดับนาโนเมตรได้เป็นเวลานาน
1. การควบคุมสิ่งแวดล้อม: สร้างกำแพงป้องกันที่แม่นยำ
การจัดการอุณหภูมิและความชื้น
อุณหภูมิของสภาพแวดล้อมการทำงานจะต้องคงที่ที่ 20±1℃ ความผันผวนทุกๆ 1℃ จะทำให้แพลตฟอร์มหินแกรนิตเกิดการเสียรูปเนื่องจากความร้อน 0.5-1μm/m สามารถติดตั้งระบบอุณหภูมิคงที่ในเวิร์กช็อปเพื่อป้องกันไม่ให้ช่องระบายอากาศของเครื่องปรับอากาศพัดไปที่แพลตฟอร์มโดยตรง
ควรควบคุมความชื้นให้อยู่ระหว่าง 40% ถึง 60% ความชื้นที่มากเกินไปอาจทำให้เกิดสนิมบนชิ้นส่วนโลหะได้ง่าย ในขณะที่ความชื้นที่ต่ำเกินไปอาจทำให้เกิดไฟฟ้าสถิตย์รบกวนการวัด
การแยกการสั่นสะเทือน
ควรวางแท่นให้ห่างจากแหล่งกำเนิดการสั่นสะเทือน เช่น เครื่องปั๊มและเครื่องกัด แนะนำให้รักษาระยะห่างจากอุปกรณ์สั่นสะเทือนมากกว่า 3 เมตร
หากไม่สามารถหลีกเลี่ยงการสั่นสะเทือนได้ สามารถติดตั้งโช้คอัพสปริงลมที่ด้านล่างของแพลตฟอร์มเพื่อลดผลกระทบของการสั่นสะเทือนจากสภาพแวดล้อมต่อความเรียบของแพลตฟอร์ม (ซึ่งสามารถลดการสั่นสะเทือนจากภายนอกได้มากกว่า 80%)
2. การบำรุงรักษาประจำวัน: การควบคุมอย่างพิถีพิถันตั้งแต่การทำความสะอาดจนถึงการปกป้อง
ข้อมูลจำเพาะการทำความสะอาดพื้นผิว
การกำจัดฝุ่น: เช็ดพื้นผิวด้วยหนังกวางหรือผ้าไม่เป็นขุยในทิศทางเดียวกันทุกวันเพื่อป้องกันไม่ให้ฝุ่นละออง (≥5μm) ขีดข่วนแพลตฟอร์ม คราบฝังแน่นสามารถเช็ดเบาๆ ด้วยเอธานอลที่ปราศจากน้ำ (ความบริสุทธิ์ ≥99.7%) ห้ามใช้ตัวทำละลายที่มีฤทธิ์แรง เช่น อะซิโตน
การขจัดคราบไขมัน: หากสัมผัสกับคราบน้ำมัน ให้เช็ดด้วยน้ำยาทำความสะอาดที่เป็นกลางเจือจาง จากนั้นล้างออกด้วยน้ำปราศจากไอออนและผึ่งให้แห้งเพื่อป้องกันไม่ให้น้ำมันแร่แทรกซึมเข้าไปในรูพรุนเล็กๆ ของแพลตฟอร์ม
การป้องกันการโหลดและการชน
ควรควบคุมความสามารถในการรับน้ำหนักของแพลตฟอร์มให้อยู่ภายในร้อยละ 70 ของน้ำหนักบรรทุกที่กำหนด (เช่น สำหรับแพลตฟอร์มน้ำหนัก 1,000 กก. ขอแนะนำให้รับน้ำหนักที่ ≤700 กก.) เพื่อหลีกเลี่ยงการเสียรูปถาวรที่เกิดจากการรับน้ำหนักเกินในพื้นที่
ห้ามกระแทกชิ้นงานบนแท่นโดยเด็ดขาด เมื่อต้องจับเครื่องมือ ควรสวมถุงมือแบบนิ่มเพื่อป้องกันไม่ให้วัตถุมีคมขีดข่วนพื้นผิว (รอยขีดข่วนที่มีความลึกมากกว่า 20μm จะส่งผลต่อการวัดเส้นทางแสงที่สะท้อน)
3. การสอบเทียบระดับมืออาชีพ: หัวใจสำคัญของการรักษาความแม่นยำทางวิทยาศาสตร์
การตั้งค่ารอบการสอบเทียบ
สถานการณ์การใช้งานทั่วไป: ปรับเทียบทุกไตรมาสและใช้เครื่องวัดการโต้ตอบแบบเลเซอร์เพื่อตรวจจับความเรียบ (ด้วยความแม่นยำ ±0.5μm/m)
การใช้งานความถี่สูงหรือสภาพแวดล้อมที่รุนแรง: การสอบเทียบรายเดือน โดยเน้นที่การตรวจสอบพื้นที่ที่อ่อนไหวต่ออุณหภูมิ (เช่น ขอบของแพลตฟอร์มใกล้แหล่งความร้อน)

การประมวลผลหลังการสอบเทียบ
หากพบว่ามีความเรียบเบี่ยงเบน (เช่น > ±1μm/m) จะต้องทำการเจียรและซ่อมแซมโดยช่างเทคนิคผู้เชี่ยวชาญโดยใช้ผงไมโคร W1.5 ห้ามขัดด้วยกระดาษทรายโดยเด็ดขาด
หลังจากการสอบเทียบแล้ว ควรบันทึกและเก็บถาวรข้อมูล และควรจัดทำเส้นโค้งการลดทอนความแม่นยำของแพลตฟอร์มเพื่อคาดการณ์ความต้องการการบำรุงรักษาล่วงหน้า
4. การจัดเก็บและการขนส่ง: หลีกเลี่ยงการสูญเสียความแม่นยำที่ซ่อนอยู่
จุดสำคัญสำหรับการจัดเก็บข้อมูลระยะยาว
เมื่อจัดเก็บควรคลุมด้วยผ้าคลุมกันความชื้นและกันฝุ่น ควรวางฐานไว้ 3 จุด (จุดรองรับอยู่ที่ 2/9 ของความยาวแพลตฟอร์ม) เพื่อป้องกันการเสียรูปจากการโค้งงอที่เกิดจากแรงโน้มถ่วง (แพลตฟอร์มขนาด 1 เมตรอาจหย่อนลง 0.3μm เนื่องจากการรองรับที่จุดเดียวในระยะยาว)
ย้ายตำแหน่งจุดรองรับแพลตฟอร์มเป็นประจำ (รายเดือน) เพื่อหลีกเลี่ยงแรงกดดันในพื้นที่ในระยะยาว
แผนการคุ้มครองการขนส่ง
การขนส่งระยะสั้น: หุ้มด้วยโฟมดูดซับแรงกระแทก ติดไว้ภายในกรอบแข็ง และรักษาความเร่งให้อยู่ภายใน 2g
การขนส่งระยะไกล: จำเป็นต้องบรรจุสูญญากาศและเติมไนโตรเจนแห้ง เมื่อมาถึงแล้ว ควรทิ้งไว้ 24 ชั่วโมงจนกว่าอุณหภูมิจะถึงจุดสมดุลก่อนแกะบรรจุภัณฑ์ เพื่อป้องกันไม่ให้น้ำควบแน่นส่งผลกระทบต่อความแม่นยำ
5. การคาดการณ์ข้อผิดพลาด: เทคนิคในการระบุปัญหาเบื้องต้น
การตรวจสอบด้วยสายตา: สังเกตพื้นผิวเป็นประจำด้วยแว่นขยาย 40 เท่า หากพบรอยขีดข่วนอย่างต่อเนื่องหรือความเงาลดลงอย่างเห็นได้ชัด อาจบ่งบอกถึงความแม่นยำที่ลดลง
การตรวจจับเสียง: เคาะแพลตฟอร์มเบาๆ หากเสียงแหบ (ปกติควรจะเป็นเสียงที่ชัดเจน) อาจมีรอยแตกเล็กๆ อยู่ภายใน ให้หยุดใช้ทันทีเพื่อตรวจจับ

ด้วยระบบการบำรุงรักษานี้ แพลตฟอร์มหินแกรนิต ZHHIMG® สามารถรักษาความเรียบได้ ±1μm/m เป็นเวลา 10 ปี ซึ่งนานกว่าอายุการใช้งานที่แม่นยำของแพลตฟอร์มที่ไม่ได้รับการบำรุงรักษาอย่างเหมาะสมถึง 3 เท่า จากการปฏิบัติจริงพิสูจน์แล้วว่าหลังจากที่โรงงานเซมิคอนดักเตอร์แห่งหนึ่งนำโซลูชันนี้ไปใช้ ความถี่ในการปรับเทียบแพลตฟอร์มก็ลดลง 50% และต้นทุนการบำรุงรักษาประจำปีก็ประหยัดไปได้มากกว่า 150,000 หยวน