ในการต่อสู้ครั้งยิ่งใหญ่ของ "นาโนพรีซิชั่น" ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ แม้แต่ข้อผิดพลาดเพียงเล็กน้อยในอุปกรณ์ตัดเวเฟอร์ก็สามารถทำให้ชิปกลายเป็นขยะได้ ฐานหินแกรนิตเป็นฮีโร่ที่ไม่มีใครรู้จักซึ่งควบคุมความแม่นยำในการวางตำแหน่งซ้ำ ±5um โดยเขียนกฎเกณฑ์ของการผลิตที่แม่นยำขึ้นใหม่ด้วยสิ่งมหัศจรรย์ทางธรรมชาติทั้งสามประการ
“สมอยึดที่มั่นคง” ต่อการเสียรูปเนื่องจากความร้อน: ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อนของหินแกรนิตต่ำถึง 5-7 ×10⁻⁶/℃ ซึ่งเป็นเพียงหนึ่งในสามของค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อนที่เกิดจากการทำงานความเร็วสูงของอุปกรณ์ตัดเวเฟอร์ วัสดุทั่วไปจะเสียรูปเนื่องจากการขยายตัวและการหดตัวเนื่องจากความร้อน ส่งผลให้ตำแหน่งของหัวตัดเปลี่ยนไป อย่างไรก็ตาม ฐานหินแกรนิตสามารถคงอยู่ “นิ่ง” ได้ โดยขจัดความเบี่ยงเบนของตำแหน่งที่เกิดจากการเสียรูปเนื่องจากความร้อน และสร้างรากฐานที่มั่นคงสำหรับความแม่นยำ
“เกราะป้องกันเสียงเงียบ” ของการดูดซับแรงสั่นสะเทือน: เสียงคำรามที่ดังอย่างต่อเนื่องของเครื่องมือเครื่องจักรและแรงสั่นสะเทือนอย่างต่อเนื่องของอุปกรณ์ในโรงงานนั้นถือได้ว่าเป็น “ตัวทำลายล้าง” ของความแม่นยำ โครงสร้างผลึกที่เป็นเอกลักษณ์ของหินแกรนิตนั้นเปรียบเสมือนตัวดูดซับแรงกระแทกตามธรรมชาติ ซึ่งสามารถแปลงแรงสั่นสะเทือนภายนอกและแรงสั่นสะเทือนทางกลที่เกิดจากการทำงานของอุปกรณ์เป็นพลังงานความร้อนเพื่อระบายออกไปได้อย่างรวดเร็ว ในขณะที่ฐานอื่นๆ ยังคง “แกว่ง” เนื่องจากแรงสั่นสะเทือน ฐานหินแกรนิตได้สร้างแพลตฟอร์มที่มั่นคงสำหรับหัวตัดซึ่งยังคงนิ่งอยู่ ทำให้มีความแม่นยำ ±5um
“ป้อมปราการนิรันดร์” ที่ทนต่อการกัดกร่อน : เวิร์กช็อปเซมิคอนดักเตอร์เต็มไปด้วยสารกัดกร่อน เช่น สารละลายกัดกร่อน น้ำยาทำความสะอาดกรดและด่าง ในสภาพแวดล้อมเช่นนี้ ฐานโลหะจะค่อยๆ ขึ้นสนิมและเสียรูป หินแกรนิตซึ่งมีเสถียรภาพทางเคมีในตัวจะไม่ทำปฏิกิริยากับสารเคมีเหล่านี้เลย ไม่ว่าจะใช้งานมากี่ปีแล้วก็ตาม หินแกรนิตสามารถรักษาความสมบูรณ์ของโครงสร้างได้และรับประกันการตัดที่มีความแม่นยำสูงอย่างต่อเนื่อง
จากความสามารถของวัสดุไปจนถึงการประมวลผลที่มีความแม่นยำสูงสุด ฐานหินแกรนิตได้แสดงให้เห็นด้วยความแข็งแกร่งว่าไม่ใช่วัสดุทั้งหมดที่สามารถรับมือกับความท้าทายอันโหดร้ายของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ได้ เป็นเพราะข้อได้เปรียบตามธรรมชาติที่ไม่สามารถทดแทนได้เหล่านี้เองที่ทำให้ฐานหินแกรนิตกลายมาเป็นกุญแจสำคัญสำหรับอุปกรณ์ตัดเวเฟอร์เพื่อให้ได้ความแม่นยำในการวางตำแหน่งซ้ำที่ ±5um และได้ผลักดันให้อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ก้าวไปสู่ความแม่นยำที่สูงขึ้นอย่างต่อเนื่อง!
เวลาโพสต์ : 14 พ.ค. 2568