วัสดุ – เซรามิก

♦อะลูมินา(Al)2O3)

ชิ้นส่วนเซรามิกความแม่นยำสูงที่ผลิตโดย ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) สามารถผลิตจากวัตถุดิบเซรามิกความบริสุทธิ์สูง อลูมินา 92~97%, 99.5%, >99.9% และผ่านกระบวนการอัดขึ้นรูปเย็นแบบไอโซสแตติก (CIP) การเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง และการกลึงขึ้นรูปอย่างแม่นยำ มีความแม่นยำของขนาด ± 0.001 มม. ความเรียบเนียนสูงถึง Ra0.1 อุณหภูมิใช้งานสูงถึง 1600 องศาเซลเซียส สามารถผลิตเซรามิกสีต่างๆ ได้ตามความต้องการของลูกค้า เช่น สีดำ สีขาว สีเบจ สีแดงเข้ม เป็นต้น ชิ้นส่วนเซรามิกความแม่นยำสูงที่ผลิตโดยบริษัทของเราทนต่ออุณหภูมิสูง การกัดกร่อน การสึกหรอ และการเป็นฉนวน สามารถใช้งานได้เป็นเวลานานในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง สุญญากาศ และก๊าซกัดกร่อน

มีการใช้งานอย่างแพร่หลายในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์หลากหลายประเภท ได้แก่ โครง (ตัวยึดเซรามิก), แผ่นรองรับ (ฐาน), แขน/สะพาน (ตัวจัดการ), ชิ้นส่วนเชิงกล และตลับลูกปืนอากาศเซรามิก

อัล2โอ3

ชื่อผลิตภัณฑ์ ท่อ/แท่ง/ท่อเหลี่ยมเซรามิกอลูมินาความบริสุทธิ์สูง 99
ดัชนี หน่วย 85% Al2O3 95% Al2O3 99% Al2O3 99.5% Al2O3
ความหนาแน่น กรัม/ซม³ 3.3 3.65 3.8 3.9
การดูดซับน้ำ % <0.1 <0.1 0 0
อุณหภูมิการเผาผนึก 1620 1650 1800 1800
ความแข็ง โมห์ส 7 9 9 9
ความแข็งแรงดัดงอ (20℃) เอ็มพีเอ 200 300 340 360
ความแข็งแรงในการรับแรงอัด กก./ซม.² 10000 25000 30000 30000
อุณหภูมิใช้งานต่อเนื่องเป็นเวลานาน 1350 1400 1600 1650
อุณหภูมิการทำงานสูงสุด 1450 1600 1800 1800
ความต้านทานปริมาตร 20℃ โอห์ม.ซม.3 >1013 >1013 >1013 >1013
100℃ 1012-1013 1012-1013 1012-1013 1012-1013
300℃ >109 >1010 >1012 >1012

การประยุกต์ใช้เซรามิกอลูมินาความบริสุทธิ์สูง:
1. นำไปประยุกต์ใช้กับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์: หัวจับสุญญากาศเซรามิก, แผ่นตัด, แผ่นทำความสะอาด, หัวจับเซรามิก
2. ชิ้นส่วนสำหรับการเคลื่อนย้ายเวเฟอร์: หัวจับเวเฟอร์, แผ่นตัดเวเฟอร์, แผ่นทำความสะอาดเวเฟอร์, ถ้วยดูดสำหรับตรวจสอบเวเฟอร์ด้วยระบบแสง
3. อุตสาหกรรมจอแสดงผล LED/LCD แบบแบน: หัวฉีดเซรามิก, แผ่นเจียรเซรามิก, สลักยก (LIFT PIN), รางสลัก (PIN rail)
4. การสื่อสารด้วยแสง อุตสาหกรรมพลังงานแสงอาทิตย์: ท่อเซรามิก แท่งเซรามิก เครื่องขูดเซรามิกสำหรับงานพิมพ์สกรีนแผงวงจร
5. ชิ้นส่วนทนความร้อนและฉนวนไฟฟ้า: ตลับลูกปืนเซรามิก
ในปัจจุบัน เซรามิกอะลูมิเนียมออกไซด์สามารถแบ่งออกเป็นเซรามิกความบริสุทธิ์สูงและเซรามิกทั่วไป เซรามิกอะลูมิเนียมออกไซด์ความบริสุทธิ์สูงหมายถึงวัสดุเซรามิกที่มีอะลูมิเนียมออกไซด์มากกว่า 99.9% เนื่องจากมีอุณหภูมิการเผาผนึกสูงถึง 1650 - 1990°C และความยาวคลื่นการส่งผ่าน 1 ~ 6 μm จึงมักนำไปแปรรูปเป็นแก้วหลอมแทนการใช้เบ้าหลอมแพลทินัม ซึ่งสามารถใช้เป็นหลอดโซเดียมได้เนื่องจากการส่งผ่านแสงและความต้านทานการกัดกร่อนของโลหะอัลคาไล ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ สามารถใช้เป็นวัสดุฉนวนความถี่สูงสำหรับพื้นผิวของวงจรรวม (IC) ส่วนเซรามิกอะลูมิเนียมออกไซด์ทั่วไปนั้น สามารถแบ่งตามปริมาณอะลูมิเนียมออกไซด์ได้เป็นเซรามิก 99, เซรามิก 95, เซรามิก 90 และเซรามิก 85 บางครั้ง เซรามิกที่มีอะลูมิเนียมออกไซด์ 80% หรือ 75% ก็ถูกจัดอยู่ในกลุ่มเซรามิกอะลูมิเนียมออกไซด์ทั่วไปเช่นกัน ในบรรดาวัสดุเหล่านี้ เซรามิกอะลูมิเนียมออกไซด์ 99 ใช้ในการผลิตเบ้าหลอมอุณหภูมิสูง ท่อเตาเผาทนไฟ และวัสดุทนการสึกหรอพิเศษ เช่น ตลับลูกปืนเซรามิก ซีลเซรามิก และแผ่นวาล์ว เซรามิกอะลูมิเนียม 95 ส่วนใหญ่ใช้เป็นชิ้นส่วนทนการกัดกร่อนและทนการสึกหรอ เซรามิก 85 มักผสมเพื่อเพิ่มคุณสมบัติบางอย่าง ทำให้ประสิทธิภาพทางไฟฟ้าและความแข็งแรงเชิงกลดีขึ้น สามารถใช้ร่วมกับโมลิบเดนัม ไนโอเบียม แทนทาลัม และโลหะอื่นๆ ในซีล และบางชนิดใช้เป็นอุปกรณ์สุญญากาศไฟฟ้า

 

สินค้าคุณภาพ (ค่าตัวแทน) ชื่อผลิตภัณฑ์ เอเอส-12 เอเอส-11 เอเอส-11ซี เอเอส-11เอฟ เอเอส-22เอส เอเอส-23 AL-31-03
องค์ประกอบทางเคมี ผลิตภัณฑ์เผาผนึกง่าย โซเดียมต่ำ H₂O % 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
ฮ่าๆ % 0.1 0.2 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
Fe₂0₃ % 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01
ซิโอ₂ % 0.03 0.03 0.03 0.03 0.02 0.04 0.04
นา₂โอ % 0.04 0.04 0.04 0.04 0.02 0.04 0.03
เอ็มจีโอ* % - 0.11 0.05 0.05 - - -
Al₂0₃ % 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9
อนุภาคขนาดกลาง (MT-3300, วิธีการวิเคราะห์ด้วยเลเซอร์) ไมโครเมตร 0.44 0.43 0.39 0.47 1.1 2.2 3
ขนาดผลึก α ไมโครเมตร 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 ~ 1.0 0.3 ~ 4 0.3 ~ 4
ความหนาแน่นของการขึ้นรูป** กรัม/ซม³ 2.22 2.22 2.2 2.17 2.35 2.57 2.56
ความหนาแน่นของการเผาผนึก** กรัม/ซม³ 3.88 3.93 3.94 3.93 3.88 3.77 3.22
อัตราการหดตัวของสายการผลิตเผาผนึก** % 17 17 18 18 15 12 7

* MgO ไม่ได้ถูกนำมาคำนวณในความบริสุทธิ์ของ Al₂O₃
* ผงไม่เกิดคราบตะกรัน 29.4 MPa (300 กก./ซม.²) อุณหภูมิการเผาผนึก 1600°C
AES-11 / 11C / 11F: เติม MgO 0.05 ~ 0.1% ทำให้มีคุณสมบัติการเผาผนึกที่ดีเยี่ยม จึงสามารถนำไปใช้กับเซรามิกอะลูมิเนียมออกไซด์ที่มีความบริสุทธิ์มากกว่า 99% ได้
AES-22S: มีคุณสมบัติเด่นคือความหนาแน่นในการขึ้นรูปสูงและอัตราการหดตัวของแนวการเผาผนึกต่ำ เหมาะสำหรับการหล่อแบบสลิปฟอร์มและผลิตภัณฑ์ขนาดใหญ่ประเภทอื่นๆ ที่ต้องการความแม่นยำของขนาด
AES-23 / AES-31-03: มีความหนาแน่นในการขึ้นรูปสูงกว่า มีคุณสมบัติการไหลแบบทิกโซโทรปี และมีความหนืดต่ำกว่า AES-22S โดย AES-23 ใช้ในอุตสาหกรรมเซรามิก ในขณะที่ AES-31-03 ใช้เป็นสารลดน้ำสำหรับวัสดุกันไฟ ซึ่งกำลังได้รับความนิยมมากขึ้น

♦คุณลักษณะของซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC)

ลักษณะทั่วไป ความบริสุทธิ์ของส่วนประกอบหลัก (ร้อยละโดยน้ำหนัก) 97
สี สีดำ
ความหนาแน่น (กรัม/ซม³) 3.1
การดูดซับน้ำ (%) 0
คุณสมบัติทางกล ความแข็งแรงดัดงอ (MPa) 400
โมดูลัสของยัง (GPa) 400
ความแข็งวิคเกอร์ส (GPa) 20
ลักษณะทางความร้อน อุณหภูมิใช้งานสูงสุด (°C) 1600
สัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน อุณหภูมิห้อง ~500°C 3.9
(1/°C x 10-6) อุณหภูมิห้อง ~800°C 4.3
ค่าการนำความร้อน (W/m x K) 130 110
ความต้านทานต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างฉับพลัน ΔT (°C) 300
คุณลักษณะทางไฟฟ้า ความต้านทานปริมาตร 25°C 3 x 106
300°C -
500°C -
800°C -
ค่าคงที่ไดอิเล็กทริก 10GHz -
การสูญเสียไดอิเล็กทริก (x 10-4) -
ค่า Q (x 104) -
แรงดันพังทลายของไดอิเล็กทริก (KV/mm) -

20200507170353_55726

♦เซรามิกซิลิกอนไนไตรด์

วัสดุ หน่วย Si₃N₄
วิธีการเผาผนึก - การเผาผนึกด้วยแรงดันแก๊ส
ความหนาแน่น กรัม/ซม³ 3.22
สี - สีเทาเข้ม
อัตราการดูดซึมน้ำ % 0
โมดูลัสของยัง เกรดเฉลี่ย 290
ความแข็งวิคเกอร์ส เกรดเฉลี่ย 18 - 20
ความแข็งแรงในการรับแรงอัด เอ็มพีเอ 2200
ความแข็งแรงในการดัดงอ เอ็มพีเอ 650
การนำความร้อน ว/มเค 25
ความต้านทานต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างฉับพลัน Δ (°C) 450 - 650
อุณหภูมิใช้งานสูงสุด °C 1200
ความต้านทานปริมาตร โอห์ม·ซม. > 10 ^ 14
ค่าคงที่ไดอิเล็กทริก - 8.2
ความแข็งแรงของไดอิเล็กทริก kV/มม. 16