♦อะลูมินา(Al)2O3)
ชิ้นส่วนเซรามิกความแม่นยำสูงที่ผลิตโดย ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) สามารถผลิตจากวัตถุดิบเซรามิกความบริสุทธิ์สูง อลูมินา 92~97%, 99.5%, >99.9% และผ่านกระบวนการอัดขึ้นรูปเย็นแบบไอโซสแตติก (CIP) การเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง และการกลึงขึ้นรูปอย่างแม่นยำ มีความแม่นยำของขนาด ± 0.001 มม. ความเรียบเนียนสูงถึง Ra0.1 อุณหภูมิใช้งานสูงถึง 1600 องศาเซลเซียส สามารถผลิตเซรามิกสีต่างๆ ได้ตามความต้องการของลูกค้า เช่น สีดำ สีขาว สีเบจ สีแดงเข้ม เป็นต้น ชิ้นส่วนเซรามิกความแม่นยำสูงที่ผลิตโดยบริษัทของเราทนต่ออุณหภูมิสูง การกัดกร่อน การสึกหรอ และการเป็นฉนวน สามารถใช้งานได้เป็นเวลานานในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง สุญญากาศ และก๊าซกัดกร่อน
มีการใช้งานอย่างแพร่หลายในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์หลากหลายประเภท ได้แก่ โครง (ตัวยึดเซรามิก), แผ่นรองรับ (ฐาน), แขน/สะพาน (ตัวจัดการ), ชิ้นส่วนเชิงกล และตลับลูกปืนอากาศเซรามิก
| ชื่อผลิตภัณฑ์ | ท่อ/แท่ง/ท่อเหลี่ยมเซรามิกอลูมินาความบริสุทธิ์สูง 99 | |||||
| ดัชนี | หน่วย | 85% Al2O3 | 95% Al2O3 | 99% Al2O3 | 99.5% Al2O3 | |
| ความหนาแน่น | กรัม/ซม³ | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
| การดูดซับน้ำ | % | <0.1 | <0.1 | 0 | 0 | |
| อุณหภูมิการเผาผนึก | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
| ความแข็ง | โมห์ส | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| ความแข็งแรงดัดงอ (20℃) | เอ็มพีเอ | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| ความแข็งแรงในการรับแรงอัด | กก./ซม.² | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| อุณหภูมิใช้งานต่อเนื่องเป็นเวลานาน | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
| อุณหภูมิการทำงานสูงสุด | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
| ความต้านทานปริมาตร | 20℃ | โอห์ม.ซม.3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
| 100℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 | ||
การประยุกต์ใช้เซรามิกอลูมินาความบริสุทธิ์สูง:
1. นำไปประยุกต์ใช้กับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์: หัวจับสุญญากาศเซรามิก, แผ่นตัด, แผ่นทำความสะอาด, หัวจับเซรามิก
2. ชิ้นส่วนสำหรับการเคลื่อนย้ายเวเฟอร์: หัวจับเวเฟอร์, แผ่นตัดเวเฟอร์, แผ่นทำความสะอาดเวเฟอร์, ถ้วยดูดสำหรับตรวจสอบเวเฟอร์ด้วยระบบแสง
3. อุตสาหกรรมจอแสดงผล LED/LCD แบบแบน: หัวฉีดเซรามิก, แผ่นเจียรเซรามิก, สลักยก (LIFT PIN), รางสลัก (PIN rail)
4. การสื่อสารด้วยแสง อุตสาหกรรมพลังงานแสงอาทิตย์: ท่อเซรามิก แท่งเซรามิก เครื่องขูดเซรามิกสำหรับงานพิมพ์สกรีนแผงวงจร
5. ชิ้นส่วนทนความร้อนและฉนวนไฟฟ้า: ตลับลูกปืนเซรามิก
ในปัจจุบัน เซรามิกอะลูมิเนียมออกไซด์สามารถแบ่งออกเป็นเซรามิกความบริสุทธิ์สูงและเซรามิกทั่วไป เซรามิกอะลูมิเนียมออกไซด์ความบริสุทธิ์สูงหมายถึงวัสดุเซรามิกที่มีอะลูมิเนียมออกไซด์มากกว่า 99.9% เนื่องจากมีอุณหภูมิการเผาผนึกสูงถึง 1650 - 1990°C และความยาวคลื่นการส่งผ่าน 1 ~ 6 μm จึงมักนำไปแปรรูปเป็นแก้วหลอมแทนการใช้เบ้าหลอมแพลทินัม ซึ่งสามารถใช้เป็นหลอดโซเดียมได้เนื่องจากการส่งผ่านแสงและความต้านทานการกัดกร่อนของโลหะอัลคาไล ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ สามารถใช้เป็นวัสดุฉนวนความถี่สูงสำหรับพื้นผิวของวงจรรวม (IC) ส่วนเซรามิกอะลูมิเนียมออกไซด์ทั่วไปนั้น สามารถแบ่งตามปริมาณอะลูมิเนียมออกไซด์ได้เป็นเซรามิก 99, เซรามิก 95, เซรามิก 90 และเซรามิก 85 บางครั้ง เซรามิกที่มีอะลูมิเนียมออกไซด์ 80% หรือ 75% ก็ถูกจัดอยู่ในกลุ่มเซรามิกอะลูมิเนียมออกไซด์ทั่วไปเช่นกัน ในบรรดาวัสดุเหล่านี้ เซรามิกอะลูมิเนียมออกไซด์ 99 ใช้ในการผลิตเบ้าหลอมอุณหภูมิสูง ท่อเตาเผาทนไฟ และวัสดุทนการสึกหรอพิเศษ เช่น ตลับลูกปืนเซรามิก ซีลเซรามิก และแผ่นวาล์ว เซรามิกอะลูมิเนียม 95 ส่วนใหญ่ใช้เป็นชิ้นส่วนทนการกัดกร่อนและทนการสึกหรอ เซรามิก 85 มักผสมเพื่อเพิ่มคุณสมบัติบางอย่าง ทำให้ประสิทธิภาพทางไฟฟ้าและความแข็งแรงเชิงกลดีขึ้น สามารถใช้ร่วมกับโมลิบเดนัม ไนโอเบียม แทนทาลัม และโลหะอื่นๆ ในซีล และบางชนิดใช้เป็นอุปกรณ์สุญญากาศไฟฟ้า
| สินค้าคุณภาพ (ค่าตัวแทน) | ชื่อผลิตภัณฑ์ | เอเอส-12 | เอเอส-11 | เอเอส-11ซี | เอเอส-11เอฟ | เอเอส-22เอส | เอเอส-23 | AL-31-03 | |
| องค์ประกอบทางเคมี ผลิตภัณฑ์เผาผนึกง่าย โซเดียมต่ำ | H₂O | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| ฮ่าๆ | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| Fe₂0₃ | % | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |
| ซิโอ₂ | % | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.02 | 0.04 | 0.04 | |
| นา₂โอ | % | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.02 | 0.04 | 0.03 | |
| เอ็มจีโอ* | % | - | 0.11 | 0.05 | 0.05 | - | - | - | |
| Al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
| อนุภาคขนาดกลาง (MT-3300, วิธีการวิเคราะห์ด้วยเลเซอร์) | ไมโครเมตร | 0.44 | 0.43 | 0.39 | 0.47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| ขนาดผลึก α | ไมโครเมตร | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 ~ 1.0 | 0.3 ~ 4 | 0.3 ~ 4 | |
| ความหนาแน่นของการขึ้นรูป** | กรัม/ซม³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| ความหนาแน่นของการเผาผนึก** | กรัม/ซม³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
| อัตราการหดตัวของสายการผลิตเผาผนึก** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* MgO ไม่ได้ถูกนำมาคำนวณในความบริสุทธิ์ของ Al₂O₃
* ผงไม่เกิดคราบตะกรัน 29.4 MPa (300 กก./ซม.²) อุณหภูมิการเผาผนึก 1600°C
AES-11 / 11C / 11F: เติม MgO 0.05 ~ 0.1% ทำให้มีคุณสมบัติการเผาผนึกที่ดีเยี่ยม จึงสามารถนำไปใช้กับเซรามิกอะลูมิเนียมออกไซด์ที่มีความบริสุทธิ์มากกว่า 99% ได้
AES-22S: มีคุณสมบัติเด่นคือความหนาแน่นในการขึ้นรูปสูงและอัตราการหดตัวของแนวการเผาผนึกต่ำ เหมาะสำหรับการหล่อแบบสลิปฟอร์มและผลิตภัณฑ์ขนาดใหญ่ประเภทอื่นๆ ที่ต้องการความแม่นยำของขนาด
AES-23 / AES-31-03: มีความหนาแน่นในการขึ้นรูปสูงกว่า มีคุณสมบัติการไหลแบบทิกโซโทรปี และมีความหนืดต่ำกว่า AES-22S โดย AES-23 ใช้ในอุตสาหกรรมเซรามิก ในขณะที่ AES-31-03 ใช้เป็นสารลดน้ำสำหรับวัสดุกันไฟ ซึ่งกำลังได้รับความนิยมมากขึ้น
♦คุณลักษณะของซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC)
| ลักษณะทั่วไป | ความบริสุทธิ์ของส่วนประกอบหลัก (ร้อยละโดยน้ำหนัก) | 97 | |
| สี | สีดำ | ||
| ความหนาแน่น (กรัม/ซม³) | 3.1 | ||
| การดูดซับน้ำ (%) | 0 | ||
| คุณสมบัติทางกล | ความแข็งแรงดัดงอ (MPa) | 400 | |
| โมดูลัสของยัง (GPa) | 400 | ||
| ความแข็งวิคเกอร์ส (GPa) | 20 | ||
| ลักษณะทางความร้อน | อุณหภูมิใช้งานสูงสุด (°C) | 1600 | |
| สัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน | อุณหภูมิห้อง ~500°C | 3.9 | |
| (1/°C x 10-6) | อุณหภูมิห้อง ~800°C | 4.3 | |
| ค่าการนำความร้อน (W/m x K) | 130 110 | ||
| ความต้านทานต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างฉับพลัน ΔT (°C) | 300 | ||
| คุณลักษณะทางไฟฟ้า | ความต้านทานปริมาตร | 25°C | 3 x 106 |
| 300°C | - | ||
| 500°C | - | ||
| 800°C | - | ||
| ค่าคงที่ไดอิเล็กทริก | 10GHz | - | |
| การสูญเสียไดอิเล็กทริก (x 10-4) | - | ||
| ค่า Q (x 104) | - | ||
| แรงดันพังทลายของไดอิเล็กทริก (KV/mm) | - | ||
♦เซรามิกซิลิกอนไนไตรด์
| วัสดุ | หน่วย | Si₃N₄ |
| วิธีการเผาผนึก | - | การเผาผนึกด้วยแรงดันแก๊ส |
| ความหนาแน่น | กรัม/ซม³ | 3.22 |
| สี | - | สีเทาเข้ม |
| อัตราการดูดซึมน้ำ | % | 0 |
| โมดูลัสของยัง | เกรดเฉลี่ย | 290 |
| ความแข็งวิคเกอร์ส | เกรดเฉลี่ย | 18 - 20 |
| ความแข็งแรงในการรับแรงอัด | เอ็มพีเอ | 2200 |
| ความแข็งแรงในการดัดงอ | เอ็มพีเอ | 650 |
| การนำความร้อน | ว/มเค | 25 |
| ความต้านทานต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างฉับพลัน | Δ (°C) | 450 - 650 |
| อุณหภูมิใช้งานสูงสุด | °C | 1200 |
| ความต้านทานปริมาตร | โอห์ม·ซม. | > 10 ^ 14 |
| ค่าคงที่ไดอิเล็กทริก | - | 8.2 |
| ความแข็งแรงของไดอิเล็กทริก | kV/มม. | 16 |

