เหตุใดผู้ผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์จึงเลือกใช้ชิ้นส่วน Granite จาก ZHHIMG

ลองถามวิศวกรอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์คนไหนก็ได้ว่าอะไรที่ทำให้พวกเขานอนไม่หลับ คำตอบแทบจะไม่ใช่ระบบการเคลื่อนที่หรือระบบเลนส์เลย แต่เป็นพื้นรองรับเครื่องจักรต่างหาก แท่นวางเวเฟอร์ที่สามารถรักษาตำแหน่งได้แม่นยำถึง 2 นาโนเมตรบนกระดาษ ยังคงต้องการฐานที่มั่นคง ไม่เลื่อน ไม่สั่น หรือไม่ร้อนขึ้น

ฐานนั้นมักจะเป็นหินแกรนิตสีดำ ไม่ใช่เพราะหินแกรนิตกำลังเป็นที่นิยม แต่เพราะมันมีคุณสมบัติสามอย่างที่โลหะไม่มี คือ มันคงรูปอยู่ได้แม้เมื่ออุณหภูมิเปลี่ยนแปลง มันดูดซับแรงสั่นสะเทือนแทนที่จะส่งต่อ และมันไม่เป็นสนิมหรือผุกร่อนแม้ใช้งานตลอด 24 ชั่วโมง 7 วันต่อสัปดาห์เป็นเวลานับสิบปี นี่คือส่วนประกอบของเครื่องมือที่ ZHHIMG สร้างขึ้น

แผ่นหินแกรนิตสีดำขนาดใหญ่กำลังได้รับการตรวจสอบที่โรงงาน ZHHIMG — ความเรียบของพื้นผิวได้รับการพิสูจน์ด้วยเครื่องมือ ไม่ใช่คำสัญญา

ปัญหาอยู่ที่ความเสถียร ไม่ใช่ความแข็งแรง

อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ไม่ได้หนักเพราะต้องการความแข็งแรง แต่หนักเพราะต้องการความเสถียร อุปกรณ์ต้องคงรูปทรงไว้ได้แม้ในขณะที่มอเตอร์เคลื่อนที่ ในขณะที่อุณหภูมิห้องเปลี่ยนแปลง และในขณะที่มันทำงานต่อเนื่องเป็นเวลาหลายเดือนโดยไม่หยุดพัก

เหล็กกล้าและเหล็กหล่อมีการเปลี่ยนแปลงตามอุณหภูมิ และยังเกิดเสียงก้องด้วย ในเครื่องมือที่ใช้วัดคุณสมบัติที่เล็กกว่าไวรัส ฐานที่เกิดเสียงก้องคือฐานที่ใช้งานไม่ได้ เป้าหมายคือการสร้างพื้นผิวที่สามารถใช้เป็นพื้นผิวอ้างอิงได้ตลอดทั้งปี ไม่ใช่แค่ในวันที่ติดตั้งเท่านั้น

เหตุผลที่หินแกรนิตสีดำชนะเลิศ

หินแกรนิตสีดำของเรามีความหนาแน่นโดยประมาณ3,100 กก./ลบ.ม.ความหนาแน่นสูงหมายถึงความพรุนต่ำ ความพรุนต่ำหมายความว่าหินจะไม่ดูดซับความชื้น ไม่บวมในห้องปลอดเชื้อที่มีความชื้นสูง และไม่เคลื่อนตัวไปตามการเปลี่ยนแปลงของฤดูกาล

คุณสมบัติอีกสามประการที่สำคัญไม่แพ้กัน หินแกรนิตมีการขยายตัวทางความร้อนต่ำ ดังนั้นการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิจึงส่งผลกระทบต่อหินแกรนิตน้อยกว่าโลหะมาก มันมีการหน่วงภายในสูง ดังนั้นการสั่นสะเทือนจะเปลี่ยนเป็นความร้อนแทนที่จะส่งผ่านไปยังแผ่นเวเฟอร์ และมันไม่เป็นแม่เหล็กและไม่เป็นสนิม ดังนั้นมันจะไม่รบกวนเซ็นเซอร์หรือเกิดการกัดกร่อนเมื่อเวลาผ่านไป สำหรับเครื่องมือที่ต้องยึดจับขนาดระดับนาโนเมตร นี่คือหัวใจสำคัญของทุกสิ่ง

ตำแหน่งที่หินแกรนิตอยู่ในเครื่องมือเซมิคอนดักเตอร์

เราจัดหาหินแกรนิตสำหรับชิ้นส่วนของเครื่องมือที่ต้องการความแม่นยำสูง ซึ่งรวมถึงแท่นตรวจสอบและวัดเวเฟอร์ แท่นลิโทกราฟีและเลเซอร์ อุปกรณ์เชื่อมและบรรจุภัณฑ์ เฟรม CMP และเฟรมปรับพื้นผิว และอื่นๆระบบโครงเครนหินแกรนิตที่ซึ่งอุปกรณ์ทางแสงและหัววัดต่างๆ เคลื่อนที่ไปตามชิ้นงาน

วัสดุชนิดเดียวกันนี้ยังใช้เป็นฐานสำหรับเครื่องจักรเจาะแผ่นวงจรพิมพ์ การตรวจสอบด้วยแสง และการประกอบชิ้นส่วนที่มีความแม่นยำสูง เครื่องมือต่างกัน แต่ความต้องการเหมือนกัน: จุดอ้างอิงที่ไม่ขัดแย้งกับการวัด

รายละเอียดที่กำหนดแท่นวางเวเฟอร์

หินแกรนิตก้อนใหญ่ไม่ใช่ชิ้นส่วน สิ่งที่ทำให้มันเป็นชิ้นส่วนคือการทำงานรอบๆ มัน เราใช้เครื่องจักรกลึงขึ้นรูปชิ้นส่วนเกลียว ช่องสุญญากาศ ช่องรับอากาศ ช่องสำหรับสายเคเบิล และระนาบยึดเข้าไปในหิน จากนั้นจึงยึดรูปทรงเรขาคณิตระหว่างชิ้นส่วนเหล่านั้นให้ตรงตามแบบร่าง

รูและตัวแทรกถูกติดตั้งเพื่อให้แท่นวาง อุปกรณ์เลนส์ และรางเลื่อนอยู่ในแนวเดียวกันโดยไม่ต้องปรับแต่งเพิ่มเติมในสถานที่ นั่นคือความแตกต่างระหว่างแผ่นพื้นสำเร็จรูปกับ...ชิ้นส่วนหินแกรนิตที่มีความแม่นยำสูง— และนี่คือเหตุผลที่ผู้ผลิตอุปกรณ์ส่งแบบร่างส่วนเชื่อมต่อมาให้เรา ไม่ใช่แค่ขนาดภายนอกเท่านั้น

มือที่อ่านค่าไมครอน

การขัดผิวแผ่นหินแกรนิตยังคงทำด้วยมือ ช่างขัดผิวฝีมือเยี่ยมของเราทำงานที่นี่มานานถึงสามสิบปีแล้ว พวกเขาสามารถสัมผัสจุดที่นูนขึ้นได้ในระดับไมครอน ก่อนที่จะต้องใช้เครื่องมือตรวจสอบเพื่อยืนยันเสียอีก

เราถือว่าทักษะนั้นเป็นเพียงจุดเริ่มต้น ไม่ใช่ใบรับรอง มือเป็นผู้เสนอ เครื่องมือเป็นผู้กำหนดผลลัพธ์ จากนั้นทุกพื้นผิวที่สำคัญจะถูกวัดบนสายการตรวจสอบของเรา ซึ่งทำงานด้วยอุปกรณ์จากMahr (เยอรมนี), WYLER (สวิตเซอร์แลนด์) และ Renishaw (สหราชอาณาจักร)จะไม่มีการจัดส่งใดๆ จนกว่าหมายเลขจะตรงกับแบบร่าง

ได้รับการรับรอง จดสิทธิบัตร และสร้างขึ้นเพื่อให้สามารถตรวจสอบได้

ZHHIMG เป็นบริษัทเดียวในอุตสาหกรรมที่ได้รับการรับรองมาตรฐาน ISO 9001, ISO 45001, ISO 14001 และ CE พร้อมกัน โดยได้รับการสนับสนุนจากสิทธิบัตรระหว่างประเทศมากกว่า 20 ฉบับ ลูกค้าในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ตรวจสอบอย่างเข้มงวด และเราต้องการให้พวกเขาตรวจสอบทุกอย่างอย่างละเอียด

ของเราหินแกรนิตที่มีความแม่นยำสูงบริษัทต่างๆ เช่น GE, Samsung และ Oracle ใช้มาตรฐานนี้ และมีการวิจัยร่วมกับสถาบันต่างๆ รวมถึงมหาวิทยาลัยแห่งชาติสิงคโปร์ และสถาบันมาตรวิทยาแห่งชาติในสหราชอาณาจักร เยอรมนี และสหรัฐอเมริกา เมื่อห้องปฏิบัติการมาตรวิทยาแห่งชาติทำการวัดวัสดุ ค่าความคลาดเคลื่อนจะเป็นข้อเท็จจริงที่วัดได้ ไม่ใช่ตัวเลขทางการตลาด ไม่มีการโกง ไม่มีการปกปิด ไม่มีการทำให้เข้าใจผิด นี่คือวิธีการทำงานของเรา

เหตุผลที่ช่างก่อสร้างกลับมาใช้บริการซ้ำแล้วซ้ำอีก

เมื่อเครื่องมือผลิตเซมิคอนดักเตอร์ถูกจัดส่ง ชิ้นส่วนฐานคือส่วนที่ไม่มีใครแก้ไขเปลี่ยนแปลง มันใช้งานได้ หรือไม่ก็เครื่องจักรทั้งหมดกลายเป็นเศษเหล็ก ผู้ผลิตจึงกลับมาใช้ ZHHIMG เพราะตัวเลข คุณภาพ และรูปทรงเรขาคณิตคงที่ตลอดอายุการใช้งานของแพลตฟอร์ม

หากคุณกำลังออกแบบเวที โครงสร้างยก หรือฐานเครื่องจักร โปรดส่งงบประมาณด้านความแม่นยำ น้ำหนักบรรทุก และสภาพแวดล้อมมาให้เรา วิศวกรของเราจะเลือกเกรด ความหนา และรูปแบบการฝังหินแกรนิตให้เหมาะสมกับงาน และมอบข้อมูลการวัดเพื่อพิสูจน์ให้คุณทราบ สำรวจเพิ่มเติมได้ที่นี่โซลูชันหินแกรนิตที่มีความแม่นยำสูงเป็นพิเศษเพื่อเริ่มต้น