ขอบเขตการใช้งานของโมดูลการเคลื่อนที่ความแม่นยำสูงแบบลอยตัวด้วยอากาศแกนเดียวโดยใช้ฐานหินแกรนิต

การผลิตเซมิคอนดักเตอร์: ในกระบวนการผลิตชิป กระบวนการโฟโตลิโทกราฟีจำเป็นต้องถ่ายทอดลวดลายวงจรไปยังเวเฟอร์อย่างแม่นยำ ฐานหินแกรนิตของโมดูลการเคลื่อนที่แบบลอยตัวด้วยอากาศแกนเดียวที่มีความแม่นยำสูง สามารถให้การกำหนดตำแหน่งที่แม่นยำสูงและรองรับโต๊ะเวเฟอร์ได้อย่างมั่นคงในอุปกรณ์ลิโทกราฟี ตัวอย่างเช่น ASML และผู้ผลิตเครื่องลิโทกราฟีที่มีชื่อเสียงระดับนานาชาติอื่นๆ ใช้โมดูลการเคลื่อนที่แบบลอยตัวด้วยอากาศฐานหินแกรนิตในอุปกรณ์ระดับไฮเอนด์ของตน ซึ่งสามารถควบคุมความแม่นยำในการกำหนดตำแหน่งของเวเฟอร์ในระดับนาโนเมตร เพื่อให้มั่นใจในความแม่นยำของลวดลายลิโทกราฟี จึงช่วยปรับปรุงการรวมวงจรและประสิทธิภาพของชิป
สาขาการวัดความแม่นยำสูง: เครื่องวัดพิกัดสามมิติ (CMM) เป็นอุปกรณ์วัดความแม่นยำสูงที่ใช้กันทั่วไปในการผลิตทางอุตสาหกรรม ซึ่งใช้ในการวัดขนาด รูปร่าง และความแม่นยำของตำแหน่งของชิ้นงาน โมดูลการเคลื่อนที่ความแม่นยำสูงแบบแกนเดียวลอยตัวบนฐานหินแกรนิตสามารถใช้เป็นแท่นเคลื่อนที่ของ CMM ซึ่งสามารถทำให้การเคลื่อนที่เชิงเส้นมีความแม่นยำสูงและให้เส้นทางการเคลื่อนที่ที่เสถียรสำหรับหัววัด ตัวอย่างเช่น CMM ระดับไฮเอนด์ของ Hexagon ใช้การผสมผสานนี้ในการวัดชิ้นส่วนขนาดใหญ่และซับซ้อนด้วยความแม่นยำในการวัดระดับไมครอน ซึ่งเป็นการรับประกันที่แข็งแกร่งสำหรับการควบคุมคุณภาพชิ้นส่วนในอุตสาหกรรมยานยนต์ การบินและอวกาศ และอุตสาหกรรมอื่นๆ
สาขาการบินและอวกาศ: ในกระบวนการผลิตและทดสอบชิ้นส่วนการบินและอวกาศนั้น จำเป็นต้องมีความแม่นยำสูง ตัวอย่างเช่น การกลึงใบพัดเครื่องยนต์อากาศยาน จำเป็นต้องควบคุมวิถีการเคลื่อนที่ของเครื่องมืออย่างแม่นยำ เพื่อให้ได้รูปทรงใบพัดที่ถูกต้อง ฐานหินแกรนิตของโมดูลเคลื่อนที่ความแม่นยำสูงแบบลอยตัวในอากาศแกนเดียว สามารถนำไปใช้กับเครื่องจักรกลซีเอ็นซี 5 แกน และอุปกรณ์อื่นๆ เพื่อให้การควบคุมการเคลื่อนที่ที่มีความแม่นยำสูงสำหรับเครื่องมือ และรับประกันว่าความแม่นยำในการกลึงใบพัดเป็นไปตามข้อกำหนดการออกแบบ ในขณะเดียวกัน ในกระบวนการประกอบเครื่องยนต์อากาศยาน ก็จำเป็นต้องใช้อุปกรณ์วัดความแม่นยำสูงเพื่อตรวจสอบความแม่นยำในการประกอบชิ้นส่วน โมดูลเคลื่อนที่แบบลอยตัวในอากาศบนฐานหินแกรนิตสามารถให้การรองรับที่มั่นคงและการเคลื่อนที่ที่แม่นยำสำหรับอุปกรณ์วัด เพื่อให้มั่นใจในคุณภาพการประกอบ
สาขาการตรวจสอบด้วยแสง: ในกระบวนการผลิตและการทดสอบชิ้นส่วนทางแสง จำเป็นต้องมีการกำหนดตำแหน่งและการวัดชิ้นส่วนทางแสงด้วยความแม่นยำสูง ตัวอย่างเช่น ในการผลิตชิ้นส่วนทางแสงที่มีความแม่นยำสูง เช่น กระจกและเลนส์ จำเป็นต้องใช้เครื่องวัดการรบกวนของแสง (interferometer) และอุปกรณ์อื่นๆ เพื่อตรวจสอบความแม่นยำของรูปทรงพื้นผิว ฐานหินแกรนิตของโมดูลเคลื่อนที่ความแม่นยำสูงแบบลอยตัวในอากาศแกนเดียว สามารถใช้เป็นแท่นเคลื่อนที่ของเครื่องวัดการรบกวนของแสง ซึ่งสามารถทำให้ได้ความแม่นยำในการกำหนดตำแหน่งระดับต่ำกว่าไมครอน และให้ข้อมูลที่แม่นยำสำหรับการตรวจสอบชิ้นส่วนทางแสง นอกจากนี้ ในอุปกรณ์การประมวลผลด้วยเลเซอร์ ยังจำเป็นต้องใช้แท่นเคลื่อนที่ความแม่นยำสูงเพื่อควบคุมวิถีการสแกนของลำแสงเลเซอร์ ฐานหินแกรนิตของโมดูลเคลื่อนที่แบบลอยตัวในอากาศสามารถตอบสนองความต้องการนี้ เพื่อให้ได้การประมวลผลด้วยเลเซอร์ที่มีความแม่นยำสูง