วัสดุหินแกรนิตถูกนำไปใช้ในส่วนใดบ้างของระบบการถ่ายโอนเวเฟอร์?

หินแกรนิตถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เนื่องจากมีคุณสมบัติที่ยอดเยี่ยม เช่น ความเสถียรสูง การขยายตัวทางความร้อนต่ำ และความต้านทานต่อการกัดกร่อนสูง คุณสมบัติเหล่านี้ทำให้หินแกรนิตเป็นวัสดุที่เหมาะสมอย่างยิ่งสำหรับการสร้างชิ้นส่วนที่มีความแม่นยำสูงในระบบการถ่ายโอนเวเฟอร์

ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ระบบขนส่งเวเฟอร์มีบทบาทสำคัญอย่างยิ่งในการเคลื่อนย้ายเวเฟอร์ไปยังขั้นตอนต่างๆ ของกระบวนการผลิต ความแม่นยำและความถูกต้องเป็นสิ่งจำเป็นสำหรับระบบเหล่านี้ เนื่องจากแม้แต่ความคลาดเคลื่อนเพียงเล็กน้อยก็อาจทำให้กระบวนการทั้งหมดเสียหายได้ ดังนั้น ชิ้นส่วนในระบบขนส่งเวเฟอร์จึงต้องทำจากวัสดุคุณภาพสูง และหินแกรนิตก็ตรงตามเกณฑ์เหล่านั้น

ชิ้นส่วนบางส่วนของระบบลำเลียงเวเฟอร์ที่ทำจากวัสดุหินแกรนิต ได้แก่:

1. โต๊ะจับชิ้นงานแบบสุญญากาศ

โต๊ะจับยึดแบบสุญญากาศใช้สำหรับยึดแผ่นเวเฟอร์ระหว่างกระบวนการผลิต และต้องมีพื้นผิวที่มั่นคงเพื่อป้องกันไม่ให้แผ่นเวเฟอร์เสียหาย หินแกรนิตเป็นวัสดุที่เหมาะสมอย่างยิ่งสำหรับการทำโต๊ะนี้ เนื่องจากมีพื้นผิวเรียบและไม่มีรูพรุน ทำให้มีความเสถียรและความแม่นยำสูง นอกจากนี้ หินแกรนิตยังมีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ ทำให้ทนต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิที่อาจทำให้ขนาดของแผ่นเวเฟอร์เปลี่ยนแปลงได้

2. ขั้นบันไดแบริ่งลม

แท่นรองรับแบบใช้ลมใช้สำหรับลำเลียงแผ่นเวเฟอร์ผ่านขั้นตอนต่างๆ ของกระบวนการผลิต แท่นนี้ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมเพื่อให้การเคลื่อนที่ปราศจากแรงเสียดทาน ซึ่งต้องการความแม่นยำและความเสถียรสูง หินแกรนิตถูกนำมาใช้ในงานนี้เนื่องจากเป็นหินที่แข็งแรงและทนทาน และทนต่อการเสียรูปและการสึกหรอเมื่อเวลาผ่านไป

3. รางนำทางเชิงเส้น

รางนำทางเชิงเส้นใช้สำหรับนำทางแท่นวางที่ใช้ระบบแบริ่งลม และต้องจัดวางตำแหน่งอย่างแม่นยำเพื่อลดข้อผิดพลาดให้น้อยที่สุด หินแกรนิตถูกนำมาใช้ในการสร้างรางนำทางนี้เนื่องจากมีเสถียรภาพและความแข็งแรงทางกลที่ดีเยี่ยม นอกจากนี้วัสดุยังทนต่อการกัดกร่อน ซึ่งช่วยให้ระบบรางนำทางมีอายุการใช้งานยาวนาน

4. อุปกรณ์การวัด

อุปกรณ์วัดทางมาตรวิทยาใช้สำหรับวัดขนาดและคุณสมบัติของแผ่นเวเฟอร์ระหว่างกระบวนการผลิต หินแกรนิตเป็นวัสดุที่เหมาะสมอย่างยิ่งสำหรับการสร้างอุปกรณ์นี้ เนื่องจากมีความแข็งแรงสูง การขยายตัวต่ำ และการเสียรูปน้อยที่สุดภายใต้แรงกด นอกจากนี้ ความเสถียรทางความร้อนของหินแกรนิตยังช่วยให้มั่นใจได้ว่าอุปกรณ์วัดทางมาตรวิทยาจะคงความเสถียรและแม่นยำตลอดเวลา

โดยสรุปแล้ว อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ต้องการความแม่นยำและถูกต้อง และวัสดุหินแกรนิตได้พิสูจน์แล้วว่ามีความน่าเชื่อถือและเสถียรสูงในกระบวนการผลิต เนื่องจากชิ้นส่วนสำคัญหลายชิ้นในระบบการถ่ายโอนเวเฟอร์ต้องการความเสถียร ความแม่นยำสูง และการขยายตัวทางความร้อนต่ำ วิศวกรจึงหันมาใช้วัสดุหินแกรนิตเพื่อตอบสนองความต้องการที่สำคัญเหล่านี้