หินแกรนิตถูกนำไปใช้เป็นหลักในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์และอุปกรณ์อิเล็กโทรออปติก

ในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์และออปโตอิเล็กทรอนิกส์ หินแกรนิตส่วนใหญ่ใช้ในชิ้นส่วนสำคัญ เช่น แท่นเคลื่อนที่ความแม่นยำสูง ฐานรางนำทาง โครงสร้างรองรับการลดแรงสั่นสะเทือน และฐานติดตั้งชิ้นส่วนออปติก ชิ้นส่วนเหล่านี้มีความต้องการสูงมากในด้านความแม่นยำ ความเสถียร และความทนทานต่อสภาพแวดล้อม คุณลักษณะของหินแกรนิตสามารถตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และออปโตอิเล็กทรอนิกส์ได้อย่างแม่นยำ ต่อไปนี้เป็นการวิเคราะห์สถานการณ์การใช้งานเฉพาะและข้อดี:
I. ส่วนประกอบหลักของระบบ
แท่นวางชิ้นงานที่มีความแม่นยำสูง (เช่น แท่นวางเวเฟอร์สำหรับเครื่องโฟโตลิโทกราฟีและเครื่องเชื่อมเวเฟอร์)
ใช้สำหรับลำเลียงชิ้นส่วนที่มีความแม่นยำสูง เช่น แผ่นเวเฟอร์และเลนส์ออปติคอล โดยสามารถเคลื่อนที่ในแนวราบและหมุนได้อย่างแม่นยำในระดับนาโนเมตร
อุปกรณ์ทั่วไป: โต๊ะวางชิ้นงานของเครื่องโฟโตลิโทกราฟี, แท่นกำหนดตำแหน่งของอุปกรณ์วัด
ฐานรางนำทางและโครงสร้างเฟรม
ในฐานะฐานติดตั้งสำหรับรางนำทางเชิงเส้นและรางนำทางแบบลอยตัวด้วยอากาศ มันช่วยรองรับกลไกการเคลื่อนที่หลักของอุปกรณ์
อุปกรณ์ทั่วไป: โครงสร้างเชิงกลของอุปกรณ์บรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์ และเครื่องมือตรวจสอบด้วยแสง
โครงสร้างรองรับและเสริมความมั่นคงเพื่อลดแรงสั่นสะเทือน
ใช้เพื่อแยกการสั่นสะเทือนจากภายนอก (เช่น การสั่นสะเทือนจากพื้นโรงงานหรือระหว่างการทำงานของอุปกรณ์) เพื่อให้มั่นใจถึงเสถียรภาพของระบบออปติคอลหรือเครื่องจักรที่มีความแม่นยำสูง
ตัวอย่างการใช้งานทั่วไป: ฐานรองรับสำหรับกล้องจุลทรรศน์แบบใช้แสงและเครื่องวัดการแทรกสอดของแสงเลเซอร์
ฐานยึดชิ้นส่วนออปติคอล
ยึดอุปกรณ์ทางแสง เช่น กระจก ปริซึม และเลเซอร์ เพื่อให้มั่นใจถึงความเสถียรของความแม่นยำในการจัดแนวของระบบทางเดินแสงในระยะยาว
อุปกรณ์ทั่วไป: อุปกรณ์บรรจุภัณฑ์อิเล็กโทรออปติกส์ ระบบเชื่อมต่อใยแก้วนำแสง