วิธีตรวจสอบความแท้! คู่มือฉบับสมบูรณ์สำหรับการแยกแยะหินอ่อนออกจากฐานหินแกรนิตธรรมชาติในอุปกรณ์ทำเวเฟอร์

ในอุตสาหกรรมการผลิตแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ การเลือกใช้วัสดุพื้นฐานส่งผลโดยตรงต่อความแม่นยำของอุปกรณ์และผลผลิต ผู้ผลิตบางรายที่ไร้จรรยาบรรณอาจนำหินอ่อนมาปลอมเป็นหินแกรนิตธรรมชาติ หรือนำสินค้าคุณภาพต่ำมาปลอมเป็นสินค้าคุณภาพดี การเข้าใจวิธีการตรวจสอบความแตกต่างระหว่างวัสดุทั้งสองชนิดนี้เป็นกุญแจสำคัญในการรับประกันการทำงานที่เสถียรของอุปกรณ์ผลิตเวเฟอร์ บทความนี้จะอธิบายความแตกต่างในสี่มิติหลัก เพื่อช่วยให้คุณหลีกเลี่ยงกับดักของสินค้าทดแทนคุณภาพต่ำ
I. ความหนาแน่นและความแข็ง: "บัตรประจำตัว" ทางกายภาพที่เข้าใจง่ายที่สุด
หินแกรนิตธรรมชาติ: มีความหนาแน่น 2600-3100 กก./ลบ.ม. ความแข็งตามมาตราโมห์ 6-7 และมีเสียงใสเมื่อถูกเคาะ ส่วนหินแกรนิตสีดำที่ ZHHIMG® เลือกใช้นั้นมีความหนาแน่นมากกว่า 3000 กก./ลบ.ม. และสามารถรับน้ำหนักได้สม่ำเสมอมากกว่า 1000 กก./ตร.ม.
หินอ่อน: มีความหนาแน่นเพียง 2500-2700 กก./ลบ.ม. ความแข็ง 3-5 และมีเสียงทึบเมื่อถูกกระทบ หากลองขูดพื้นผิวหินอ่อนเบา ๆ ด้วยเหรียญ หินอ่อนมักจะทิ้งรอยไว้ ในขณะที่หินแกรนิตแทบจะไม่เสียหายเลย

ii. ลักษณะโครงสร้าง: "ข้อบกพร่อง" ที่มองเห็นได้ภายใต้กล้องจุลทรรศน์
หินแกรนิตธรรมชาติ: ประกอบด้วยอนุภาคแร่ เช่น ควอตซ์และเฟลด์สปาร์ที่สานกันอย่างแน่นหนา มีรูพรุนน้อยกว่า 0.5% การทดสอบด้วยคลื่นอัลตราโซนิคไม่พบข้อบกพร่องภายในที่ชัดเจน
หินอ่อน: ส่วนประกอบหลักคือแคลเซียมคาร์บอเนต มีโครงสร้างผลึกหลวม มีรูพรุน 1-3% และมีแนวโน้มที่จะดูดซับน้ำและขยายตัว ในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงของอุปกรณ์ผลิตเวเฟอร์ ฐานหินอ่อนอาจทำให้เกิดความคลาดเคลื่อนของความแม่นยำมากกว่า ±5 ไมโครเมตร เนื่องจากการขยายตัวและการหดตัวจากความร้อน

3. การทดสอบประสิทธิภาพ: "กระจกวิเศษ" ในการต่อสู้จริง

IV. การตรวจสอบและติดตาม: "หลักฐานยืนยันตัวตน" ที่เชื่อถือได้
ฐานหินแกรนิตอย่างเป็นทางการ: มีใบรับรองคุณภาพ ISO 9001 และรายงานการทดสอบองค์ประกอบแร่จาก SGS และสามารถตรวจสอบแหล่งที่มาของสายแร่ได้ (เช่น หินดำจี่หนาน, หินดำซานตง, หินดำอินเดีย)
สินค้าทดแทนคุณภาพต่ำ: หากไม่มีการรับรองอย่างเป็นทางการ หรือระบุอย่างคลุมเครือว่าเป็น "วัสดุหินแกรนิต" แท้จริงแล้วคือหินอ่อนที่ย้อมสี และไม่สามารถให้ข้อมูลการทดสอบโดยละเอียดได้
คู่มือหลีกเลี่ยงข้อผิดพลาด: สามเคล็ดลับเพื่อสร้างฐานคุณภาพสูง
ตรวจสอบใบรับรอง: ขอให้ผู้จำหน่ายแสดงรายงานการทดสอบความหนาแน่น ความแข็ง และค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน
ประสิทธิภาพการทดสอบ: จำลองสภาพแวดล้อมการทำงานของอุปกรณ์ผลิตเวเฟอร์เพื่อทดสอบความเสถียรของฐานภายใต้การสั่นสะเทือนและการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ
เมื่อเลือกแบรนด์ ควรให้ความสำคัญกับผู้ผลิตอย่างเช่น ZHHIMG® ที่ผ่านการรับรองระบบ ISO สามระบบ เพื่อหลีกเลี่ยงกับดักราคาถูกของโรงงานขนาดเล็ก