ฐานเครื่องจักรหินแกรนิตความแม่นยำสูงช่วยเพิ่มความแม่นยำของอุปกรณ์ตรวจสอบเวเฟอร์ได้อย่างไร

Iในอุตสาหกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ความแม่นยำของอุปกรณ์ตรวจสอบเวเฟอร์มีความสำคัญอย่างยิ่งต่อการรับประกันคุณภาพของวงจรรวม ฐานเครื่องจักรหินแกรนิตความแม่นยำสูง เช่นที่จัดจำหน่ายโดย ZHHIMG® มีบทบาทสำคัญในการเพิ่มประสิทธิภาพของอุปกรณ์ดังกล่าว นี่คือวิธีที่มันสร้างความแตกต่าง
หินแกรนิตมีความเสถียรทางมิติที่ยอดเยี่ยม โดยมีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำมาก ประมาณ (4–8)×10⁻⁶/℃ ซึ่งต่ำกว่าโลหะหลายชนิดอย่างมาก ในสภาพแวดล้อมที่มีการควบคุมอย่างเข้มงวดของโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งแม้แต่การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียงเล็กน้อยก็อาจทำให้เกิดข้อผิดพลาดในการวัดได้ แต่ฐานเครื่องจักรที่ทำจากหินแกรนิตยังคงมีความเสถียร ความเสถียรนี้ช่วยให้มั่นใจได้ว่าการวางตำแหน่งของชิ้นส่วนในอุปกรณ์ตรวจสอบเวเฟอร์มีความแม่นยำ ป้องกันความคลาดเคลื่อนที่เกิดจากความร้อนซึ่งอาจส่งผลต่อความแม่นยำของผลการตรวจสอบ

การลดแรงสั่นสะเทือนที่เหนือกว่า พื้นที่การผลิตมักเต็มไปด้วยแรงสั่นสะเทือนจากแหล่งต่างๆ คุณสมบัติการลดแรงสั่นสะเทือนโดยธรรมชาติของหินแกรนิต ด้วยอัตราส่วนการลดแรงสั่นสะเทือน 0.05–0.1 สามารถดูดซับและกระจายแรงสั่นสะเทือนเหล่านี้ได้อย่างมีประสิทธิภาพ สำหรับแผ่นเวเฟอร์
ในการใช้งานที่ต้องการภาพความละเอียดสูงและการอ่านค่าเซ็นเซอร์ที่แม่นยำ การลดการสั่นสะเทือนที่เกิดจากฐานหินแกรนิตนั้นมีค่าอย่างยิ่ง ช่วยลดการรบกวนที่อาจทำให้ภาพเบลอหรือข้อมูลเซ็นเซอร์ผิดเพี้ยน ทำให้เครื่องมือสามารถบันทึกข้อมูลที่ชัดเจนและแม่นยำเกี่ยวกับพื้นผิวและโครงสร้างภายในของแผ่นเวเฟอร์ได้
ความแข็งแกร่งสูงและทนทานต่อการสึกหรอ ด้วยความหนาแน่นประมาณ 3100 กก./ลบ.ม. ฐานเครื่องจักรหินแกรนิตของ ZHHIMG® จึงมีความแข็งแกร่งเป็นพิเศษ สามารถรองรับชิ้นส่วนหนักของอุปกรณ์ตรวจสอบเวเฟอร์ได้โดยไม่เสียรูปทรง รักษาการจัดแนวของระบบออปติคอลและกลไก นอกจากนี้ ความแข็งสูงของหินแกรนิต (ระดับโมห์ 6–7) และความทนทานต่อการสึกหรอที่ดีเยี่ยม ทำให้พื้นผิวของฐานเครื่องจักรยังคงเรียบเนียนอยู่เสมอ ความสม่ำเสมอนี้มีความสำคัญต่อความแม่นยำในระยะยาว เนื่องจากหากเกิดการสึกหรอหรือเสียรูปทรงบนฐาน อาจทำให้ความแม่นยำของอุปกรณ์ลดลงได้
ความเฉื่อยทางเคมี การผลิตเซมิคอนดักเตอร์เกี่ยวข้องกับการสัมผัสกับสารเคมีต่างๆ ความเฉื่อยทางเคมีของหินแกรนิตทำให้ทนต่อการกัดกร่อนจากสารเหล่านี้ คุณสมบัตินี้ช่วยปกป้องความสมบูรณ์ของฐานเครื่องจักร ป้องกันความเสียหายที่เกิดจากสารเคมีซึ่งอาจส่งผลกระทบต่อเสถียรภาพและความแม่นยำของอุปกรณ์ตรวจสอบ
โดยสรุปแล้ว ฐานเครื่องจักรหินแกรนิตความแม่นยำสูงไม่ใช่แค่ส่วนประกอบ แต่เป็นกุญแจสำคัญในการบรรลุข้อกำหนดด้านความแม่นยำที่เข้มงวดของอุปกรณ์ตรวจสอบเวเฟอร์ เมื่อเลือกฐานเครื่องจักรหินแกรนิต ควรเลือกผู้ให้บริการที่เชื่อถือได้เช่น ZHHIMG® ด้วยการรับรองมากมายและความมุ่งมั่นในคุณภาพ ZHHIMG® รับประกันว่าฐานเครื่องจักรหินแกรนิตทุกชิ้นจะมอบความน่าเชื่อถือและประสิทธิภาพที่จำเป็นสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง