ในด้านการควบคุมการเคลื่อนที่ที่มีความแม่นยำสูงเป็นพิเศษ ประสิทธิภาพของโมดูลการเคลื่อนที่แบบลอยตัวด้วยอากาศที่มีความแม่นยำสูงนั้นขึ้นอยู่กับคุณลักษณะของฐานเป็นอย่างมาก ฐานหินแกรนิตที่มีความแม่นยำสูงและฐานเซรามิกเป็นสองตัวเลือกยอดนิยม ซึ่งแต่ละแบบมีข้อดีเฉพาะตัว และมีความแตกต่างกันอย่างเห็นได้ชัดในด้านความเสถียร การรักษาความแม่นยำ ความทนทาน และมิติสำคัญอื่นๆ

ความเสถียร: ความกะทัดรัดตามธรรมชาติเทียบกับความแม่นยำที่สร้างขึ้น
หินแกรนิตเกิดขึ้นจากกระบวนการทางธรณีวิทยาอันยาวนาน โครงสร้างภายในมีความหนาแน่นและสม่ำเสมอ และแร่ธาตุต่างๆ เช่น ควอตซ์และเฟลด์สปาร์ ผสานกันอย่างแน่นหนา เมื่อเผชิญกับการรบกวนจากภายนอก เช่น การสั่นสะเทือนที่เกิดจากการทำงานของอุปกรณ์ขนาดใหญ่ในโรงงาน ฐานหินแกรนิตสามารถปิดกั้นและลดทอนการสั่นสะเทือนได้อย่างมีประสิทธิภาพด้วยโครงสร้างผลึกที่ซับซ้อน ซึ่งสามารถลดความ amplitud ของการสั่นสะเทือนของโมดูลการเคลื่อนที่ความแม่นยำสูงที่ส่งไปยังลูกลอยได้มากกว่า 80% ทำให้โมดูลมีฐานการทำงานที่มั่นคงและมั่นใจได้ว่าโมดูลจะเคลื่อนที่ได้อย่างราบรื่นในกระบวนการประมวลผลหรือการตรวจจับที่มีความแม่นยำสูง
ฐานเซรามิกผลิตขึ้นด้วยกระบวนการสังเคราะห์ขั้นสูง และมีความสม่ำเสมอของโครงสร้างภายในที่ดีเยี่ยม โครงสร้างจุลภาคของวัสดุเซรามิกประสิทธิภาพสูงบางชนิดนั้นเกือบสมบูรณ์แบบ ซึ่งสามารถสร้างผลการลดแรงสั่นสะเทือนได้อย่างมีประสิทธิภาพ ในอุปกรณ์ตรวจสอบด้วยแสงบางชนิดที่ไวต่อการสั่นสะเทือนอย่างมาก ฐานเซรามิกสามารถลดการรบกวนจากการสั่นสะเทือนในขอบเขตที่แคบมาก เพื่อให้มั่นใจถึงการเคลื่อนที่ที่มีความแม่นยำสูงของโมดูลการเคลื่อนที่ที่มีความแม่นยำสูงของลูกลอยอากาศ แต่เมื่อเผชิญกับการสั่นสะเทือนขนาดใหญ่และความรุนแรงสูง ความเสถียรโดยรวมของฐานเซรามิกจะด้อยกว่าฐานหินแกรนิตเล็กน้อย
การรักษาความแม่นยำ: ข้อดีโดยธรรมชาติของการขยายตัวต่ำ และความมหัศจรรย์ที่สร้างขึ้นโดยฝีมือมนุษย์ในด้านความเสถียรที่อุณหภูมิสูง
หินแกรนิตเป็นที่รู้จักกันดีในเรื่องค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนที่ต่ำมาก โดยทั่วไปอยู่ที่ 5-7 ×10⁻⁶/℃ ในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิผันผวน ขนาดของฐานหินแกรนิตที่มีความแม่นยำสูงจะเปลี่ยนแปลงน้อยมาก ตัวอย่างเช่น ในด้านดาราศาสตร์ โมดูลการเคลื่อนที่ที่มีความแม่นยำสูงพิเศษสำหรับการปรับแต่งเลนส์กล้องโทรทัศน์อย่างละเอียดนั้น ใช้ร่วมกับฐานหินแกรนิต แม้ในสภาพแวดล้อมที่มีความแตกต่างของอุณหภูมิระหว่างกลางวันและกลางคืนมาก ก็สามารถรับประกันได้ว่าความแม่นยำในการกำหนดตำแหน่งของเลนส์จะคงอยู่ที่ระดับต่ำกว่าไมครอน ช่วยให้นักดาราศาสตร์สามารถบันทึกการเปลี่ยนแปลงเล็กน้อยของวัตถุท้องฟ้าที่อยู่ไกลออกไปได้

วัสดุเซรามิกยังแสดงประสิทธิภาพที่ดีในด้านความเสถียรที่อุณหภูมิสูงและลักษณะการขยายตัวต่ำ โดยค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนของเซรามิกชนิดพิเศษบางชนิดอาจต่ำถึงเกือบศูนย์ได้ ภายใต้สภาวะอุณหภูมิสูงหรือการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างรวดเร็ว ฐานเซรามิกสามารถรักษารูปทรงให้คงที่เพื่อให้มั่นใจได้ว่าความแม่นยำในการเคลื่อนที่ของโมดูลการเคลื่อนที่ความแม่นยำสูงของลูกลอยอากาศจะไม่ได้รับผลกระทบ ในกระบวนการพิมพ์หิน (lithography) ในการผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์ อุปกรณ์พิมพ์หินจำเป็นต้องทำงานอย่างต่อเนื่องในสภาพแวดล้อมที่มีความแม่นยำสูง และฐานเซรามิกสามารถรักษาความแม่นยำในการกำหนดตำแหน่งของโมดูลในสภาพแวดล้อมที่มีความร้อนสูงที่เกิดจากอุปกรณ์ ซึ่งตรงตามข้อกำหนดที่เข้มงวดของการผลิตชิปสำหรับความแม่นยำระดับนาโนสเกล
ความทนทาน: ความแข็งสูงของแร่ธรรมชาติและวัสดุสังเคราะห์ที่ทนต่อการกัดกร่อน
หินแกรนิตมีความแข็งสูง โดยมีค่าความแข็งตามมาตราโมห์อยู่ที่ 6-7 และทนต่อการสึกหรอได้ดี ในห้องปฏิบัติการวิทยาศาสตร์วัสดุ โมดูลการเคลื่อนที่ความแม่นยำสูงแบบลอยตัวด้วยอากาศที่ใช้กันบ่อยนั้น ฐานหินแกรนิตสามารถต้านทานแรงเสียดทานในระยะยาวของตัวเลื่อนลอยตัวด้วยอากาศได้อย่างมีประสิทธิภาพ เมื่อเทียบกับฐานวัสดุทั่วไป สามารถยืดอายุการใช้งานของโมดูลได้มากกว่า 50% ช่วยลดต้นทุนการบำรุงรักษาอุปกรณ์ได้อย่างมาก และรับประกันความต่อเนื่องของงานวิจัยทางวิทยาศาสตร์
วัสดุเซรามิกไม่เพียงแต่มีความแข็งสูง แต่ยังมีคุณสมบัติทนต่อการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม ในสภาพแวดล้อมทางอุตสาหกรรมบางแห่งที่มีความเสี่ยงต่อการกัดกร่อนทางเคมี เช่น โมดูลการเคลื่อนที่ความแม่นยำสูงของลูกลอยในอุปกรณ์ทดสอบผลิตภัณฑ์เคมี ฐานเซรามิกสามารถทนต่อการกัดกร่อนของก๊าซหรือของเหลวที่มีฤทธิ์กัดกร่อน รักษาความสมบูรณ์ของพื้นผิวและคุณสมบัติทางกลได้เป็นเวลานาน และมีความทนทานดีกว่าฐานหินแกรนิตในสภาพแวดล้อมที่รุนแรงบางประเภท
ต้นทุนการผลิตและความยากลำบากในการแปรรูป: ความท้าทายในการทำเหมืองและการแปรรูปหินธรรมชาติ และขีดจำกัดทางเทคนิคของการสังเคราะห์หินเทียม
กระบวนการขุดและขนส่งวัตถุดิบหินแกรนิตมีความซับซ้อน และกระบวนการแปรรูปต้องใช้อุปกรณ์และเทคโนโลยีขั้นสูงมาก เนื่องจากหินแกรนิตมีความแข็งและเปราะสูง จึงง่ายต่อการเกิดปัญหา เช่น การยุบตัวของขอบและการแตกร้าวในขั้นตอนการตัด การเจียร การขัดเงา และกระบวนการอื่นๆ ส่งผลให้อัตราของเสียค่อนข้างสูงและทำให้ต้นทุนการผลิตสูง
การผลิตฐานเซรามิกต้องอาศัยเทคโนโลยีการสังเคราะห์ขั้นสูงและการขึ้นรูปที่แม่นยำ ตั้งแต่การเตรียมวัตถุดิบ การขึ้นรูป ไปจนถึงการเผาผนึก แต่ละขั้นตอนต้องการการควบคุมที่แม่นยำ การลงทุนในช่วงเริ่มต้นในการพัฒนาและการผลิตฐานเซรามิกประสิทธิภาพสูงนั้นมหาศาลและมีอุปสรรคทางเทคนิคสูง แต่เมื่อสามารถผลิตได้ในปริมาณมาก คาดว่าต้นทุนจะถูกควบคุมได้อย่างมีประสิทธิภาพ และมีศักยภาพในการคุ้มค่าในด้านการใช้งานระดับสูง
โดยรวมแล้ว ฐานหินแกรนิตที่มีความแม่นยำสูงนั้นมีประสิทธิภาพดีในด้านเสถียรภาพโดยรวมและความทนทานทั่วไป ในขณะที่ฐานเซรามิกมีข้อได้เปรียบเฉพาะตัวในด้านความสามารถในการปรับตัวให้เข้ากับสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและต่ำ และความทนทานต่อการกัดกร่อน การเลือกใช้ฐานควรพิจารณาจากสถานการณ์การใช้งาน สภาพแวดล้อม และงบประมาณของโมดูลการเคลื่อนที่ความแม่นยำสูงแบบลอยตัวด้วยอากาศ
วันที่เผยแพร่: 8 เมษายน 2568