การปฏิวัติครั้งสำคัญในด้านความแม่นยำในการตัดแผ่นเวเฟอร์! จะรักษาความคลาดเคลื่อน ±5 ไมโครเมตรสำหรับฐานหินแกรนิตได้อย่างไร?

ในการต่อสู้ขั้นสุดยอดของ "ความแม่นยำระดับนาโน" ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ แม้แต่ความผิดพลาดเพียงเล็กน้อยในอุปกรณ์ตัดเวเฟอร์ก็อาจทำให้ชิปกลายเป็นของเสียได้ ฐานหินแกรนิตคือฮีโร่ผู้ปิดทองหลังพระที่ควบคุมความแม่นยำในการวางตำแหน่งซ้ำ ±5 ไมโครเมตร ซึ่งเป็นการเขียนกฎใหม่ของการผลิตที่แม่นยำด้วยสิ่งมหัศจรรย์ทางธรรมชาติทั้งสามประการ

"จุดยึดตรึง" ที่ป้องกันการเสียรูปจากความร้อน: ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนของหินแกรนิตต่ำมากเพียง 5-7 × 10⁻⁶/℃ ซึ่งเป็นเพียงหนึ่งในสามของวัสดุโลหะ ภายใต้แรงกระแทกจากความร้อนที่เกิดจากการทำงานด้วยความเร็วสูงของอุปกรณ์ตัดแผ่นเวเฟอร์ วัสดุทั่วไปจะเสียรูปเนื่องจากการขยายตัวและการหดตัวจากความร้อน ทำให้ตำแหน่งของหัวตัดคลาดเคลื่อน อย่างไรก็ตาม ฐานหินแกรนิตสามารถคง "อยู่นิ่ง" ได้ ช่วยขจัดความคลาดเคลื่อนของตำแหน่งที่เกิดจากการเสียรูปจากความร้อนได้อย่างสิ้นเชิง และวางรากฐานที่มั่นคงสำหรับความแม่นยำ

"เกราะป้องกันเงียบ" แห่งการดูดซับแรงสั่นสะเทือน: เสียงคำรามอย่างต่อเนื่องของเครื่องมือกลและการสั่นสะเทือนอย่างต่อเนื่องของอุปกรณ์ในโรงงานสามารถถือได้ว่าเป็น "ภัยร้ายแรง" ต่อความแม่นยำ โครงสร้างผลึกที่เป็นเอกลักษณ์ของหินแกรนิตเปรียบเสมือนตัวดูดซับแรงกระแทกตามธรรมชาติ สามารถเปลี่ยนแรงสั่นสะเทือนภายนอกและแรงสั่นสะเทือนทางกลที่เกิดจากการทำงานของอุปกรณ์ให้เป็นพลังงานความร้อนเพื่อระบายออกได้อย่างรวดเร็ว ในขณะที่ฐานรองอื่นๆ ยังคง "โยกเยก" เนื่องจากการสั่นสะเทือน ฐานรองหินแกรนิตได้สร้างแพลตฟอร์มที่มั่นคงสำหรับหัวตัดซึ่งยังคงอยู่นิ่ง ทำให้ได้ความแม่นยำ ±5 ไมโครเมตร

หินแกรนิต "ป้อมปราการนิรันดร์" ที่ทนทานต่อการกัดกร่อน: โรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์เต็มไปด้วยสารกัดกร่อน เช่น สารละลายกัดกรด และสารทำความสะอาดที่เป็นกรดและด่าง ในสภาพแวดล้อมเช่นนี้ ฐานโลหะจะค่อยๆ เป็นสนิมและเสียรูป แต่หินแกรนิตที่มีความเสถียรทางเคมีโดยธรรมชาติ จะไม่ทำปฏิกิริยากับสารเคมีเหล่านี้เลย ไม่ว่าจะใช้งานนานกี่ปี ก็ยังคงรักษาความสมบูรณ์ของโครงสร้างและรับประกันการตัดที่แม่นยำสูงได้อย่างต่อเนื่อง

จากคุณสมบัติทางวัสดุที่ยอดเยี่ยมไปจนถึงกระบวนการผลิตที่มีความแม่นยำสูง ฐานหินแกรนิตได้พิสูจน์ให้เห็นถึงความแข็งแกร่งว่าไม่ใช่ทุกวัสดุที่จะสามารถรับมือกับความท้าทายอันรุนแรงของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ได้ ด้วยข้อได้เปรียบตามธรรมชาติที่หาที่เปรียบไม่ได้เหล่านี้เองที่ทำให้ฐานหินแกรนิตกลายเป็นกุญแจสำคัญสำหรับอุปกรณ์ตัดเวเฟอร์เพื่อให้ได้ความแม่นยำในการวางตำแหน่งซ้ำที่ ±5 ไมโครเมตร และยังผลักดันให้อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ก้าวไปสู่ความแม่นยำที่สูงขึ้นอย่างต่อเนื่อง!