8 การใช้งานทั่วไปของชิ้นส่วนหินแกรนิตความแม่นยำสูงในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์

ในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ โครงสร้างพื้นฐานเป็นส่วนหนึ่งของงบประมาณด้านความแม่นยำ เครื่องมือตรวจสอบเวเฟอร์ แท่นประมวลผลด้วยเลเซอร์ หรือแท่นวัด ไม่ได้ต้องการเพียงแค่โครงสร้างที่มีความแม่นยำทางมิติในวันแรกเท่านั้น แต่ยังต้องการโครงสร้างที่คงรูปทรงเรขาคณิตไว้ได้แม้ในสภาวะอุณหภูมิเปลี่ยนแปลง ทนต่อการสั่นสะเทือน รักษาความสัมพันธ์ในการประกอบ และคงความสะอาดในสภาพแวดล้อมที่ควบคุมได้ การรวมกันของข้อกำหนดเหล่านี้คือเหตุผลที่หินแกรนิตที่มีความแม่นยำสูงกลายเป็นวัสดุโครงสร้างมาตรฐานในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

ด้านล่างนี้คือตัวอย่างการใช้งานทั่วไปแปดประการของชิ้นส่วนหินแกรนิตที่มีความแม่นยำสูงในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ และสำหรับแต่ละอุปกรณ์: ชิ้นส่วนทั่วไปที่เกี่ยวข้อง ข้อกังวลทางวิศวกรรมที่ตัดสินความสำเร็จ และสิ่งที่ซัพพลายเออร์ควรส่งมอบ หากคุณกำลังออกแบบเครื่องมือใหม่ นี่ก็เป็นเช็คลิสต์สำหรับการสอบถามของคุณเช่นกัน

ฐานหินแกรนิตขนาดใหญ่ที่ผ่านการกลึงขึ้นรูป มีช่องเจาะและเกลียวสำหรับติดตั้ง – ซึ่งเป็นโครงสร้างพื้นฐานสำหรับโมดูลอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์

1. ฐานรองสำหรับอุปกรณ์ตรวจสอบเวเฟอร์และอุปกรณ์วัดทางแสง

ระบบตรวจสอบด้วยแสง การตรวจสอบข้อบกพร่อง และการวัดด้วยภาพ ล้วนมีข้อกำหนดร่วมกันข้อหนึ่ง คือ การติดตั้งและการอ้างอิงการวัดที่มั่นคงภายใต้เลนส์ความละเอียดสูง การเคลื่อนไหวเพียงเล็กน้อยของฐานจะกลายเป็นสัญญาณรบกวนในภาพ

• ส่วนประกอบทั่วไป:ฐานหินแกรนิต เสา สะพาน พื้นผิวสำหรับติดตั้งรางออปติคอล เม็ดมีดเกลียว
• เน้นด้านวิศวกรรม:ความเรียบของระนาบอ้างอิงทางแสง ความขนานระหว่างพื้นผิวการติดตั้ง ความแม่นยำของตำแหน่งรู ความเสถียรทางความร้อน การควบคุมการสั่นสะเทือน
• สิ่งที่ ZHHIMG มอบให้:การคัดเลือกวัสดุ การขึ้นรูปโครงสร้าง การขัดเงาอย่างแม่นยำ การติดตั้งเม็ดมีด และรายงานการตรวจสอบขนาดสำหรับทุกพื้นผิวที่สำคัญ
• สำหรับคำถามของคุณ:ภาพวาด 2 มิติ/3 มิติ, อุปกรณ์รับส่งสัญญาณแสง, ความแม่นยำในการกำหนดเป้าหมาย, ช่วงอุณหภูมิของสภาพแวดล้อม

2. แท่นสำหรับเคลื่อนย้ายแผ่นเวเฟอร์และการวางตำแหน่งที่แม่นยำ

แท่นวาง XY, แท่นวางแบบมอเตอร์เชิงเส้น และกลไกการกำหนดตำแหน่งความแม่นยำสูง จำเป็นต้องมีจุดอ้างอิงทางกลที่แข็งแรงซึ่งไม่เคลื่อนที่ไปมาในขณะที่แท่นวางเร่งและลดความเร็วหลายพันครั้งต่อชั่วโมง

• ส่วนประกอบทั่วไป:แผ่นฐานหินแกรนิต, หินแกรนิตเตียงเครื่องจักรรางยึดแบบเส้นตรง, แผ่นรองยึดมอเตอร์
• เน้นด้านวิศวกรรม:ความเรียบและความตรงของที่นั่งรางนำทาง ความตั้งฉากระหว่างแกน ความแข็งแรงในการดึงชิ้นส่วนแทรก การลดการสั่นสะเทือนที่เกิดจากแท่นวาง
• สิ่งที่ ZHHIMG มอบให้:การกลึงเบาะรางให้ได้ความคลาดเคลื่อนที่แม่นยำ การติดตั้งเม็ดมีดพร้อมเอกสารแรงบิด ข้อมูลการวัดความเรียบและค่าความเอียง
• สำหรับคำถามของคุณ:ระยะชัก, แรงกด, โปรไฟล์ความเร่ง, ความแม่นยำในการกำหนดตำแหน่งเป้าหมาย, ทิศทางการติดตั้ง

3. ชิ้นส่วนโครงสร้างสำหรับอุปกรณ์ AOI

เครื่องมือตรวจสอบด้วยแสงอัตโนมัติผสานการถ่ายภาพความละเอียดสูงเข้ากับการเคลื่อนไหวที่รวดเร็ว ฐาน คาน และเสาทำหน้าที่รองรับกล้องและระบบไฟส่องสว่าง ขณะที่โครงประกอบช่วยรักษาความสัมพันธ์ทางเรขาคณิตของแต่ละโมดูล

• ส่วนประกอบทั่วไป:ฐานหินแกรนิต คานขวาง เสา พื้นผิวสำหรับติดตั้งกล้องและเซ็นเซอร์ ส่วนเชื่อมต่อของโครงประกอบ
• เน้นด้านวิศวกรรม:ความตั้งฉากของเสากับฐาน ความขนานของคาน ความแม่นยำของตำแหน่งรูและช่อง ความเสถียรทางเรขาคณิตในระยะยาว
• สิ่งที่ ZHHIMG มอบให้:ชุดโครงสร้างที่ผ่านการกลึงและขัดเงา ชิ้นส่วนโลหะที่ประกบกัน การประกอบล่วงหน้าจากโรงงาน และการตรวจสอบรูปทรงเรขาคณิตก่อนจัดส่ง
• สำหรับคำถามของคุณ:ข้อมูล CAD, การจัดวางกล้องและแสง, ขอบเขตการเคลื่อนไหว, ความเสถียรของภาพที่ต้องการ

4. ฐานสำหรับระบบตรวจสอบด้วย CT และ X-ray ในภาคอุตสาหกรรม

ระบบ CT และ X-ray ในอุตสาหกรรมประกอบด้วยแหล่งกำเนิดรังสี แท่นวางชิ้นงาน และตัวตรวจจับ อยู่บนโครงสร้างเดียวกัน การเคลื่อนที่สัมพัทธ์ใดๆ ระหว่างส่วนประกอบทั้งสามนี้จะปรากฏเป็นความผิดพลาดในภาพ

• ส่วนประกอบทั่วไป:ฐานหินแกรนิต แผ่นยึดแท่นหมุน เสาแหล่งกำเนิดและตัวตรวจจับ พื้นผิวสำหรับติดตั้งอุปกรณ์ป้องกันรังสี
• เน้นด้านวิศวกรรม:จุดอ้างอิงการจัดแนวแกนร่วมระหว่างแหล่งกำเนิด แท่นวาง และตัวตรวจจับ ความเรียบของที่นั่งแกนหมุน การควบคุมการสั่นสะเทือน ความแม่นยำของตำแหน่งรู
• สิ่งที่ ZHHIMG มอบให้:การกลึงหลายพื้นผิวพร้อมจุดอ้างอิงการจัดแนว การติดตั้งเม็ดมีด รายงานขนาดฉบับสมบูรณ์พร้อมระบุเงื่อนไขการวัด
• สำหรับคำถามของคุณ:ระยะห่างระหว่างแหล่งกำเนิดแสงและตัวตรวจจับ, น้ำหนักบรรทุกแบบหมุนได้, เป้าหมายความละเอียด, พื้นที่ติดตั้ง และวิธีการติดตั้ง

5. แพลตฟอร์มสำหรับการประมวลผลด้วยเลเซอร์และการวัดด้วยเลเซอร์

อุปกรณ์สำหรับการตัดเฉือนด้วยเลเซอร์ระดับเฟมโตวินาทีและพิโควินาที การทำเครื่องหมายที่แม่นยำ การจัดแนวทางแสง และการวัดด้วยเลเซอร์ ล้วนใช้พลังงานในการรวมแสงผ่านลำแสงที่มีขนาดวัดเป็นไมครอน แท่นรองรับใต้ระบบเลนส์ต้องไม่เคลื่อนที่

• ส่วนประกอบทั่วไป:แท่นหินแกรนิต, ตัวรองรับหัวเลนส์, รางยึดลำแสง, โต๊ะวางชิ้นงาน
• เน้นด้านวิศวกรรม:ความเรียบของระนาบการติดตั้งทางแสง ความเสถียรทางความร้อนภายใต้สภาพแวดล้อมเลเซอร์แบบปิด การลดการสั่นสะเทือนความถี่สูง
• สิ่งที่ ZHHIMG มอบให้:เลือกใช้หินแกรนิตเนื้อละเอียดเพื่อลดแรงสั่นสะเทือน พื้นผิวสำหรับติดตั้งอุปกรณ์ทางแสงขัดเงา และสามารถผสานรวมกับโครงสร้างรองรับแบบรังผึ้งหรือเหล็กได้เมื่อจำเป็น
• สำหรับคำถามของคุณ:ความยาวคลื่นและกำลังของเลเซอร์, การจัดวางทางแสง, พื้นที่ทำงาน, ข้อกำหนดด้านความสะอาด

6. อุปกรณ์ CMM, การวัดด้วยวิดีโอ และอุปกรณ์วัดความแม่นยำสูง

หินแกรนิตเป็นวัสดุมาตรฐานที่ใช้ในการวัดมาอย่างยาวนาน โต๊ะทำงาน รางนำทาง เสา สะพาน และฐานของเครื่องวัดพิกัดสามมิติ (CMM) เครื่องวัดระยะด้วยวิดีโอ และเครื่องมือวัดความแม่นยำอื่นๆ ล้วนอาศัยความคงตัวและความสามารถในการขัดเงาของหินแกรนิต

• ส่วนประกอบทั่วไป:โต๊ะทำงานการวัดที่แม่นยำพื้นผิวอ้างอิง โครงสร้างสะพานและเสา ที่นั่งบนรางนำทาง
• เน้นด้านวิศวกรรม:ความเรียบระดับไมครอนของโต๊ะวัด ความตรงของที่นั่งรางนำตลอดระยะการเคลื่อนที่ ความต้านทานการสึกหรอภายใต้การสัมผัสแบบเลื่อน
• สิ่งที่ ZHHIMG มอบให้:พื้นผิวขัดด้วยมือพร้อมแผนที่ความเรียบ ใบรับรองการสอบเทียบที่ตรวจสอบย้อนกลับไปยังเครื่องมือที่ใช้จริง การขัดแบบจับคู่เป็นชุด (เลือกได้)
• สำหรับคำถามของคุณ:ช่วงการวัด, ระดับความแม่นยำ, เป้าหมาย MPE, มาตรฐานที่เกี่ยวข้อง

7. แท่นวางเคลื่อนที่ความแม่นยำสูงแบบใช้แบริ่งลม

แบริ่งลมเคลื่อนที่บนฟิล์มที่มีแรงดันโดยไม่มีการสัมผัสของแข็ง ซึ่งช่วยลดแรงเสียดทานและการสึกหรอจนเกือบเป็นศูนย์ หินแกรนิตที่อยู่ใต้แบริ่งลมไม่ใช่บล็อกที่ไม่ส่งผลกระทบใดๆ คุณภาพของพื้นผิวหินมีผลโดยตรงต่อพฤติกรรมของฟิล์ม

• ส่วนประกอบทั่วไป:ฐานหินแกรนิตแบบซ้อนทับแบริ่งอากาศพื้นผิว รางนำทาง แม่แบบหินแกรนิตสำหรับเครื่องมือวัดความกลมและความเรียบ โครงสร้างเวทีที่มีความแม่นยำสูงเป็นพิเศษ
• เน้นด้านวิศวกรรม:ความเรียบของพื้นผิวและผิวสัมผัสของฟิล์มอากาศ การควบคุมรูพรุนและข้อบกพร่องขนาดเล็ก ความขนานระหว่างหน้าสัมผัสของแบริ่ง และความเสถียรในระยะยาว
• สิ่งที่ ZHHIMG มอบให้:หน้าสัมผัสแบริ่งลมที่ผ่านการขัดเงาและปรับแต่งอย่างละเอียด พร้อมรูปทรงเรขาคณิตที่ได้รับการรับรอง ชุดพื้นผิวที่เข้ากัน และบรรจุภัณฑ์ที่เหมาะสมกับห้องปลอดเชื้อ
• สำหรับคำถามของคุณ:การออกแบบฟิล์มอากาศ, แรงกดและแรงอัดล่วงหน้า, การเคลื่อนที่, ความตรงหรือความกลมของเป้าหมาย

8. แพลตฟอร์มการประกอบแบบโมดูลาร์สำหรับโมดูลอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์

การประกอบขั้นสุดท้ายของโมดูลที่มีความแม่นยำสูงเกิดขึ้นภายใต้การควบคุมอุณหภูมิ ความชื้น และการสั่นสะเทือน ซึ่งมักจะทำในห้องปลอดเชื้อ แท่นหินแกรนิตทำหน้าที่เป็นจุดอ้างอิงในการประกอบ โดยชิ้นส่วนหินแกรนิต ชิ้นส่วนโลหะ ชิ้นส่วนเซรามิก ราง ส่วนประกอบแบริ่งลม และโมดูลการเคลื่อนที่จะมารวมกัน

• ส่วนประกอบทั่วไป:แท่นประกอบหินแกรนิตแบบโมดูลาร์ อินเทอร์เฟซสำหรับเครื่องมือและอุปกรณ์จับยึด พื้นผิวสำหรับเชื่อมต่อโมดูล
• เน้นด้านวิศวกรรม:ความสม่ำเสมอของข้อมูลระหว่างโมดูล ความแม่นยำของชิ้นส่วนแทรกและเดือย ความเข้ากันได้กับสภาวะการประกอบในห้องปลอดเชื้อ
• สิ่งที่ ZHHIMG มอบให้:ห้องปลอดเชื้อการประกอบ การตรวจสอบ และการสอบเทียบประกอบด้วยโมดูลที่สมบูรณ์ ซึ่งผสานรวมส่วนประกอบหินแกรนิต โลหะ และเซรามิก เข้าเป็นชุดประกอบที่ได้รับการตรวจสอบแล้ว
• สำหรับคำถามของคุณ:รายการโมดูล, ระดับความสะอาด, ลำดับการประกอบ, เกณฑ์การตรวจสอบขั้นสุดท้าย

รายการตรวจสอบทางวิศวกรรมฉบับเดียวสำหรับงานทั้งแปดประเภท

ในการใช้งานเหล่านี้ คำถามทางวิศวกรรมยังคงเหมือนเดิม: รูปทรงแบบใดที่ต้องคงอยู่ ในพื้นที่เท่าใด ภายใต้สภาพแวดล้อมด้านความร้อนและการสั่นสะเทือนแบบใด และนานแค่ไหน ซัพพลายเออร์หินแกรนิตที่สามารถตอบคำถามเหล่านี้ได้ด้วยข้อมูลที่วัดได้ เช่น แผนที่ความเรียบ รายงานวัสดุเป็นชุด บันทึกแรงบิดในการติดตั้ง คือซัพพลายเออร์ที่สามารถตรวจสอบได้ ZHHIMG สนับสนุนอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ผู้ผลิตที่มีแนวทางแบบนั้นอย่างแท้จริง

ZHHIMG® ให้การสนับสนุนผู้ผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ด้วยฐานหินแกรนิตแบบสั่งทำพิเศษ โครง รางนำทาง โครงสร้างรองรับอากาศ และชุดประกอบความแม่นยำสูงแบบครบวงจร ติดต่อเราพร้อมส่งแบบร่างของคุณเพื่อการประเมินทางวิศวกรรม